【正文】 儲運，操作人員必須穿戴防護(hù)用品。液堿散裝儲運。消防處理時用水、沙土撲救，但需防止物品遇水產(chǎn)生飛濺，造成灼傷。氫氧化鈉可溶于水、乙醇和甘油。c) 氫氧化鈉：氫氧化鈉為固體狀，熔點318176。來源及用途：由氟化鈣與硫酸作用制得。切忌接觸H發(fā)孔劑、氰化物、金屬粉末、堿類等，以防發(fā)生意外。滅火劑：霧狀水，泡沫。對金、鉑、鉛、石蠟及其某些塑料不起腐蝕作用，但對很多金屬都能發(fā)生腐蝕，并且能和硅化合物反應(yīng)生成氣態(tài)的四氟化硅，因此不能用玻璃及陶瓷用容器。b) 氫氟酸：性狀：氫氟酸是含氟化氫40%的水溶液，極易揮發(fā)，露置空氣中即冒白煙。眼或皮膚污染時立即用大量清水沖洗15分鐘以上。發(fā)生硝酸泄漏后進(jìn)行處理前必須戴好防毒面具和手套。搬運時要輕裝輕卸，防止撞擊、震動、斜倒。儲庫外要備有消防龍頭和氧氣防毒面具，以應(yīng)急救。用耐酸地坪。大鼠吸入LC5049ppm/4小時。人在低于12ppm(30mg/m3)左右時未見明顯的損害。皮膚接觸硝酸的部位呈褐黃色。硝酸能與多種物質(zhì)如金屬粉末、電石、硫化氫、松節(jié)油等猛烈反應(yīng)，發(fā)生爆炸，與可燃物、還原劑和有機物如木屑、棉花、稻草或廢紗頭等接觸，引起燃燒，并散發(fā)出劇毒的棕色煙霧。，176。硝酸化學(xué)性質(zhì)活潑，能與多種物質(zhì)反應(yīng)，它是一種強氧化劑，它可腐蝕各種金屬和材料(除鋁和特殊的鉻合金鋼)。 所用化學(xué)品物理化學(xué)性質(zhì)a) 硝酸：硝酸是一種透明、無色或帶有黃色獨特的窒息性氣味的腐蝕性液體。 固體廢物根據(jù)本項目生產(chǎn)工藝，其固體廢物產(chǎn)生情況如下：(1) 生產(chǎn)過程將產(chǎn)生廢多晶錠，其主要成份為廢單晶硅等，年產(chǎn)生量為23t/a；(2) 污水處理站混凝沉淀后產(chǎn)生污泥，根據(jù)廢水中SS濃度，確定其污泥排放量為120t/a。 噪聲噪聲主要來自于生產(chǎn)設(shè)備(包括純水制作設(shè)備)運行產(chǎn)生的噪聲，產(chǎn)生的噪聲在50～80dB之間；公用動力設(shè)備運行產(chǎn)生的噪聲，包括空壓機房、真空機、水泵等，產(chǎn)生的噪聲在60～85dB之間；廢水、廢氣處理設(shè)備運行產(chǎn)生的噪聲，產(chǎn)生的噪聲在50～85dB之間。(3)含HF、HNO3酸廢液含HF、HNO3酸廢液主要來自硅片化腐工序，該廢液將排入新建回收槽由HF供應(yīng)單位回收處理。 廢水(1) 切割研磨廢水本項目切割研磨廢水主要包括單晶錠切割、滾園研磨廢水和硅片切割、拋光、研磨倒角廢水，其研磨切割過程中，需采用純水進(jìn)行沖洗，將產(chǎn)生含微量硅屑的研磨切割廢水，廢水量191m3/d。年工作日330天左右，三班制運行。 公用工程本項目可以利用現(xiàn)有供電、壓縮空氣、供水、排水等設(shè)施，公用工程主要增加KFT2000RT冷卻水塔1臺，循環(huán)水量1400m3/h。其中單晶廠房占地面積2890m2，建筑面積2890m2，切磨廠房占地面積2716m2，拋光占地面積2752m2，建筑面積5101m2。