微機型數(shù)顯復(fù)合真空計使用說明書(編輯修改稿)
2024-08-31 00:16 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 豎直安裝?！? 水平安裝可能會帶來測量偏差?！? 應(yīng)優(yōu)先采用豎直安裝?！? 應(yīng)遠(yuǎn)離有油蒸汽（如擴(kuò)散泵返油）的位置，防止油蒸汽遇高溫?zé)艚z裂解，改變規(guī)管靈敏度和特性以延長規(guī)管的使用壽命。● 應(yīng)遠(yuǎn)離高能離子或電子的位置，或屏蔽衰減真空系統(tǒng)內(nèi)的高能離子或電子進(jìn)入規(guī)管，轟擊規(guī)管電極，加速規(guī)管電極老化，縮短規(guī)管壽命?！? 應(yīng)避免規(guī)管安裝處有漏孔，否則微小漏氣在規(guī)管局部產(chǎn)生壓力差，這將帶來較大的測量偏差。真空計與規(guī)管連線 將電阻規(guī)電纜線（五芯插頭）與儀器后面板電阻規(guī)1/2插口相連并旋緊，電纜線的另一頭（八腳插座）與電阻規(guī)八腳插頭相連。 將電離規(guī)電纜線（四芯插頭）與儀器后面板電離規(guī)插口相連并旋緊，電纜線的另一頭（八腳插口）與電離規(guī)八腳插頭相連。同時將收集極電纜（BNC插頭）與儀器后面板收集極插口相連，另一頭夾子與玻璃規(guī)管收集極管冒相連或與金屬規(guī)管第1腳引出線相連。真空計開機及顯示說明： 在確保所有連線正確后，即可接通真空計電源，顯示屏顯示◎◎◎◎◎ ◎◎◎◎◎ 電阻2單元 電阻1與電離復(fù)合單元0E2系數(shù)位 表示10 指數(shù)符號位“+”或“”指數(shù)位例如左窗口顯示：102Pa=200Pa● 當(dāng)指數(shù)符號為負(fù)顯示“”，為正不顯示“+”真空計使用方法： 電阻2為獨立單元，真空計開機后● 此刻應(yīng)進(jìn)行電阻單元2設(shè)定操作（如果有此功能或需要設(shè)定）?！? 若不進(jìn)行設(shè)定操作（無此設(shè)定功能或已設(shè)定過），5秒后電阻單元2自動進(jìn)入測量壯態(tài)并顯示真空度（左窗口）。、滿度修正 由于電阻規(guī)本身的特異性（即零散性）以及使用時的特定環(huán)境等因素，從而使電阻計2與某一個電阻規(guī)匹配首次使用時或使用一段時間后，需要對零點、滿度進(jìn)行修正。零點修正及說明● 101Pa時進(jìn)行。將真空計切換為手動，手動開啟電離規(guī)完成高真空的測量，其操作方法詳見15頁手動模式開啟和關(guān)閉電離規(guī)。將電阻規(guī)2和電離規(guī)與高真空系統(tǒng)妥善連接，同時對真空系統(tǒng)抽到真空，開啟電離規(guī)進(jìn)行真空檢測，101Pa時，101Pa，說明零點正確，不需要修正，若顯示不為此值，應(yīng)進(jìn)行修正。其修正操作方法如下：用一字小改刀伸入真空計前面板電阻單元2零點修正小孔，正或反時針旋轉(zhuǎn)?！? 順時針旋轉(zhuǎn)數(shù)字變大，反時針旋轉(zhuǎn)數(shù)字變小?！? 高真空狀態(tài)下，由于環(huán)境溫度以及傳感絲表面壯態(tài)改變等因素的影響，零點易漂移，……，均屬正常，不需要修正。滿度修正及說明● 滿度修正在大氣壓狀態(tài)下進(jìn)行。在零點確認(rèn)正確或經(jīng)修正正確后，對真空系統(tǒng)放氣，直至大氣壓下，說明滿度正確，不需要修正。