多晶硅生產工藝流程(編輯修改稿)
2024-09-06 17:35 本頁面
【文章內容簡介】 種方法的優(yōu)點是節(jié)能降耗顯著、成本低、質量好、采用綜合利用技術，對環(huán)境不產生污染，具有明顯的競爭優(yōu)勢。改良西門子工藝法生產多晶硅所用設備主要有：氯化氫合成爐，三氯氫硅沸騰床加壓合成爐，三氯氫硅水解凝膠處理系統(tǒng)，三氯氫硅粗餾、精餾塔提純系統(tǒng)，硅芯爐，節(jié)電還原爐，磷檢爐，硅棒切斷機，腐蝕、清洗、干燥、包裝系統(tǒng)裝置，還原尾氣干法回收裝置；其他包括分析、檢測儀器，控制儀表，熱能轉換站，壓縮空氣站，循環(huán)水站，變配電站，凈化廠房等。（1）石英砂在電弧爐中冶煉提純到98%并生成工業(yè)硅， 其化學反應SiO2+C→Si+CO2↑（2）為了滿足高
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