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微機(jī)型數(shù)顯復(fù)合真空計(jì)使用說明書-wenkub

2022-09-01 00:16:49 本頁(yè)面
 

【正文】 測(cè)量時(shí),真空度應(yīng)高于此點(diǎn),若真空度低于此點(diǎn),此時(shí)你將會(huì)發(fā)現(xiàn)異常的真空度顯示。由于該電阻計(jì)設(shè)計(jì)采用干燥空氣(或氮?dú)猓┬?zhǔn)而得出的工作曲線。具有量程寬、性能穩(wěn)定、響應(yīng)快、抗污染、耐氧化、漂移小、壽命長(zhǎng)等特性??赡苓^前面板零點(diǎn)(真空),滿度(大氣壓)修正小孔,修正電阻單元零點(diǎn)(真空)和滿度(大氣壓)值。這種復(fù)合在自動(dòng)模式時(shí),可實(shí)現(xiàn)電阻1自動(dòng)開啟和關(guān)閉電離規(guī)實(shí)現(xiàn)真實(shí)度連續(xù)測(cè)量和控制:(此模式運(yùn)行要求電阻規(guī)1和電離規(guī)安裝位置之間應(yīng)沒有壓力(真空)差,如同一真空室內(nèi)等)。使用概述 真空計(jì)為二路電阻測(cè)量和一路電離測(cè)量,組合為復(fù)合真空計(jì)。采用優(yōu)化的全自動(dòng)切換技術(shù),確保真空計(jì)自動(dòng)量程切換平穩(wěn)和可靠。采用特別的定溫式工作模式,使其電阻單元具有更寬廣的測(cè)量范圍和更快的響應(yīng)時(shí)間。電離單元電路一部份提供電離規(guī)管所需的工作電壓以及發(fā)射電流的穩(wěn)定;另一部份完成離子流的檢測(cè)、放大,經(jīng)模數(shù)(A/D)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)?;谶@種規(guī)在低壓力(真空)下,對(duì)通過電流的電離管燈絲“加熱”,使其發(fā)射電子,故稱熱陰極電離規(guī);同時(shí)給電離規(guī)加速極施加直流高壓,使電子在規(guī)管電極間產(chǎn)生的電場(chǎng)中被加速,去轟擊氣體分子使其電離,電離產(chǎn)生的正離子被收集極接收。工作原理 電阻單元采用熱傳導(dǎo)式電阻真空規(guī)(又稱皮拉尼規(guī)),基于這種規(guī)通以電流的熱絲溫度是隨真空(壓力)而變化的??刂曝?fù)載:AC220V/1A(DC28V/5A)無感負(fù)載。有效控制范圍:1Pa~5105 Pa5% 1104~1105 Pa不大于177。發(fā)射電流:100uA177。5%。50% 5105~1105Pa可測(cè)范圍)炫辰鈦金保留對(duì)產(chǎn)品外觀及設(shè)計(jì)改進(jìn)和改變的權(quán)利,而無需事先通知,產(chǎn)品及配件以實(shí)物為準(zhǔn)。操作、維護(hù)和維修該真空計(jì)時(shí),請(qǐng)遵守電氣設(shè)備的安全規(guī)范。避免真空系統(tǒng)或管道有真空時(shí),強(qiáng)制拆卸規(guī)管。避免真空系統(tǒng)中腐蝕性氣體腐蝕電阻規(guī)傳感絲及電離規(guī)各電極,以延長(zhǎng)規(guī)管壽命。如未按本說明書操作,我們將不承擔(dān)任何責(zé)任;有關(guān)該真空計(jì)及其附件的保證條款也將無效。技術(shù)參數(shù) 電阻單元技術(shù)參數(shù):真空度測(cè)量范圍(對(duì)干燥空氣或氮?dú)猓? 105~103可測(cè)范圍。103~101Pa。配用規(guī)管型號(hào):ZJ27電離規(guī)規(guī)管加速極(柵極)對(duì)地電位:225V177。3% 5~1101Pa 1mA177。10%控制輸出模式:繼電器觸點(diǎn)通、斷輸出。功率:最大功率約40W。工作相對(duì)濕度<85%。由于溫度的改變導(dǎo)致熱絲電阻的變化。