若顯示不為此值，應(yīng)進(jìn)行修正，其修正操作方法如下： 用一字小改刀伸入真空計前面板電阻單元2滿度修正（大氣壓）小孔，正或反時針旋轉(zhuǎn)?！? 順時針旋轉(zhuǎn)數(shù)字變大，反時針旋轉(zhuǎn)數(shù)字變小?；谏鲜鲞€未對真空計進(jìn)行零點確認(rèn)或修正。以及真空計零點正確或變化微小，但滿度值已變化。因此真空計開機后，在大氣壓下，僅僅對其滿度修正即可?！? 滿度修正時，電阻規(guī)安裝或放置狀態(tài)（豎直或水平）應(yīng)與使用時狀態(tài)相同。大氣壓（常壓）狀態(tài)下由于空氣分子密度大或經(jīng)高溫環(huán)境下工作后，其滿度值恢復(fù)和穩(wěn)定時間較長?！? 因此雖存在一定的漂移，……，不需要修正。、控制功能及設(shè)定方法控制功能及設(shè)定方法詳見17頁控制功能及設(shè)定方法、控制輸出：詳見18頁控制輸出 電阻單元1既是低真空測量與控制單元，又是自動開啟電離規(guī)單元。基于低真空測量與控制單元其使用方法與電阻單元2相同。105～2Pa時由右窗口顯示其真空測量值。若需進(jìn)行零點修正，應(yīng)將復(fù)合單元置為手動，由與其組合的電離計測量高真空，然后關(guān)閉電離規(guī)或按“電阻1”按鍵轉(zhuǎn)為電阻1顯示，以此確認(rèn)零點是否需要修正?！?在日常工作中，常觀測零點值的變化，若變化微小（101Pa量程）可不需要修正，若變化較大以致不能開啟電離規(guī)則需要修正零點。這樣做將對真空系統(tǒng)的真空檢測和控制正常運行帶來幫助和方便。 基于電阻1的啟動功能在真空度測量值高于2Pa時，（*且外控端1與2斷開恢復(fù)自動模式，）電離規(guī)被自動開啟并顯示電離測量值，電阻1測量值被隱藏。：自動模式電離規(guī)開啟：真空計開機后，復(fù)合單元優(yōu)先置為自動工作模式，同時前面板自動指示燈亮。由電阻規(guī)1自動開啟電離規(guī)實現(xiàn)連續(xù)測量。 ● 開機后應(yīng)進(jìn)行電離計控制功能設(shè)定。否則5秒后電阻單元1自動進(jìn)入測量壯態(tài)，105～2Pa范圍由右窗口顯示測量值?！??！?●*同時外控端口1與2斷開。 電離規(guī)被啟動，燈絲點亮（玻璃規(guī)可觀測到），顯示屏初始顯示電離規(guī)發(fā)射電流值（以最后一次顯示值為準(zhǔn)）。 ～，表明真空計發(fā)射電流正常，真空計進(jìn)入真空度檢測程序并顯示真空度值。 ～，這后顯示，說明系統(tǒng)內(nèi)真空度處于電離規(guī)臨界峰值點，電離計自身進(jìn)入超量程自動保護(hù)程序，保護(hù)電離規(guī)。這是由于電阻計1零點不正確，即零點提前過多所至，需要修正零點，零點修正參見13頁。 ～，這將關(guān)閉電離規(guī)，并顯示，說明規(guī)管燈絲斷或規(guī)管發(fā)射能力降低，以及使用了與出廠時不匹配的規(guī)管電纜。 自動模式電離規(guī)關(guān)閉：真空度降低至5Pa時電離規(guī)自身超量程關(guān)閉。以及再降低至10Pa時由電阻單元1關(guān)閉電離規(guī)。按前面板關(guān)閉按鍵關(guān)閉電離規(guī)。外控端口1與2閉合關(guān)閉電離規(guī)。手動模式電離規(guī)開啟：真空計開機后或工作中，按一下前面板自動按鍵，即取消自動運行程序，同時前面板自
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