【文章內(nèi)容簡(jiǎn)介】 廢氣：酸、堿性廢氣主要來自外延片鐘罩機(jī)架清洗工序，清洗工序主要使用鹽酸、氨水、過氧化氫，由于鹽酸、氨氣的揮發(fā)產(chǎn)生的酸、堿性廢氣，其生產(chǎn)過程中集中在密閉槽子內(nèi)進(jìn)行，通過引風(fēng)機(jī)引入廢氣洗滌吸收塔進(jìn)行處理，其廢氣排放量為1000m3/h。外延爐廢氣：硅片在外延過程中將產(chǎn)生含氯化氫及濃度極低(ppm級(jí))PHB2H6的廢氣，根據(jù)可行性研究報(bào)告，本項(xiàng)目將采用意大利CIR公司進(jìn)口的專用外延爐尾氣處理塔進(jìn)行處理。②生產(chǎn)廢水酸、堿廢水：外延片清洗機(jī)使用鹽酸、氨水、雙氧水清洗硅片，清洗廢水含有一定的鹽酸、氨水及廢氣吸收廢水。③噪聲噪聲主要來自于生產(chǎn)設(shè)備(包括純水制作設(shè)備)運(yùn)行產(chǎn)生的噪聲，產(chǎn)生的噪聲在50～80dB之間；公用動(dòng)力設(shè)備運(yùn)行產(chǎn)生的噪聲，包括空壓機(jī)房、真空機(jī)、水泵等，產(chǎn)生的噪聲在60～85dB之間；廢水、廢氣處理設(shè)備運(yùn)行產(chǎn)生的噪聲，產(chǎn)生的噪聲在50～85dB之間。冷卻水塔運(yùn)行時(shí)產(chǎn)生的噪聲，產(chǎn)生的噪聲在60～85dB之間。④固體廢物根據(jù)本項(xiàng)目生產(chǎn)工藝，其固體廢物產(chǎn)生情況如下：生產(chǎn)工序中使用的石墨基座廢料，其主要成份為廢石墨等，年產(chǎn)生量為30t/a；污水處理站混凝沉淀后產(chǎn)生污泥，根據(jù)廢水中SS濃度，確定其污泥排放量為12t/a。企業(yè)辦公、生活垃圾其產(chǎn)生量為36t/a。三、公用工程(1)給水排水系統(tǒng)企業(yè)給排水系統(tǒng)主要依托寧波保稅區(qū)東區(qū)給排水管網(wǎng)，自來水接自保稅區(qū)東區(qū)給水管網(wǎng)，其供水能力達(dá)6000t/d，廠內(nèi)建有循環(huán)冷卻水系統(tǒng)能力為4000t/h，純水、高純水制備其能力為600t/d。企業(yè)建有250t/d處理能力廢水處理設(shè)施一套，生產(chǎn)廢水經(jīng)中和、沉淀、生化處理后排入保稅東區(qū)污水管網(wǎng)，進(jìn)入巖東污水處理廠。(2)供熱由于目前保稅區(qū)東區(qū)內(nèi)沒有集中供熱，為了控制潔凈廠房的溫度和濕度，本項(xiàng)目設(shè)立燃油蒸氣鍋爐一臺(tái)，采用0柴油作為燃料，其用量226kg/h，鍋爐工作時(shí)間以每天24小時(shí)計(jì)，年耗燃油量約2128t/a。根據(jù)《三廢處理工程技術(shù)手冊(cè)—廢氣卷》提供的產(chǎn)污系數(shù)，估算得各大氣污染物排放量如下表：污染物名稱排放系數(shù)排放量濃度煙氣量——TSP15 mg/Nm3SO2364mg/Nm3NO2*136mg/Nm3CO38mg/Nm3*：為原數(shù)值NO2%。(3)供電供電接保稅區(qū)供電網(wǎng)絡(luò)，公司原有35KV變電站一座，總供電容量20000KVA。(4)壓縮空氣本項(xiàng)目二套20m3/min無油空氣壓縮機(jī)組。(5)職工人數(shù)、生產(chǎn)制度全公司現(xiàn)有員工及管理人員數(shù)為200人。年工作日330天左右，三班制運(yùn)行。四、主要環(huán)境問題根據(jù)寧波立立半導(dǎo)體有限公司、寧波立立電子股份有限公司的竣工驗(yàn)收?qǐng)?bào)告，目前該公司位于寧波保稅區(qū)東區(qū)，廢水、廢氣處理裝置齊全，正常運(yùn)行情況下，能確保廢水、廢氣、噪聲的達(dá)標(biāo)排放，同時(shí)，寧波保稅區(qū)屬港口貿(mào)工型的綜合性保稅區(qū)，配套設(shè)施完善，全區(qū)排水采用雨污水分流制，排水與寧波開發(fā)區(qū)并網(wǎng)，污水通過泵站排至開發(fā)區(qū)巖東污水處理廠處理達(dá)標(biāo)后排入金塘水道。主要環(huán)境問題該公司應(yīng)加強(qiáng)廢氣處理裝置的運(yùn)行管理，確保廢氣處理裝置意外事故的發(fā)生，影響周圍環(huán)境。