透射電子成像(編輯修改稿)
2025-01-16 21:44 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 n 聚光鏡就是為了克服這種缺陷而加入的。它有增強電子束密度和再一次將發(fā)散的電子束會聚起來的作用，從而使射到試樣上的 電子束截面 變小，使電子束直徑、強度和電子動能滿足顯微鏡的要求。 n n 第一聚光鏡是強透鏡，具有較短的焦距。它的作用是 縮小 從電子槍來的電子束徑，使之在第一聚光鏡的 后焦面 上的直徑為 1微米或更小。n n 第二聚光鏡是弱透鏡，具有較長的焦距。它將第一聚光鏡會聚成的電子束放大約二倍后投射到試樣上。如果使第二聚光鏡散焦（如進行電子衍射操作時），可減小照明孔徑角，得到幾乎平行光軸的照明電子束。 n 為限制照明孔徑角，還常在第二聚光鏡下面 徑向 插入光闌。為使照明束斑更圓，還在第二聚光鏡外裝有 電磁式消像散器以消除聚光鏡的像散。第二聚光鏡之下裝置的束偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)，其作用是使入射束傾斜照射試樣，以獲得中心暗場象或弱束象。n 如果電鏡在此位置裝的是雙偏轉(zhuǎn)掃描系統(tǒng)，使入射束既可傾斜照射試樣，又可在試樣上掃描，可以實現(xiàn)掃描電鏡和透射電鏡雙重功能。 n n 這部分由試樣室、物鏡、中間鏡、投影鏡等裝置組成。試樣臺的移動是通過試樣室外邊的試樣移動機械裝置來完成的。為了防止鏡筒內(nèi)腔表面（特別是電子槍陰極附近）吸附水蒸氣，試樣室裝有閘閥，使更換試樣時無需破壞主體真空，還可提高工作效率。 n （ 1）試樣室n 為把試樣調(diào)到一個強反射位置，常需要將試樣傾斜或旋轉(zhuǎn)一個角度。立體觀察時，為記錄試樣同一區(qū)域的位于光軸兩側(cè)相同位置上的圖像，也需要將試樣傾斜一定的角度，為此需設(shè)置試樣傾斜旋轉(zhuǎn)裝置。n 在特殊情況下，試樣室內(nèi)可分別裝設(shè)加熱試樣臺、冷卻試樣臺、形變試樣臺以對試樣進行動力學(xué)和過程研究。 n （ 2）物鏡n 物鏡是電鏡的 最關(guān)鍵部分 ，其作用是： 將來自試樣 不同點 同方向同相位的彈性散射束會聚于其后焦面上，構(gòu)成含有試樣結(jié)構(gòu)信息的散射花樣或衍射花樣像； 將來自試樣 同一點 不同方向的彈性散射束會聚于其 像平面 上，構(gòu)成與試樣組織相對應(yīng)的顯微像，這實際是阿貝成像原理在電鏡中的再現(xiàn)。n 先介紹阿貝成像原理：平行光束受到同期結(jié)構(gòu)試樣散射作用將試樣結(jié)構(gòu)信息顯示出來，然后使衍射束通過干涉重新在象平面上形成反映試樣特征的象。n n 可見物鏡是獲得到第一幅具有一定分辨率、 放大電子像的電子透鏡。透射電鏡分辨的好壞， 很大程度上取決于物鏡的優(yōu)劣。物鏡的最短焦距可達 1毫米，理論分辨本領(lǐng)可達 1197。，目前實際分辨本領(lǐng)已達到 2197。 ，n n 為了減小物鏡的球差和提高像的襯度，在物鏡極靴進口表面和物鏡后焦面上還各放光闌。前者是為防止物鏡受到污染，稱為物鏡光闌；后者是為提高襯底而加入的，稱為襯度光闌。n n 襯度光闌讓一部分電子通過，而擋住另一部分電子，對振幅襯度起了決定作用，也有人把它稱之為物鏡光闌。n 為了消除像散和其它像差，在物鏡極靴附近還裝有消像散器和防污染裝置。 n 透鏡電鏡往往使用 雙物鏡 加輔助透鏡，試樣置于上下物鏡之間。 n 上物鏡起強聚光作用， 調(diào)節(jié)進入試樣前的電子束入射角；下物鏡起成像放大作用。置于上物鏡之上的輔助
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