數(shù)字集成電路設(shè)計(jì)第2章制造工藝(編輯修改稿)
2025-02-10 10:42 本頁(yè)面
【文章內(nèi)容簡(jiǎn)介】 。多個(gè)金屬互連層；216。接觸孔和通孔，提供層與層之間的連接。層內(nèi)限制規(guī)則 第一組規(guī)則定義了在每一層中圖形的最小尺寸，以及在同一層中圖形間的最小間距。層間限制規(guī)則由于涉及到許多層，所以對(duì)版圖的理解需要具有將所畫的二維版圖想象成三維實(shí)際器件的能力。一個(gè)晶體管是由有源層和多晶層重疊而成。為了在用 metal1實(shí)現(xiàn)的電源線和一個(gè) P型材料間建立起一個(gè) 歐姆接觸，必須提供一個(gè) P+擴(kuò)散區(qū)。接觸孔和通孔的說明寬度規(guī)則示例錯(cuò)誤間距示例錯(cuò)誤交疊規(guī)則示例錯(cuò)誤交疊規(guī)則示例 設(shè)計(jì)規(guī)則 —設(shè)計(jì)者和工藝工程師之間的橋梁n 設(shè)計(jì)規(guī)則提供了一組制造各種掩模的規(guī)范，這些掩模是形成圖案的工藝過程所必須的。n 它允許圖形允許的最小線寬以及在同一層和不同層上圖形之間最小間距的限制與要求。n 在一組設(shè)計(jì)規(guī)則中，最基本的要素是最小線寬版圖幾何設(shè)計(jì)規(guī)則? 有幾種方法可以用來描述設(shè)計(jì)規(guī)則。其中包括： ＊ 以 微米分辨率 來規(guī)定的微米規(guī)則 ＊ 以 特征尺寸為基準(zhǔn)的 λ 規(guī)則 版圖幾何設(shè)計(jì)規(guī)則n 層次 人們把設(shè)計(jì)過程抽象成若干易于處理的概念性版圖層次，這些層次代表線路轉(zhuǎn)換成硅芯片時(shí)所必需的掩模圖形。 n 襯底或阱，它們有 P型（對(duì) NMOS器件）和 n型（對(duì) PMOS管）。n 擴(kuò)散區(qū)（ n+ 和 p+），它們定義了可以形成晶體管的區(qū)域，這些區(qū)域通常稱為有源區(qū)。n 一個(gè)或多個(gè)多晶硅層，用以形成晶體管的柵電極（同時(shí)也可用做互連層）。n 多個(gè)金屬互連層。n 接觸孔和通孔，提供層與層之間的連接。版圖幾何設(shè)計(jì)規(guī)則層次表示 含義 標(biāo)示圖 NWELL N阱層 Locos N+或 P+有源區(qū)層 Poly 多晶硅層 Contact 接觸孔層 Metal 金屬層 Pad 焊盤鈍化層 ? NWELL硅柵的層次標(biāo)示 版圖幾何設(shè)計(jì)規(guī)則n NWELL層相關(guān)的設(shè)計(jì)規(guī)則 編 號(hào) 描 述 尺 寸 目的與作用 N阱最小寬度 保證光刻精度和器件尺寸 N阱最小間距 防止不同電位阱間干擾 N阱內(nèi) N阱覆蓋 P+ 保證 N阱四周的場(chǎng)注 N區(qū)環(huán)的尺寸 N阱外 N阱到 N+距離 減少閂鎖效應(yīng) 版圖幾何設(shè)計(jì)規(guī)則n N阱設(shè)計(jì)規(guī)則示意圖 版圖幾何設(shè)計(jì)規(guī)則n P+、 N+有源區(qū)相關(guān)的設(shè)計(jì)規(guī)則列表 編 號(hào) 描 述 尺 寸目的與作用 P+、 N+有源區(qū)寬度 保證器件尺寸，減少窄溝道效應(yīng) P+、 N+有源區(qū)間距 減少寄生效應(yīng)版圖幾何設(shè)計(jì)規(guī)則n P+、 N+有源區(qū)設(shè)計(jì)規(guī)則示意圖 版圖幾何設(shè)計(jì)規(guī)則n Poly相關(guān)的設(shè)計(jì)規(guī)則列表 編 號(hào) 描 述 尺 寸目的與作用 多晶硅最小寬度 保證多晶硅線的必要電導(dǎo) 多晶硅間距 防止多晶硅聯(lián)條 與有源區(qū)最小外間距 保證溝道區(qū)尺寸 多晶硅伸出有源區(qū) 保證柵長(zhǎng)及源、漏區(qū)的截?cái)?與有源區(qū)最小內(nèi)間距 保證電流在整個(gè)柵寬范圍內(nèi)均勻流動(dòng)版圖幾何設(shè)計(jì)規(guī)則n Poly相關(guān)設(shè)計(jì)規(guī)則示意圖 版圖幾何設(shè)計(jì)規(guī)則n Contact相關(guān)的設(shè)計(jì)規(guī)則列表 編 號(hào) 描 述 尺 寸 目的與作用 接觸孔大小 保證與鋁布線的良好接觸 接觸孔間距 保證良好接觸 多晶硅覆蓋孔 防止漏電和短路 有源區(qū)覆蓋孔 防止 PN結(jié)漏電和短路 有源區(qū)孔到柵距離 防止源、漏區(qū)與柵短路 多晶硅孔到有源區(qū)距離 防止源、漏區(qū)與柵短路 金屬覆蓋孔 保證接觸，防止斷條版圖幾何設(shè)計(jì)規(guī)則n contact設(shè)計(jì)規(guī)則示意圖 版圖幾何設(shè)計(jì)規(guī)則n Metal相關(guān)的設(shè)計(jì)規(guī)則列表 編 號(hào) 描 述 尺 寸目的與作用 金屬寬度 保證鋁線的良好電導(dǎo) 金屬間距 防止鋁條聯(lián)條 版圖幾何設(shè)計(jì)規(guī)則n Metal設(shè)計(jì)規(guī)則
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