如何利用掃描電鏡拍出高質(zhì)量的圖像(編輯修改稿)
2025-01-31 19:02 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 化學(xué)成分差別的像襯度。這些信號主要有背散射電子、吸收電子和特征 X射線。(1) 背散射電子像襯度 背散射系數(shù) η 隨原子序數(shù) Z的變化如圖所示(δ 為二次電子產(chǎn)率 )。可見，背散射電子信號強(qiáng)度隨原子序數(shù) Z增大而增大，樣品表面上平均原子序數(shù)較高的區(qū)域，產(chǎn)生較強(qiáng)的信號，在背散射電子像上顯示較亮的襯度。因此，可以根據(jù)背散射電子像襯度來判斷相應(yīng)區(qū)域原子序數(shù)的相對高低。(2) 吸收電子像襯度 吸收電子信號強(qiáng)度與二次電子及背散射電子的發(fā)射有關(guān)，若樣品較厚，即 T=0，則η+δ+α=1 。這說明，吸收電子像的襯度是與背散射電子像和二次電子像是互補(bǔ)的。因此可以認(rèn)為，樣品表面平均原子序數(shù)大的微區(qū)，背散射電子信號強(qiáng)度較高，而吸收電子信號強(qiáng)度較低，兩者襯度正好相反。 ??（ 3） 特征 X射線襯度利用特征 X射線只與元素種類有關(guān)的特性，可對試樣作成份檢測。四、 影響掃描電鏡像質(zhì)量的主要因素 一幅高質(zhì)量的圖像應(yīng)滿足三個(gè)條件：首先是分辨率高，顯微結(jié)構(gòu)清晰可辨；第二是信噪比好 ,沒有明顯的雪花狀噪聲 。第三是襯度適中 ,圖像中無論白區(qū)還是黑區(qū)細(xì)節(jié)都能看清楚。 影響掃描電鏡像質(zhì)量的主要因素1. 入射束在樣品中的擴(kuò)展效應(yīng)2. 分辨率 (入射電子束斑直徑 )3. 信噪比4. 雜散電磁場及機(jī)械振動(dòng)5. 樣品的自然襯度1. 入射束在樣品中的擴(kuò)展效應(yīng) 電子束打到樣品上，會發(fā)生散射，擴(kuò)散范圍如同梨狀或半球狀。入射束能量越大，樣品原子序數(shù)越小，則電子束作用體積越大。 因此，用不同的物理信號調(diào)制的掃描像有不同的分辨本領(lǐng)。二次電子掃描像的分辨本領(lǐng)最高，約等于入射電子束直徑，背散射電子為 50200 nm， X射線為1001000nm。~10nm:二次電子~1~2mm:背散射電子~2~5mm:X射線 /陰
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