建設(shè)項(xiàng)目所在地自然環(huán)境社會(huì)環(huán)境簡(jiǎn)況自然環(huán)境簡(jiǎn)況(地形、地貌、地質(zhì)、氣候、氣象、水文、植被、生物多樣性等) 地理位置項(xiàng)目位于寧波保稅區(qū)東區(qū)0125地塊，港東大道20號(hào)。廠區(qū)北臨保稅區(qū)界河，靠近港務(wù)局碼頭區(qū)；南依港東大道，與蘭羚鋼鐵公司隔路相望；東為興業(yè)五路，與寧波日月鉆石科技有限公司相鄰；西靠興業(yè)四路，與高新貨柜公司和成路包裝公司隔路相望，本項(xiàng)目主要在公司廠區(qū)中部的單晶、切磨、拋光廠房?jī)?nèi)，詳見地理位置圖。 地形、地貌和地質(zhì)寧波保稅區(qū)位于寧波市東部的北侖區(qū)，地理坐標(biāo)為東徑121176。48′，北緯29176。58′。北侖地區(qū)地形呈狹長(zhǎng)不規(guī)則三角形，西北為濱海水網(wǎng)平原，東南為低山丘陵區(qū)，區(qū)內(nèi)河流池塘交錯(cuò)密布，地勢(shì)向海岸方向略有傾斜，%，略低于高潮海水水面。 氣象、氣候特征北侖區(qū)氣候?qū)賮啛釒Ъ撅L(fēng)氣候，四季分明，氣候溫和濕潤(rùn)，雨量充沛。冬季少雨干冷，春末夏初為梅雨季節(jié)，78月受太平洋副熱帶高壓控制，天氣晴熱少雨。由于地處沿海，受海陸風(fēng)影響比較明顯，夏秋季節(jié)受太平洋臺(tái)風(fēng)影響，伴有大風(fēng)和暴雨。本區(qū)域主要?dú)庀笠厝缦拢簹v年最高氣溫 ℃歷年最低氣溫 ℃年平均氣溫 ℃年平均相對(duì)濕度 82%多年平均降水量 年平均雨日 年平均氣壓 年平均風(fēng)速 主導(dǎo)風(fēng)向 SE(%) N(%) 水文保稅區(qū)毗鄰的金塘水道海域?qū)儆诓徽?guī)半日潮，由于有舟山群島的金塘、大榭、黃蟒等島作屏障，外海涌浪難以傳入，主要波浪是局部水域產(chǎn)生的風(fēng)浪。水道內(nèi)水深流急，在潮汐作用下，具有良好的水質(zhì)交換條件。社會(huì)環(huán)境簡(jiǎn)況(社會(huì)經(jīng)濟(jì)結(jié)構(gòu)、教育、文化、文物保護(hù)等)寧波保稅區(qū)自1992年建區(qū)至今，已開發(fā)東區(qū)、西區(qū)、南區(qū)三部分，保稅區(qū)內(nèi)設(shè)有電子信息園、國(guó)際軟件園、留學(xué)人員創(chuàng)業(yè)園、精密機(jī)械(汽配)園、物流分撥中心。寧波保稅區(qū)自1992年建區(qū)到目前為止，已有近40個(gè)國(guó)家和地區(qū)的投資者在區(qū)內(nèi)設(shè)立企業(yè)4000多家，注冊(cè)資金達(dá)230億元，其中外商投資企業(yè)684家，總投資26億美元。引進(jìn)高科技項(xiàng)目131個(gè)。尤其是臺(tái)資企業(yè)集聚發(fā)展，引進(jìn)臺(tái)資企業(yè)110多家，其中生產(chǎn)型企業(yè)51家，成為浙江省最大的臺(tái)資企業(yè)集聚地。目前，區(qū)內(nèi)已初步形成 計(jì)算機(jī)產(chǎn)業(yè)群、半導(dǎo)體光電產(chǎn)業(yè)群、精密機(jī)械產(chǎn)業(yè)群、留學(xué)生創(chuàng)業(yè)企業(yè)群軟件產(chǎn)業(yè)群和國(guó)際貿(mào)易、倉儲(chǔ)物流企業(yè)群，成為華東地區(qū)高科技產(chǎn)業(yè)發(fā)展的高地和重要的進(jìn)出口物流集散地。(2)巖東污水處理廠概況開發(fā)區(qū)巖東污水處理廠設(shè)計(jì)規(guī)模24萬噸/日，一期工程60000m3/d已于2002年5月正式投入運(yùn)行，其處理工藝為二級(jí)氧化溝好氧生化處理工藝，廢水經(jīng)處理達(dá)到城鎮(zhèn)污水處理廠二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)后排海，并通過排海管進(jìn)行深海排放。