對深圳某電子廠凈化間空調(diào)系統(tǒng)設計的認識(編輯修改稿)
2025-01-15 11:08 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 行必要的監(jiān)控。在實際運行過程中，每星期兩次采用粒子計數(shù)器（ Par ticleCounter）凈化間隨機選取的點進行潔凈度檢測， 100級 4個點， 10000級 50個點，然后將所測粒子數(shù)與凈化間標準值進行比較，以便及時了解凈化間的運行狀況 。 d機械通風機械通風系統(tǒng)主要排除在 HGA生產(chǎn)區(qū)、激光室等產(chǎn)生的微量廢氣包括丙酮、異丙醇、曲通一 100等，排風系統(tǒng)的排風口設在工作部位的排氣點，根據(jù) IBM職業(yè)衛(wèi)生健康的 要求，各排氣口的排風速度須 4m/s，排風機旋轉(zhuǎn)在 16米高的樓頂，采取變頻調(diào)控。凈化空調(diào)系統(tǒng)的冷凍水由冷凍站提供，供水溫度 7工回水溫度 12工水壓為 由自備 的 349kW的電熱鍋爐供給，供水溫度 60*Q回水溫度 50*C.總冷負荷為 980kW，總熱負荷為 二管制異程系統(tǒng)，系統(tǒng)流程如所示，分支管路設置平衡 閥，平衡各路壓力，末端設備回水管上設置電動三通閥調(diào)節(jié)水量。 f空調(diào)自控系統(tǒng)的設計自控系統(tǒng)由控制器、閥門推動器、溫濕度傳感器、壓力傳感器等組成。新風系統(tǒng)初效卷簾過濾器由壓 差傳感器及傳動電機控制，當風阻 APl50Pa時，自動更新。預熱段、表冷段和再熱段都分別設有溫度傳感器，根據(jù)深圳的氣象條件，其相應的控制器的溫度設定值為 *C、1 *C和 18與實測瞬時溫度比較后，由閥門推動器來控制水管閥門的開啟程序，從而使處理后的空氣溫度恒定在設定值。去鹽過濾及高效過濾段裝有壓差顯示表并有壓差信號輸出報警 。 AHU的控制是根據(jù)凈化間內(nèi)溫度傳感器與相應各 AHU控制器上的設定溫度進行比較，來控制 AHU冷凍水管比例調(diào)節(jié)器的開啟度，達到恒溫要求，濕度的調(diào)節(jié)主要是通過對新風系統(tǒng)預 熱和冷卻溫度的調(diào)節(jié)來實現(xiàn)。溫、濕度傳感器信號與監(jiān)控室的數(shù)字顯示器及記錄儀相連接?？呻S時觀察及打印系統(tǒng)的溫、濕度。 AHU的風機與冷凍水管閥門推動器進行聯(lián)鎖，冷凍水閥門隨
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