太陽能電池生產(chǎn)工藝原理(編輯修改稿)
2025-01-26 11:52 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 硅1 2 3 4 擴(kuò)散原理化學(xué)方程式擴(kuò)散原理化學(xué)方程式 :167。 懂得石英管、 SIC槳及其它石英器件的拆卸、清洗和安裝。167。 懂得石英管清洗機(jī)的使用及相應(yīng)清洗液的配備。167。 懂得在手動(dòng)及自動(dòng)狀態(tài)下對擴(kuò)散舟及擴(kuò)散管進(jìn)行 TCA和飽和。167。 懂得裝片、卸片的正確方法，并確保擴(kuò)散舟及鈍化舟的正確使用。167。 懂得四探針測試儀的正確使用及方塊電阻的正確測量 。167。 懂得生產(chǎn)過程中方塊電阻的正確控制，確保方塊電阻處于要求范圍。 擴(kuò)散操作重點(diǎn)擴(kuò)散原理及檢測刻蝕間刻蝕間夾片夾片取片取片 去去 PSG刻蝕刻蝕上料上料整理整理插片插片取片取片甩干甩干檢測檢測運(yùn)行運(yùn)行太陽電池制造過程太陽電池制造過程 等離子體刻蝕等離子體刻蝕刻蝕目的： 去除邊緣 PN結(jié)，防止上下短路等離子體刻蝕原理： 等離子體刻蝕是采用高頻輝光放電反應(yīng)，使反應(yīng)氣體激活成活性粒子，如原子或游離基，這些活性粒子擴(kuò)散到需刻蝕的部位，在那里與被刻蝕材料進(jìn)行反應(yīng)，形成揮發(fā)性反應(yīng)物而被去除。 這種腐蝕方法也叫做干法腐蝕?！ 】涛g方法： １：干法刻蝕 ２：濕法刻蝕 P型半導(dǎo)體硅 P型硅N型硅磷硅玻璃(PSG)等離子體刻蝕檢驗(yàn)等離子體刻蝕檢驗(yàn)檢驗(yàn)操作及判斷：167。 確認(rèn)萬用表工作正常，量程置于 200mV。167。 冷探針連接電壓表的正電極，熱探針與電壓表的負(fù)極相連。167。 如果經(jīng)過檢驗(yàn)，任何一個(gè)邊沿沒有刻蝕合格，則這一批硅片需要重新 裝片，進(jìn)行刻蝕。檢驗(yàn)方法檢驗(yàn)方法：：167。冷熱探針法冷熱探針法刻蝕機(jī)原理化學(xué)方程式去 PSG原理化學(xué)方程式O2是作用：是作用： 加快加快 CF4與硅片邊緣與硅片邊緣PN結(jié)的反應(yīng)速率結(jié)的反應(yīng)速率等離子體刻蝕反應(yīng)等離子體刻蝕反應(yīng)太陽電池制造過程太陽電池制造過程 去磷硅玻璃去磷硅玻璃167。 用 HF酸把表面的磷硅玻璃去除P型半導(dǎo)體硅P型硅N型硅磷硅玻璃什么是磷硅玻璃？什么是磷硅玻璃？167。 在擴(kuò)散過程中發(fā)生如下反應(yīng)：167。 POCl3分解產(chǎn)生的 P2O5淀積在硅片表面， P2O5與 Si反應(yīng)生成 SiO2和磷原子。167。 這樣就在硅片表面形成一層含有磷元素的 SiO2，稱之為磷硅玻璃。167。 氫氟酸是無色透明的液體，具有較弱的酸性、易揮發(fā)性和很強(qiáng)的腐蝕性。但氫氟酸具有一個(gè)很重要的特性是它能夠溶解二氧化硅，因此不能裝在玻璃瓶中。167。 在半導(dǎo)體生產(chǎn)的清洗和腐蝕工藝中，主要就利用氫氟酸的這一特性來除去硅片表面的二氧化硅層。PECVD插片插片放入潔凈柜放入潔凈柜檢查檢查 推入上料區(qū)推入上料區(qū)取料取料卸片卸片運(yùn)行程序運(yùn)行程序送入下道工序送入下道工序填寫表單填寫表單太陽電池制造過程太陽電池制造過程 PECVD167。 在硅片表面鍍上一層深藍(lán)色的氮化硅膜167。 可以充分吸收太陽光，降低反射167。 在硅片表面有氫鈍化的作用氮化硅膜P型半導(dǎo)體硅P型硅N型硅167。 PECVD沉積 SiN利用硅烷（ SiH4）與氨氣（ NH3）在等離子體中反應(yīng)。SiH4+NH3SiNH+3H22SiH4+N22SiNH+3H2太陽電池制造過程太陽電池制造過程 PECVDPECVD： Plasma Enhance Chemical Vapour Deposition 等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積167。 在太陽電池表面沉積深藍(lán)色減反膜 SiN膜。 其還具有卓越的抗氧 化和絕緣性能，同時(shí)具有良好的阻擋鈉離子、掩蔽金屬和水蒸汽 擴(kuò)散的能力；它的化學(xué)穩(wěn)定性也很好，除氫氟酸和熱磷酸能緩慢 腐蝕外，其它酸與它基本不起作用。 除 SiN膜外， TiO2， SiO2也可作為減反膜絲網(wǎng)印刷絲網(wǎng)印刷上料檢查上料檢查承載盒上料承載盒上料PECVD鍍膜后鍍膜后的硅片的硅片網(wǎng)版印刷網(wǎng)版印刷 背電極印刷背電極印刷 背電場印刷背電場印刷正面柵線印刷正面柵線印刷太陽電池制造過程太陽電池制造過程 絲網(wǎng)印刷絲網(wǎng)印刷167。 絲網(wǎng)印刷的原理通過刮條擠壓絲網(wǎng)彈性變形后將漿料漏印在需印刷的材料上的一種方式 ,這是目前普遍采用的一種電池工藝 .167。 絲網(wǎng)印刷的流程上料 — 絲印第一道 — 烘箱 1— 絲印第二道 — 烘箱 2— 絲印第三道 — 燒結(jié)爐167。 烘箱的作用先烘干硅片上的漿料，去處漿料中的有機(jī)成分。167。 燒結(jié)爐的結(jié)構(gòu)烘干區(qū) — 燒結(jié)區(qū) — 回溫區(qū)（冷卻區(qū)）167。 燒結(jié)爐的作用先烘干硅片上的漿料，去處漿料中的有機(jī)成分，通過高溫使硅金屬與漿料形成歐姆接觸 .所謂歐姆接觸 :半導(dǎo)體材料與金屬接觸時(shí)沒有形成整流接觸 ,歐姆接觸
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