離子流與氣體壓力p的關(guān)系: I+=KIePK為規(guī)管靈敏度,I+為離子流,Ie為發(fā)射電流,P為真空系統(tǒng)內(nèi)壓力(真空)。以微處理器為核心的數(shù)字電路,一方面完成電阻單元真空數(shù)字信號(hào)非線性處理、運(yùn)算,最后送顯示器顯示;一方面完成電離單元數(shù)字信號(hào)采樣、運(yùn)算,并送顯示器顯示;同時(shí)完成離子流放大量程和發(fā)射電流轉(zhuǎn)換的自動(dòng)切換。采用高穩(wěn)定、高性能直流高壓穩(wěn)壓及穩(wěn)發(fā)射電路,以確保電離規(guī)各參數(shù)穩(wěn)定運(yùn)行。采用超量程自動(dòng)關(guān)閉電離規(guī)燈絲技術(shù),確保因真空系統(tǒng)突然曝露大氣而不損壞電離規(guī)。電阻單元2為獨(dú)立工作單元,由真空計(jì)前面板左窗口顯示。這種復(fù)合在手動(dòng)模式時(shí),電阻1和電離規(guī)可不受安裝位置限制(如不在同一真空室內(nèi)等),通過手動(dòng)開啟和關(guān)閉電離規(guī)進(jìn)行測(cè)量和控制??赏ㄟ^面板完成去氣功能等操作。適用于粗、低真空測(cè)量,105 101 Pa測(cè)量。因此在真空環(huán)境下,相對(duì)空氣(氮?dú)猓┑钠渌鼩怏w曲線及修正系數(shù)和等效氮壓力公式如下:(僅供參考)Peff(等效真空)=KP(顯示真空) ZJ27電離規(guī)(又稱寬量程規(guī)),其陰極燈絲采用貴金屬氧化物增強(qiáng)了陰極的抗氧化從而提高了耐受瞬時(shí)大氣沖擊的能力,延長(zhǎng)了規(guī)管壽命。如真空度變好時(shí)系數(shù)本應(yīng)減小,它卻反而增加,或真空度異常偏高等?!? 或無需測(cè)量時(shí)暫時(shí)關(guān)閉電離規(guī)?!? 水平安裝可能會(huì)帶來測(cè)量偏差?!? 應(yīng)避免規(guī)管安裝處有漏孔,否則微小漏氣在規(guī)管局部產(chǎn)生壓力差,這將帶來較大的測(cè)量偏差。真空計(jì)開機(jī)及顯示說明: 在確保所有連線正確后,即可接通真空計(jì)電源,顯示屏顯示◎◎◎◎◎ ◎◎◎◎◎ 電阻2單元 電阻1與電離復(fù)合單元0E2系數(shù)位 表示10 指數(shù)符號(hào)位“+”或“”指數(shù)位例如左窗口顯示:102Pa=200Pa● 當(dāng)指數(shù)符號(hào)為負(fù)顯示“”,為正不顯示“+”真空計(jì)使用方法: 電阻2為獨(dú)立單元,真空計(jì)開機(jī)后● 此刻應(yīng)進(jìn)行電阻單元2設(shè)定操作(如果有此功能或需要設(shè)定)。零點(diǎn)修正及說明● 101Pa時(shí)進(jìn)行。● 順時(shí)針旋轉(zhuǎn)數(shù)字變大,反時(shí)針旋轉(zhuǎn)數(shù)字變小。在零點(diǎn)確認(rèn)正確或經(jīng)修正正確后,對(duì)真空系統(tǒng)放氣,直至大氣壓下,說明滿度正確,不需要修正。以及真空計(jì)零點(diǎn)正確或變化微小,但滿度值已變化?!? 因此雖存在一定的漂移,……,不需要修正。若需進(jìn)行零點(diǎn)修正,應(yīng)將復(fù)合單元置為手動(dòng),由與其組合的電離計(jì)測(cè)量高真空,然后關(guān)閉電離規(guī)或按“電阻1”按鍵轉(zhuǎn)為電阻1顯示,以此確認(rèn)零點(diǎn)是否需要修正。:否則5秒后電阻單元1自動(dòng)進(jìn)入測(cè)量壯態(tài),105~2Pa范圍由右窗口顯示測(cè)量值。 ~,表明真空計(jì)發(fā)射電流正常,真空計(jì)進(jìn)入真空度檢測(cè)程序并顯示真空度值。 外控端口1與2閉合關(guān)閉電離規(guī)。●在確保真空
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