根據(jù)設(shè)計(jì)要求，其主要接納生活污水、工業(yè)污水以及北侖倉儲(chǔ)區(qū)廢水，進(jìn)入巖東污水處理廠廢水必須符合巖東污水處理廠進(jìn)網(wǎng)標(biāo)準(zhǔn)。環(huán)境質(zhì)量狀況建設(shè)項(xiàng)目所在地區(qū)域環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀及主要環(huán)境問題(環(huán)境空氣、地面水、地下水、生態(tài)環(huán)境等)空氣環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀2003年10月10日至14日對(duì)新矸鎮(zhèn)空氣環(huán)境質(zhì)量進(jìn)行監(jiān)測(cè)，結(jié)果匯總?cè)缦拢喉?xiàng)目均值范圍(mg/m3)超標(biāo)率(%)SO2～0NO2～0TSP～0按寧波市空氣質(zhì)量功能區(qū)域劃分，該地區(qū)執(zhí)行空氣環(huán)境質(zhì)量二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)，根據(jù)監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)表明，該區(qū)域環(huán)境空氣質(zhì)量符合二級(jí)環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)。水環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀近年來在北侖海域進(jìn)行過多次海洋水質(zhì)監(jiān)測(cè)，基本包括了整個(gè)北侖海域，歷年監(jiān)測(cè)統(tǒng)計(jì)結(jié)果見下表： 北侖海域水質(zhì)監(jiān)測(cè)結(jié)果(單位：除PH外均為mg/l)項(xiàng)目范圍均值類別項(xiàng)目范圍均值類別PH～Ⅰ無機(jī)磷～ⅠDO～Ⅰ石油類～ⅡCODMn～ⅠCr0～Ⅰ無機(jī)氮～ⅣSS326～2640798從上述數(shù)據(jù)可知，本區(qū)域絕大多數(shù)水質(zhì)指標(biāo)如PH、DO、CODMn均保持在Ⅰ類海水標(biāo)準(zhǔn)范圍內(nèi)。污染物中石油類濃度較高，與該水域海上交通繁忙，油庫較多，排入含油污水量大有關(guān)。聲學(xué)環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀對(duì)保稅區(qū)東區(qū)環(huán)境噪聲進(jìn)行監(jiān)測(cè)，；；聲環(huán)境現(xiàn)狀滿足工業(yè)區(qū)要求的三級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。主要環(huán)境保護(hù)目標(biāo)(列出名單及保護(hù)級(jí)別)根據(jù)水功能區(qū)劃及建設(shè)項(xiàng)目所在的區(qū)域的環(huán)境狀況，主要環(huán)境保護(hù)目標(biāo)為：水環(huán)境：本海域主導(dǎo)使用功能是港口、工業(yè)，水質(zhì)目標(biāo)為三類；大氣環(huán)境：《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》(GB30951996)二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)；聲環(huán)境：工業(yè)區(qū)執(zhí)行《城市區(qū)域環(huán)境噪聲標(biāo)準(zhǔn)》(GB309693)3類標(biāo)準(zhǔn)。評(píng)價(jià)適用標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn) 水環(huán)境納污海域執(zhí)行《海水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)》(GB30971997)第三類，主要參數(shù)為PH ～，DO＞4mg/L，SS(人為增加的量)≤100mg/L，COD≤4mg/L，BOD5≤4mg/L，石油類≤，活性磷酸鹽(以P計(jì))≤。 