本項目主要按上述二步生產(chǎn)工藝，硅拋光片生產(chǎn)工藝流程及排污情況如下：(1)單晶硅晶錠生產(chǎn)工藝及排污情況單晶硅晶錠生產(chǎn)工藝及排污位置如下圖：多晶清洗備料單晶生長單晶切段坩堝清洗晶錠滾圓周檢測酸性廢氣切割研磨廢水酸性廢水(2)硅拋光片生產(chǎn)工藝及排污情況硅拋光片其生產(chǎn)工藝及排污位置如下：成品晶錠切片切片檢驗熱處理清洗倒角烘干革命檢驗拋光腐化研磨切割廢水堿性廢水研磨廢水廢氣包裝拋光片產(chǎn)品廢水 主要新增設(shè)備根據(jù)生產(chǎn)要求，其主要生產(chǎn)設(shè)備如下表：序號名稱型號數(shù)量單位備注1單晶爐CG600024臺2單晶爐KAYEX1502臺3晶錠滾圓機RSKh80Nah2臺4氧化爐1臺5切斷機OC215D2臺6XRay測試儀MOD101MG1031套7氧含量測試儀QS300J1套8GFA儀RO416S1套9相襯干涉光顯微鏡1臺10線切割機DS26E500ED83臺11清洗機SST2002臺12倒角機WGM42004臺13磨片機22B3臺14貼片機MT610/MT8403臺15腐蝕設(shè)備2套16拋光機SPEEDFAM5016臺17背封機WJ999R2臺18顆粒度測試儀ADECR81E1套19表面測試儀ADE72003套20去蠟清洗機1臺21片盒清洗機STORMⅡ1臺22貼片前清洗機1臺23熱處理前清洗機1臺24熱處理爐KAKUSAI2臺25打標(biāo)機SIGACLEAN2臺26其他設(shè)備套 主要原輔材料及用量主要原輔材料及用量見下表。第二步：制作拋光片?？偭靠刂浦笜?biāo)建設(shè)項目工程分析工藝流程簡述(圖標(biāo)) 工藝流程硅拋光片的生產(chǎn)工藝一般可分二步：第一步：生產(chǎn)單晶硅晶錠。 廢氣排放標(biāo)準(zhǔn)鍋爐廢氣排放執(zhí)行GB132712001《鍋爐大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》二類區(qū)Ⅱ時段標(biāo)準(zhǔn)。 污染物名稱取值時間濃度限值(mg/m3)一級標(biāo)準(zhǔn)二級標(biāo)準(zhǔn)三級標(biāo)準(zhǔn)SO2年平均日平均1小時平均NO2年平均日平均1小時平均TSP年平均日平均 環(huán)境噪聲保稅區(qū)按GB309693《城市區(qū)域環(huán)境噪聲標(biāo)準(zhǔn)》3類標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行，即晝間65dB，夜間55dB。評價適用標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn) 水環(huán)境納污海域執(zhí)行《海水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)》(GB30971997)第三類，主要參數(shù)為PH ～，DO＞4mg/L，SS(人為增加的量)≤100mg/L，COD≤4mg/L，BOD5≤4mg/L，石油類≤，活性磷酸鹽(以P計)≤。聲學(xué)環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀對保稅區(qū)東區(qū)環(huán)境噪聲進(jìn)行監(jiān)測，；；聲環(huán)境現(xiàn)狀滿足工業(yè)區(qū)要求的三級標(biāo)準(zhǔn)。水環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀近年來在北侖海域進(jìn)行過多次海洋水質(zhì)監(jiān)測，基本包括了整個北侖海域，歷年監(jiān)測統(tǒng)計結(jié)果見下表： 北侖海域水質(zhì)監(jiān)測結(jié)果(單位：除PH外均為mg/l)項目范圍均值類別項目范圍均值類別PH～Ⅰ無機磷～ⅠDO～Ⅰ石油類～ⅡCODMn～ⅠCr0～Ⅰ無機氮～ⅣSS326～2640798從上述數(shù)據(jù)可知，本區(qū)域絕大多數(shù)水質(zhì)指標(biāo)如PH、DO、CODMn均保持在Ⅰ類海水標(biāo)準(zhǔn)范圍內(nèi)。