微機型數(shù)顯復合真空計使用說明書(已修改)
2025-08-16 00:16 本頁面
【正文】 目 錄安全說明………………………………………………………………… 1技術參數(shù)………………………………………………………………… 2工作原理……………………………………………………………… 3性能概述……………………………………………………………… 4使用概述……………………………………………………………… 5規(guī)管性能概述………………………………………………………… 7規(guī)管外形及安裝……………………………………………………… 10真空計與規(guī)管連線…………………………………………………… 12真空計開機及顯示說明……………………………………………… 13真空計使用方法…………………………………………………… 13……………………………………………… 13………………………………… 151真空計去氣………………………………………………………… 17*1控制功能及設定方法……………………………………………… 17*1控制輸出…………………………………………………………… 18*1擴展功能…………………………………………………………… 20 機箱規(guī)格……………………………………………………… 221附錄 規(guī)管接口……………………………………………………… 24 常見問題…………………………………………………… 27 *號內(nèi)容屬選配功能說明，僅選配了此功能相應配置有效 安 全 說 明▲ 為確保該真空計的正常功能，使其具有較高的準確度、穩(wěn)定性和較長的使用壽命，請根據(jù)本說明書中規(guī)定的允許值和應用條件進行操作和使用。操作、維護和維修該真空計時，請遵守電氣設備的安全規(guī)范?！浔苊獯髿鈮合麻_啟電離規(guī)燈絲，這將燒毀電離規(guī)燈絲。避免真空系統(tǒng)或管道有真空時，強制拆卸規(guī)管。避免用于“正壓”的真空系統(tǒng)安裝普通規(guī)管，應安裝承受“正壓”的規(guī)管。避免真空系統(tǒng)中腐蝕性氣體腐蝕電阻規(guī)傳感絲及電離規(guī)各電極，以延長規(guī)管壽命。采用適當措施防止誤操作或不允許的損壞。如未按本說明書操作，我們將不承擔任何責任；有關該真空計及其附件的保證條款也將無效。該說明書使用符號說明：▲ 注意：表示必須遵循的信息，如未遵循可能會導致對人身的傷害和對該真空計的損壞?！? 表示重要的附加信息和技巧或建議。炫辰鈦金保留對產(chǎn)品外觀及設計改進和改變的權利，而無需事先通知，產(chǎn)品及配件以實物為準。技術參數(shù) 電阻單元技術參數(shù)：配用規(guī)管型號:ZJ52T電阻規(guī)電阻規(guī)傳感絲冷態(tài)電阻值(177。)真空度測量范圍（對干燥空氣或氮氣） 105～103可測范圍。 103～101不大于顯示值的177。30% 101～101可測范圍。103～101Pa。 電離單元技術參數(shù):測量范圍:5～1Pa可測范圍 1～5105 Pa不大于顯示值的177。50% 5105～1105Pa可測范圍配用規(guī)管型號:ZJ27電離規(guī)規(guī)管靈敏度:177。15% Pa1。規(guī)管加速極（柵極）對地電位：225V177。3%規(guī)管陰極（燈絲）中心點對地電位：25V177。5%。收集極對地電壓：0V。發(fā)射電流：100uA177。3% 5～1101Pa 1mA177。3% 1101～1105 Pa離子流放大器示值誤差：5～1104 Pa不大于177。5% 1104～1105 Pa不大于177。10%規(guī)管除氣方式：焦耳去氣。有效控制范圍：1Pa～5105 Pa控制輸出模式：繼電器觸點通、斷輸出。每一組輸出為一對常閉和一對常開?？刂曝撦d：AC220V/1A（DC28V/5A）無感負載。工作電源：AC220V177。10%/50HZ。功率：最大功率約40W。工作環(huán)境溫度：0～450C。工作相對濕度＜85%。機箱規(guī)格及開孔尺寸和重量參見附錄。工作原理 電阻單元采用熱傳導式電阻真空規(guī)（又稱皮拉尼規(guī)），基于這種規(guī)通以電流的熱絲溫度是隨真空（壓力）而變化的。由于溫度的改變導致熱絲電阻的變化。因此用測量電阻的變化來測量真空度。 電離計工作原理 電離單元采用熱陰極電離規(guī)?；谶@種規(guī)在低壓力（真空）下，對通過電流的電離管燈絲“加熱”，使其發(fā)射電子，故稱熱陰極電離規(guī)；同時給電離規(guī)加速極施加直流高壓，使電子在規(guī)管電極間產(chǎn)生的電場中被加速，去轟擊氣體分子使其電離，電離產(chǎn)生的正離子被收集極接收。離子流與氣體壓力p的關系： I+=KIePK為規(guī)管靈敏度，I+為離子流，Ie為發(fā)射電流，P為真空系統(tǒng)內(nèi)壓力（真空）。 復合真空計由電阻規(guī)管、電離規(guī)管和電子學電路組成。電阻單元電路完成電阻規(guī)熱絲定溫功率調(diào)節(jié)，以及隨真空度變化的測量橋路電壓信號的采樣，放大，經(jīng)模數(shù)（A/D）轉換為數(shù)字信號。電離單元電路一部份提供電離規(guī)管所需的工作電壓以及發(fā)射電流的穩(wěn)定；另一部份完成離子流的檢測、放大，經(jīng)模數(shù)（A/D）
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