多晶硅鑄錠爐操作與生產(chǎn)流程(編輯修改稿)
2025-03-05 14:58 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 機(jī)設(shè)置完成各種工藝參數(shù)和預(yù)定參數(shù)后， 送達(dá) SNAP智能控制器。 3 具體過程：將經(jīng)過 SiN噴涂處理后的坩堝裝入硅原料，并放置在熱交換臺上。關(guān)閉爐體抽真空，然后通過調(diào)整可控制硅的控制單元的變壓器輸出的低電壓高電流，電流加到石墨加熱器，并通過 SNAP智能控制器 ，自動溫度控制，加熱若干小時以后完全熔化硅料。當(dāng)硅料完全熔化后，根據(jù)工藝要求，緩慢提升隔熱籠位置，暴露出熱交換臺，使一部分熱量散發(fā)到爐壁，通過冷卻水把爐壁熱量帶走，交換臺溫度的下降會傳到坩堝底部，使硅溶液形成垂直的溫度梯度，此溫度梯度會使硅溶液下方凝固結(jié)晶至上方。當(dāng)所有的硅液都凝固后，硅錠再經(jīng)過退火、通入氬氣、控制冷卻方式等步驟以避免硅錠出現(xiàn)內(nèi)應(yīng)力，以及減少硅錠產(chǎn)生的晶體缺陷（主要是點、線、面缺陷），從而提高硅錠質(zhì)量性能。（硅的導(dǎo)電性、可切割性。） 結(jié)晶爐操作界面 操作界面的組成 操作界面是有報警、監(jiān)控、自動控 制、工藝、手動控制、趨勢圖六大窗 口組成。 報警窗口 最常見的主要報警有： 加熱器斷開報警、丟失主電源報警、主電源缺項報 警、隔熱籠提升故障報警、 TC1熱電偶故障報警、 高溫計不在原點上報警、 UPS錯誤報警、冷卻水流 量報警等。 監(jiān)控窗口 在監(jiān)控窗口中可以看到系統(tǒng)運行時的狀態(tài)，包括當(dāng) 前的模式，步驟，剩余時間以及當(dāng)前正在使用的工藝 文件名。 在屏幕上還顯示進(jìn)氣閥的設(shè)定值和實測值，出氣閥 的設(shè)定值和實測值，爐內(nèi)壓力的設(shè)定值和實測值， 8 路水流量的實測值，隔熱籠的目標(biāo)位置和實際位置，瞬時電流、電壓、功率、通斷百分比，控制方式以及各自的設(shè)定值和實測值等。 自動控制窗口 自動控制窗口主要包含自動運行的一些功能。操作 者可以選擇正常啟動或定時啟動來開始一次自動加 工。 只要按下自動運行按鈕，系統(tǒng)就會開始自動運行； 自動運行開始運行時，旁邊會出現(xiàn)一個綠色圓圖標(biāo)，指示當(dāng)前正在自動運行狀態(tài)。 工藝窗口 工藝文件在整個系統(tǒng)中具體很重要的意義，任何一次自動循環(huán)都是按照工世文件的設(shè)定進(jìn)行的，工藝文件的更改可以直接影響生產(chǎn)出來的硅
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