環(huán)境空氣根據(jù)《寧波市環(huán)境空氣質(zhì)量功能區(qū)劃分》，本區(qū)域?qū)俣悈^(qū)，執(zhí)行《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》(GB30951996)中的二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)，詳見下表。 污染物名稱取值時(shí)間濃度限值(mg/m3)一級(jí)標(biāo)準(zhǔn)二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)三級(jí)標(biāo)準(zhǔn)SO2年平均日平均1小時(shí)平均NO2年平均日平均1小時(shí)平均TSP年平均日平均 環(huán)境噪聲保稅區(qū)按GB309693《城市區(qū)域環(huán)境噪聲標(biāo)準(zhǔn)》3類標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行，即晝間65dB，夜間55dB。污染物排放標(biāo)準(zhǔn) 廢水排放標(biāo)準(zhǔn)本項(xiàng)目廢水排入保稅區(qū)污水管網(wǎng)至巖東污水處理廠，排放廢水執(zhí)行CJ30821999《污水排入城市下水道水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)》和巖東污水處理進(jìn)網(wǎng)要求，其主要指標(biāo)：PH 6～9，SS≤350mg/L，BOD5 ≤200mg/L， CODcr≤400mg/L，SS≤350mg/L，石油類≤20mg/L。 廢氣排放標(biāo)準(zhǔn)鍋爐廢氣排放執(zhí)行GB132712001《鍋爐大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》二類區(qū)Ⅱ時(shí)段標(biāo)準(zhǔn)。 鍋爐類別適用區(qū)域煙塵(mg/m3)SO2 (mg/m3)NO2 (mg/m3)煙囪高度(m)燃油鍋爐二類區(qū)1005004008工藝廢氣執(zhí)行GB162971996《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)，其主要指標(biāo)如下表：序號(hào)污染物最高允許排放濃度mg/m3最高允許排放速率，kg/h無組織排放監(jiān)控濃度限值mg/m3排氣筒高度m二級(jí)1氮氧化物24015202氟化氫152020(μg//m3) 噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)企業(yè)廠界噪聲執(zhí)行GB1234890《工業(yè)企業(yè)廠界噪聲標(biāo)準(zhǔn)》Ⅲ類標(biāo)準(zhǔn)，即晝間65dB，夜間55dB?？偭靠刂浦笜?biāo)建設(shè)項(xiàng)目工程分析工藝流程簡(jiǎn)述(圖標(biāo)) 工藝流程硅拋光片的生產(chǎn)工藝一般可分二步：第一步：生產(chǎn)單晶硅晶錠。利用單晶爐將半導(dǎo)體級(jí)多晶硅在最高溫度達(dá)1700℃的熱場(chǎng)中熔化，然后通過籽晶生長(zhǎng)在用戶所需的直徑和電學(xué)參數(shù)的單晶硅錠。第二步：制作拋光片。將單晶硅錠在專用設(shè)備上進(jìn)行切片、磨片、拋光加工生產(chǎn)，加工成拋光片，控制其幾何尺寸和表面質(zhì)量，使之能滿足外延片生產(chǎn)的要求。本項(xiàng)目主要按上述二步生產(chǎn)工藝，硅拋光片生產(chǎn)工藝流程及排污情況如下：(1)單晶硅晶錠生產(chǎn)工藝及排污情況單晶硅晶錠生產(chǎn)工藝及排污位置如下圖：多晶清洗備料單晶生長(zhǎng)單晶切段坩堝清洗晶錠滾圓周檢測(cè)酸性廢氣切割研磨廢水酸性廢水(2)硅拋光片生產(chǎn)工藝及排污情況硅拋光片其生產(chǎn)工藝及排污位置如下：成品晶錠切片