決策分析研究(簡禎富)(編輯修改稿)
2025-02-11 02:33 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 作業(yè)等相當特殊的生產(chǎn)型態(tài)，難以計算每一產(chǎn)品，在各個機臺的實際生產(chǎn)時間； (4)產(chǎn)品良率的不確定因素、生產(chǎn)環(huán)境的異動和設備的當機等，使得良率控制不易； (5)雖然機臺當機可經(jīng)由預防保養(yǎng)獲得改善，但是仍有不可抗拒的突發(fā)因素，使得機器設備發(fā)生不可預測的當機情況，也造成半導體製造過程的不確定性； (6)工作站可能因為產(chǎn)品種類、數(shù)量變化或當機等因素，造成某設備的機臺的需求突然升高，因此瓶頸機臺會因不同的狀況與條件而移動，因而產(chǎn)生瓶頸機臺漂移的現(xiàn)象。 決策分析研究室 資料的價值 ? 高科技產(chǎn)業(yè)的顧客最關心的是什麼？ ? 有變異存在嗎？ ? 如何降低（產(chǎn)品、製程）變異，以提升服務品質(zhì)？ ? 如何提昇（故障排除）效率，以提升服務品質(zhì)？ ? 如何創(chuàng)造（資訊）價值，以提升服務品質(zhì)？ ? 如何提升服務品質(zhì)，以提升企業(yè)競爭力？ 資料是資產(chǎn)或負債？？？ 決策分析研究室 Dimension MIS DSS EIS EDA Applications Production, Control, Monitoring,… Complex integrated problem areas Support to top management decisions Quality Yield Improvement Primary Output Predefined periodic reports Information to support specific decisions Status access, exception reporting, Key indicators Nonscheduled analysis, Quality related information, Yield Status, Users Middle management, functional users Analysts, Managers, usually limited Senior executive or managers Product/Process/… engineers and managers Impetus Efficiency Effectiveness Timeliness Efficiency Effectiveness Design Function Oriented Problem Oriented Management Oriented Analysis Oriented Model None Yes/ LP, Bayesian,… None Statistical assumption Development Team User with IT Domain Expert, IT Managers with IT Domain Expert, Statistician, IT Specialist Integrated special software Usually none Yes EIS package or Tool Statistical software, Data Mining algorithm EDA versus MIS/DSS/EIS 決策分析研究室 SPC/Monitor Correlation Test Statistic.(ANOVA/KW/ Decision Tree) Cluster/PCA SOM/Feature Extraction (Associate) Pattern Extraction(Neural Network) 晶圓製造流程 vs Data Flow Analysis Flow （彭誠湧、簡禎富， 2023） 決策分析研究室 SPC/ Monitor Equipment Matching Cluster/PCA SOM/Feature Extraction Process Tools WAT parameters (Associate) Pattern Extraction(Neural Network) by Bin , Bin Value , Die Position Process (Major) Lot History by Route + Operation Tool + Process Date Time + Recipe + Operator Metrology Data (Lot/Wf/Site) Defect Count + Defect Type Comment Tool History by Tool Id + Date Time PM monitor data Tool Status WAT By Lot/Wf/Site Parameter Name Test Value Spec Limit Valid Limit SORT By Lot/Wf/Die Bin Name Bin Value Die Position Correlation( by Lot/Wf/Site) Metro. . WAT Metro. . SORT WAT . SORT … Test Statistic. TTest ANOVA KruskallWallis Decision Tree Data Flow Analysis Flow （彭誠湧、簡禎富， 2023） 決策分析研究室 此期間某參數(shù)異常 ，欲找出原因 分析 WAT參數(shù)對該參數(shù)的影響 找出異常量測參數(shù) 找出與異常參數(shù)相關的製程 例：某一期間生產(chǎn)之 lots Bin map周圍 failure較多 從相關製程中找出問題機臺 FMEA 半導體製程資料挖礦研究架構(gòu) （簡禎富、蔡承勳， 2023） 晶圓圖分析 決策分析研究室 研究問題 ： 晶圓圖分類 （簡禎富、林鼎浩、劉巧雯、彭誠湧、徐紹鐘、黃佳琪， 20
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