微機(jī)型數(shù)顯復(fù)合真空計(jì)使用說(shuō)明書(shū)(已修改)
2024-08-21 00:16 本頁(yè)面
【正文】 目 錄安全說(shuō)明………………………………………………………………… 1技術(shù)參數(shù)………………………………………………………………… 2工作原理……………………………………………………………… 3性能概述……………………………………………………………… 4使用概述……………………………………………………………… 5規(guī)管性能概述………………………………………………………… 7規(guī)管外形及安裝……………………………………………………… 10真空計(jì)與規(guī)管連線(xiàn)…………………………………………………… 12真空計(jì)開(kāi)機(jī)及顯示說(shuō)明……………………………………………… 13真空計(jì)使用方法…………………………………………………… 13……………………………………………… 13………………………………… 151真空計(jì)去氣………………………………………………………… 17*1控制功能及設(shè)定方法……………………………………………… 17*1控制輸出…………………………………………………………… 18*1擴(kuò)展功能…………………………………………………………… 20 機(jī)箱規(guī)格……………………………………………………… 221附錄 規(guī)管接口……………………………………………………… 24 常見(jiàn)問(wèn)題…………………………………………………… 27 *號(hào)內(nèi)容屬選配功能說(shuō)明，僅選配了此功能相應(yīng)配置有效 安 全 說(shuō) 明▲ 為確保該真空計(jì)的正常功能，使其具有較高的準(zhǔn)確度、穩(wěn)定性和較長(zhǎng)的使用壽命，請(qǐng)根據(jù)本說(shuō)明書(shū)中規(guī)定的允許值和應(yīng)用條件進(jìn)行操作和使用。操作、維護(hù)和維修該真空計(jì)時(shí)，請(qǐng)遵守電氣設(shè)備的安全規(guī)范?！浔苊獯髿鈮合麻_(kāi)啟電離規(guī)燈絲，這將燒毀電離規(guī)燈絲。避免真空系統(tǒng)或管道有真空時(shí)，強(qiáng)制拆卸規(guī)管。避免用于“正壓”的真空系統(tǒng)安裝普通規(guī)管，應(yīng)安裝承受“正壓”的規(guī)管。避免真空系統(tǒng)中腐蝕性氣體腐蝕電阻規(guī)傳感絲及電離規(guī)各電極，以延長(zhǎng)規(guī)管壽命。采用適當(dāng)措施防止誤操作或不允許的損壞。如未按本說(shuō)明書(shū)操作，我們將不承擔(dān)任何責(zé)任；有關(guān)該真空計(jì)及其附件的保證條款也將無(wú)效。該說(shuō)明書(shū)使用符號(hào)說(shuō)明：▲ 注意：表示必須遵循的信息，如未遵循可能會(huì)導(dǎo)致對(duì)人身的傷害和對(duì)該真空計(jì)的損壞?！? 表示重要的附加信息和技巧或建議。炫辰鈦金保留對(duì)產(chǎn)品外觀及設(shè)計(jì)改進(jìn)和改變的權(quán)利，而無(wú)需事先通知，產(chǎn)品及配件以實(shí)物為準(zhǔn)。技術(shù)參數(shù) 電阻單元技術(shù)參數(shù)：配用規(guī)管型號(hào):ZJ52T電阻規(guī)電阻規(guī)傳感絲冷態(tài)電阻值(177。)真空度測(cè)量范圍（對(duì)干燥空氣或氮?dú)猓? 105～103可測(cè)范圍。 103～101不大于顯示值的177。30% 101～101可測(cè)范圍。103～101Pa。 電離單元技術(shù)參數(shù):測(cè)量范圍:5～1Pa可測(cè)范圍 1～5105 Pa不大于顯示值的177。50% 5105～1105Pa可測(cè)范圍配用規(guī)管型號(hào):ZJ27電離規(guī)規(guī)管靈敏度:177。15% Pa1。規(guī)管加速極（柵極）對(duì)地電位：225V177。3%規(guī)管陰極（燈絲）中心點(diǎn)對(duì)地電位：25V177。5%。收集極對(duì)地電壓：0V。發(fā)射電流：100uA177。3% 5～1101Pa 1mA177。3% 1101～1105 Pa離子流放大器示值誤差：5～1104 Pa不大于177。5% 1104～1105 Pa不大于177。10%規(guī)管除氣方式：焦耳去氣。有效控制范圍：1Pa～5105 Pa控制輸出模式：繼電器觸點(diǎn)通、斷輸出。每一組輸出為一對(duì)常閉和一對(duì)常開(kāi)?？刂曝?fù)載：AC220V/1A（DC28V/5A）無(wú)感負(fù)載。工作電源：AC220V177。10%/50HZ。功率：最大功率約40W。工作環(huán)境溫度：0～450C。工作相對(duì)濕度＜85%。機(jī)箱規(guī)格及開(kāi)孔尺寸和重量參見(jiàn)附錄。工作原理 電阻單元采用熱傳導(dǎo)式電阻真空規(guī)（又稱(chēng)皮拉尼規(guī)），基于這種規(guī)通以電流的熱絲溫度是隨真空（壓力）而變化的。由于溫度的改變導(dǎo)致熱絲電阻的變化。因此用測(cè)量電阻的變化來(lái)測(cè)量真空度。 電離計(jì)工作原理 電離單元采用熱陰極電離規(guī)?；谶@種規(guī)在低壓力（真空）下，對(duì)通過(guò)電流的電離管燈絲“加熱”，使其發(fā)射電子，故稱(chēng)熱陰極電離規(guī)；同時(shí)給電離規(guī)加速極施加直流高壓，使電子在規(guī)管電極間產(chǎn)生的電場(chǎng)中被加速，去轟擊氣體分子使其電離，電離產(chǎn)生的正離子被收集極接收。離子流與氣體壓力p的關(guān)系： I+=KIePK為規(guī)管靈敏度，I+為離子流，Ie為發(fā)射電流，P為真空系統(tǒng)內(nèi)壓力（真空）。 復(fù)合真空計(jì)由電阻規(guī)管、電離規(guī)管和電子學(xué)電路組成。電阻單元電路完成電阻規(guī)熱絲定溫功率調(diào)節(jié)，以及隨真空度變化的測(cè)量橋路電壓信號(hào)的采樣，放大，經(jīng)模數(shù)（A/D）轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)。電離單元電路一部份提供電離規(guī)管所需的工作電壓以及發(fā)射電流的穩(wěn)定；另一部份完成離子流的檢測(cè)、放大，經(jīng)模數(shù)（A/D）
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