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正文內(nèi)容

微機(jī)型數(shù)顯復(fù)合真空計使用說明書(編輯修改稿)

2024-08-31 00:16 本頁面
 

【文章內(nèi)容簡介】 豎直安裝?!? 水平安裝可能會帶來測量偏差。● 應(yīng)優(yōu)先采用豎直安裝?!? 應(yīng)遠(yuǎn)離有油蒸汽(如擴(kuò)散泵返油)的位置,防止油蒸汽遇高溫?zé)艚z裂解,改變規(guī)管靈敏度和特性以延長規(guī)管的使用壽命?!? 應(yīng)遠(yuǎn)離高能離子或電子的位置,或屏蔽衰減真空系統(tǒng)內(nèi)的高能離子或電子進(jìn)入規(guī)管,轟擊規(guī)管電極,加速規(guī)管電極老化,縮短規(guī)管壽命。● 應(yīng)避免規(guī)管安裝處有漏孔,否則微小漏氣在規(guī)管局部產(chǎn)生壓力差,這將帶來較大的測量偏差。真空計與規(guī)管連線 將電阻規(guī)電纜線(五芯插頭)與儀器后面板電阻規(guī)1/2插口相連并旋緊,電纜線的另一頭(八腳插座)與電阻規(guī)八腳插頭相連。 將電離規(guī)電纜線(四芯插頭)與儀器后面板電離規(guī)插口相連并旋緊,電纜線的另一頭(八腳插口)與電離規(guī)八腳插頭相連。同時將收集極電纜(BNC插頭)與儀器后面板收集極插口相連,另一頭夾子與玻璃規(guī)管收集極管冒相連或與金屬規(guī)管第1腳引出線相連。真空計開機(jī)及顯示說明: 在確保所有連線正確后,即可接通真空計電源,顯示屏顯示◎◎◎◎◎ ◎◎◎◎◎ 電阻2單元 電阻1與電離復(fù)合單元0E2系數(shù)位 表示10 指數(shù)符號位“+”或“”指數(shù)位例如左窗口顯示:102Pa=200Pa● 當(dāng)指數(shù)符號為負(fù)顯示“”,為正不顯示“+”真空計使用方法: 電阻2為獨立單元,真空計開機(jī)后● 此刻應(yīng)進(jìn)行電阻單元2設(shè)定操作(如果有此功能或需要設(shè)定)?!? 若不進(jìn)行設(shè)定操作(無此設(shè)定功能或已設(shè)定過),5秒后電阻單元2自動進(jìn)入測量壯態(tài)并顯示真空度(左窗口)。、滿度修正 由于電阻規(guī)本身的特異性(即零散性)以及使用時的特定環(huán)境等因素,從而使電阻計2與某一個電阻規(guī)匹配首次使用時或使用一段時間后,需要對零點、滿度進(jìn)行修正。零點修正及說明● 101Pa時進(jìn)行。將真空計切換為手動,手動開啟電離規(guī)完成高真空的測量,其操作方法詳見15頁手動模式開啟和關(guān)閉電離規(guī)。將電阻規(guī)2和電離規(guī)與高真空系統(tǒng)妥善連接,同時對真空系統(tǒng)抽到真空,開啟電離規(guī)進(jìn)行真空檢測,101Pa時,101Pa,說明零點正確,不需要修正,若顯示不為此值,應(yīng)進(jìn)行修正。其修正操作方法如下:用一字小改刀伸入真空計前面板電阻單元2零點修正小孔,正或反時針旋轉(zhuǎn)?!? 順時針旋轉(zhuǎn)數(shù)字變大,反時針旋轉(zhuǎn)數(shù)字變小。● 高真空狀態(tài)下,由于環(huán)境溫度以及傳感絲表面壯態(tài)改變等因素的影響,零點易漂移,……,均屬正常,不需要修正。滿度修正及說明● 滿度修正在大氣壓狀態(tài)下進(jìn)行。在零點確認(rèn)正確或經(jīng)修正正確后,對真空系統(tǒng)放氣,直至大氣壓下,說明滿度正確,不需要修正。