電子與物質(zhì)的交互作用(編輯修改稿)
2025-01-18 05:50 本頁(yè)面
【文章內(nèi)容簡(jiǎn)介】 所以可在試樣較深部位散射出試樣表面。 ?背散射電子的產(chǎn)額隨試樣原子序數(shù)的增加而增加。 （ 1）背散射電子 ?背散射電子在試樣內(nèi)部接近完全擴(kuò)散，其廣度較入射電子束直徑大若干倍，它可從試樣較深部位逸出。 ? 特點(diǎn)： 1：對(duì)樣品物質(zhì)的原子序數(shù)敏感 2：分辨率及信號(hào)收集率較低 （ 2）二次電子 ? 定義 ： 在入射電子的轟擊下被迫離開試樣表面的試樣的核外電子。 （ 2）二次電子 ? 二次電子的能量小于 50 eV，所以只有試樣表層下 5~10nm范圍內(nèi)激發(fā)出的二次電子，才有可能逸出試樣表面 ? 二次電子 發(fā)射的廣度與入射電子束直徑相差無(wú)幾，它對(duì)試樣表面形貌敏感 ? 主要用于顯示試樣的表面形貌 （ 3）吸收電子 ? 定義： 入射電子射入試樣后，經(jīng)多次非彈性散射后能量消耗殆盡而形成吸收電子被試樣吸收 （ 3）吸收電子 ? 在試樣和滴之間接入 m?A計(jì)進(jìn)行放大，可檢出吸收電子產(chǎn)生的電流 ? 吸收電子像用于顯示樣品表面形貌和樣品表面元素分布狀態(tài) 用吸收電流成像，同樣可以得到原
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