微機(jī)型數(shù)顯復(fù)合真空計使用說明書-文庫吧
2025-07-20 00:16 本頁面
【正文】 轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號。以微處理器為核心的數(shù)字電路，一方面完成電阻單元真空數(shù)字信號非線性處理、運(yùn)算，最后送顯示器顯示；一方面完成電離單元數(shù)字信號采樣、運(yùn)算，并送顯示器顯示；同時完成離子流放大量程和發(fā)射電流轉(zhuǎn)換的自動切換。另一方面接受前面板各按鍵指令或后板外控信號指令并發(fā)出相應(yīng)執(zhí)行指令；同時輸出真空控制信號以及真空度模擬信號和計算機(jī)通訊信號等。其工作原理功理圖如下：電阻規(guī)2測量橋路調(diào)理電路模數(shù)轉(zhuǎn)換（A/D模數(shù)轉(zhuǎn)換(A/D)）調(diào)理電路測量橋路電阻規(guī)1微處理器控制輸出模擬量輸出計算機(jī)口輸出外控信號按鍵輸入顯示器電 源交流AC模數(shù)轉(zhuǎn)換(A/D)離子流放大穩(wěn)發(fā)射回路規(guī)管燈絲電離規(guī)管收集極直流高壓加速集真空計電路工作原理框圖性能概述：本復(fù)合真空計：采用經(jīng)過特殊的穩(wěn)定的處理工藝，以熱容量極小的金屬絲作為真空敏感元件的電阻規(guī)，從而更大程度地降低零點、滿度的漂移。采用特別的定溫式工作模式，使其電阻單元具有更寬廣的測量范圍和更快的響應(yīng)時間。采用高穩(wěn)定、高性能直流高壓穩(wěn)壓及穩(wěn)發(fā)射電路，以確保電離規(guī)各參數(shù)穩(wěn)定運(yùn)行。采用獨(dú)特的真空度離子流采樣放大電路和保護(hù)回路，確保從收集極回路串入的瞬變電壓（TVS）強(qiáng)力衰減，使得真空度測量更加穩(wěn)定和可靠。采用全進(jìn)口的微處理和數(shù)字接口芯片以及模擬與數(shù)字分離技術(shù)，光電隔離技術(shù)，數(shù)字濾波等新技術(shù)，確保了真空計具有強(qiáng)大的抗干擾能力。采用優(yōu)化的全自動切換技術(shù)，確保真空計自動量程切換平穩(wěn)和可靠。采用超量程自動關(guān)閉電離規(guī)燈絲技術(shù)，確保因真空系統(tǒng)突然曝露大氣而不損壞電離規(guī)。采用了外控PLC信號、RS232/RS485信號，開啟/關(guān)閉電離規(guī)最新功能，使得實現(xiàn)真空系統(tǒng)的自動化成為可能。采用國際通用流行的2U標(biāo)準(zhǔn)機(jī)箱以及PVC彩色薄膜面板，使真空計外型更為美觀、時尚。使用概述 真空計為二路電阻測量和一路電離測量，組合為復(fù)合真空計。電阻單元2為獨(dú)立工作單元，由真空計前面板左窗口顯示。適宜抽氣機(jī)組前級管路或其它位置的粗、低真空測量和控制。電阻1和電離組合為復(fù)合單元，由真空計前面板右窗口顯示。這種復(fù)合在自動模式時，可實現(xiàn)電阻1自動開啟和關(guān)閉電離規(guī)實現(xiàn)真實度連續(xù)測量和控制：（此模式運(yùn)行要求電阻規(guī)1和電離規(guī)安裝位置之間應(yīng)沒有壓力（真空）差，如同一真空室內(nèi)等）。這種復(fù)合在手動模式時，電阻1和電離規(guī)可不受安裝位置限制（如不在同一真空室內(nèi)等），通過手動開啟和關(guān)閉電離規(guī)進(jìn)行測量和控制。