若顯示不為此值,應(yīng)進(jìn)行修正,其修正操作方法如下: 用一字小改刀伸入真空計前面板電阻單元2滿度修正(大氣壓)小孔,正或反時針旋轉(zhuǎn)?!? 順時針旋轉(zhuǎn)數(shù)字變大,反時針旋轉(zhuǎn)數(shù)字變小。基于上述還未對真空計進(jìn)行零點確認(rèn)或修正。以及真空計零點正確或變化微小,但滿度值已變化。因此真空計開機(jī)后,在大氣壓下,僅僅對其滿度修正即可?!? 滿度修正時,電阻規(guī)安裝或放置狀態(tài)(豎直或水平)應(yīng)與使用時狀態(tài)相同。大氣壓(常壓)狀態(tài)下由于空氣分子密度大或經(jīng)高溫環(huán)境下工作后,其滿度值恢復(fù)和穩(wěn)定時間較長?!? 因此雖存在一定的漂移,……,不需要修正。、控制功能及設(shè)定方法控制功能及設(shè)定方法詳見17頁控制功能及設(shè)定方法、控制輸出:詳見18頁控制輸出 電阻單元1既是低真空測量與控制單元,又是自動開啟電離規(guī)單元。基于低真空測量與控制單元其使用方法與電阻單元2相同。105~2Pa時由右窗口顯示其真空測量值。若需進(jìn)行零點修正,應(yīng)將復(fù)合單元置為手動,由與其組合的電離計測量高真空,然后關(guān)閉電離規(guī)或按“電阻1”按鍵轉(zhuǎn)為電阻1顯示,以此確認(rèn)零點是否需要修正?!?在日常工作中,常觀測零點值的變化,若變化微小(101Pa量程)可不需要修正,若變化較大以致不能開啟電離規(guī)則需要修正零點。這樣做將對真空系統(tǒng)的真空檢測和控制正常運(yùn)行帶來幫助和方便。 基于電阻1的啟動功能在真空度測量值高于2Pa時,(*且外控端1與2斷開恢復(fù)自動模式,)電離規(guī)被自動開啟并顯示電離測量值,電阻1測量值被隱藏。:自動模式電離規(guī)開啟:真空計開機(jī)后,復(fù)合單元優(yōu)先置為自動工作模式,同時前面板自動指示燈亮。由電阻規(guī)1自動開啟電離規(guī)實現(xiàn)連續(xù)測量。 ● 開機(jī)后應(yīng)進(jìn)行電離計控制功能設(shè)定。否則5秒后電阻單元1自動進(jìn)入測量壯態(tài),105~2Pa范圍由右窗口顯示測量值?!??!?●*同時外控端口1與2斷開。 電離規(guī)被啟動,燈絲點亮(玻璃規(guī)可觀測到),顯示屏初始顯示電離規(guī)發(fā)射電流值(以最后一次顯示值為準(zhǔn))。 ~,表明真空計發(fā)射電流正常,真空計進(jìn)入真空度檢測程序并顯示真空度值。 ~,這后顯示,說明系統(tǒng)內(nèi)真空度處于電離規(guī)臨界峰值點,電離計自身進(jìn)入超量程自動保護(hù)程序,保護(hù)電離規(guī)。這是由于電阻計1零點不正確,即零點提前過多所至,需要修正零點,零點修正參見13頁。 ~,這將關(guān)閉電離規(guī),并顯示,說明規(guī)管燈絲斷或規(guī)管發(fā)射能力降低,以及使用了與出廠時不匹配的規(guī)管電纜。 自動模式電離規(guī)關(guān)閉:真空度降低至5Pa時電離規(guī)自身超量程關(guān)閉。以及再降低至10Pa時由電阻單元1關(guān)閉電離規(guī)。按前面板關(guān)閉按鍵關(guān)閉電離規(guī)。外控端口1與2閉合關(guān)閉電離規(guī)。手動模式電離規(guī)開啟:真空計開機(jī)后或工作中,按一下前面板自動按鍵,即取消自動運(yùn)行程序,同時前面板自
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