這種復(fù)合也可通過外控端口PLC信號等關(guān)閉電離規(guī)，以實現(xiàn)真空系統(tǒng)在放氣降真空之前關(guān)閉電離規(guī)，避免了在低真空時使點亮的電離規(guī)燈絲氧化，以延長規(guī)管壽命；同時在真空系統(tǒng)恢復(fù)抽真空后又置為自動程序自動開啟電離規(guī)?？赏ㄟ^前面板完成控制點的設(shè)定，以及自動/手動模式測量時的自由切換。可能過前面板零點（真空），滿度（大氣壓）修正小孔，修正電阻單元零點（真空）和滿度（大氣壓）值?？赏ㄟ^面板完成去氣功能等操作。真空計前/后面板功能圖：ZDFXLED前面板ZDFXLED后面板ZDFX前面板ZDFX后面板規(guī)管性能概述：該復(fù)合真空計采用ZJ52T電阻規(guī)和ZJ27熱陰極電離規(guī)。6．1電阻規(guī)性能概述：ZJ52T電阻規(guī)(又稱皮拉尼規(guī))采用經(jīng)過特殊的穩(wěn)定化處理工藝，以熱容量極小的金屬絲作為真空敏感元件，并內(nèi)置了環(huán)境溫度補(bǔ)償回路和管口防粉塵等裝置。具有量程寬、性能穩(wěn)定、響應(yīng)快、抗污染、耐氧化、漂移小、壽命長等特性。適用于粗、低真空測量，105 101 Pa測量。電阻規(guī)（皮拉尼規(guī)）以氣體分子熱傳導(dǎo)方式來檢測真空，這種熱傳導(dǎo)電阻規(guī)在低壓力（真空）下，氣體傳熱量與氣體的摩爾質(zhì)量，氣體分子溫度，熱絲表面等有關(guān)。因此不同種類的氣體對電阻規(guī)的靈敏度不同。由于該電阻計設(shè)計采用干燥空氣（或氮?dú)猓┬?zhǔn)而得出的工作曲線。因此在真空環(huán)境下，相對空氣（氮?dú)猓┑钠渌鼩怏w曲線及修正系數(shù)和等效氮壓力公式如下：（僅供參考）Peff（等效真空）=KP（顯示真空） ZJ27電離規(guī)（又稱寬量程規(guī)），其陰極燈絲采用貴金屬氧化物增強(qiáng)了陰極的抗氧化從而提高了耐受瞬時大氣沖擊的能力，延長了規(guī)管壽命。該熱陰極電離規(guī)的I+/IE與真空P的關(guān)系曲線如下圖如示：如圖所示，當(dāng)真空度進(jìn)一步降低時，在Pm處I+/IE將達(dá)到一個峰值，然后急劇下降，這種現(xiàn)象稱作雙值現(xiàn)象。ZJ27電離規(guī)的峰值點（或雙值點）為：。因此在開啟電離規(guī)測量時，真空度應(yīng)高于此點，若真空度低于此點，此時你將會發(fā)現(xiàn)異常的真空度顯示。如真空度變好時系數(shù)本應(yīng)減小，它卻反而增加，或真空度異常偏高等?！? ZJ27電離規(guī)雖采用了抗氧化陰極燈絲，但高溫?zé)艚z長時間工作在較低真空下（氧氣分壓相對校高）亦易被氧化，并逐步降低發(fā)射能力，使規(guī)管壽命縮短?！? 因此應(yīng)采取最優(yōu)的真空系統(tǒng)運(yùn)行程序，縮短低真空區(qū)域停留時間?！? 并使其保持在高真空區(qū)域工作?！? 或無需測量時暫時關(guān)閉電離規(guī)。：103Pa～ ● 電離規(guī)適宜測量范圍：～105Pa ●規(guī)管外形及安裝ZJ52T電阻規(guī)外形圖ZJ27電離規(guī)外形圖：規(guī)管安裝的位置和方法對測量值及規(guī)管壽命有明顯的影響，尤其是當(dāng)系統(tǒng)中存在氣流、氣源等非均勻條件或高能離子/電子時，這種影響更加明顯。安裝示意圖如下： ● 玻璃外殼電阻規(guī)安裝前可先與電阻單元連機(jī)確認(rèn)零點是否正確或修正其零點，然后開封安裝?！? 采用
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