根據(jù)設(shè)計要求，其主要接納生活污水、工業(yè)污水以及北侖倉儲區(qū)廢水，進(jìn)入巖東污水處理廠廢水必須符合巖東污水處理廠進(jìn)網(wǎng)標(biāo)準(zhǔn)。目前，區(qū)內(nèi)已初步形成 計算機產(chǎn)業(yè)群、半導(dǎo)體光電產(chǎn)業(yè)群、精密機械產(chǎn)業(yè)群、留學(xué)生創(chuàng)業(yè)企業(yè)群軟件產(chǎn)業(yè)群和國際貿(mào)易、倉儲物流企業(yè)群，成為華東地區(qū)高科技產(chǎn)業(yè)發(fā)展的高地和重要的進(jìn)出口物流集散地。引進(jìn)高科技項目131個。社會環(huán)境簡況(社會經(jīng)濟結(jié)構(gòu)、教育、文化、文物保護(hù)等)寧波保稅區(qū)自1992年建區(qū)至今，已開發(fā)東區(qū)、西區(qū)、南區(qū)三部分，保稅區(qū)內(nèi)設(shè)有電子信息園、國際軟件園、留學(xué)人員創(chuàng)業(yè)園、精密機械(汽配)園、物流分撥中心。本區(qū)域主要氣象要素如下：歷年最高氣溫 ℃歷年最低氣溫 ℃年平均氣溫 ℃年平均相對濕度 82%多年平均降水量 年平均雨日 年平均氣壓 年平均風(fēng)速 主導(dǎo)風(fēng)向 SE(%) N(%) 水文保稅區(qū)毗鄰的金塘水道海域?qū)儆诓徽?guī)半日潮，由于有舟山群島的金塘、大榭、黃蟒等島作屏障，外海涌浪難以傳入，主要波浪是局部水域產(chǎn)生的風(fēng)浪。冬季少雨干冷，春末夏初為梅雨季節(jié)，78月受太平洋副熱帶高壓控制，天氣晴熱少雨。北侖地區(qū)地形呈狹長不規(guī)則三角形，西北為濱海水網(wǎng)平原，東南為低山丘陵區(qū)，區(qū)內(nèi)河流池塘交錯密布，地勢向海岸方向略有傾斜，%，略低于高潮海水水面。48′，北緯29176。廠區(qū)北臨保稅區(qū)界河，靠近港務(wù)局碼頭區(qū)；南依港東大道，與蘭羚鋼鐵公司隔路相望；東為興業(yè)五路，與寧波日月鉆石科技有限公司相鄰；西靠興業(yè)四路，與高新貨柜公司和成路包裝公司隔路相望，本項目主要在公司廠區(qū)中部的單晶、切磨、拋光廠房內(nèi)，詳見地理位置圖。主要環(huán)境問題該公司應(yīng)加強廢氣處理裝置的運行管理，確保廢氣處理裝置意外事故的發(fā)生，影響周圍環(huán)境。年工作日330天左右，三班制運行。(4)壓縮空氣本項目二套20m3/min無油空氣壓縮機組。根據(jù)《三廢處理工程技術(shù)手冊—廢氣卷》提供的產(chǎn)污系數(shù)，估算得各大氣污染物排放量如下表：污染物名稱排放系數(shù)排放量濃度煙氣量——TSP15 mg/Nm3SO2364mg/Nm3NO2*136mg/Nm3CO38mg/Nm3*：為原數(shù)值NO2%。企業(yè)建有250t/d處理能力廢水處理設(shè)施一套，生產(chǎn)廢水經(jīng)中和、沉淀、生化處理后排入保稅東區(qū)污水管網(wǎng)，進(jìn)入巖東污水處理廠。企業(yè)辦公、生活垃圾其產(chǎn)生量為36t/a。冷卻水塔運行時產(chǎn)生的噪聲，產(chǎn)生的噪聲在60～85dB之間。②生產(chǎn)廢水酸、堿廢水：外延片清洗機使用鹽酸、氨水、雙氧水清洗硅片，清洗廢水含有一定的鹽酸、氨水及廢氣吸收廢水。序號名稱年用量單位備 注18英寸襯底片24萬片立立電子提供2石墨基座6只德國SGL3石英鐘罩2只意大利LPE4三氯氫硅氣體147kg美國PRAXAIR，香港特氣公司5鹽酸(試劑級)2瓶(500ml/瓶)6氨水(試劑級)2瓶(500ml/瓶)7雙氧水(試劑級)85瓶(500ml/瓶)8HCl130kg美國PRP9PH31kg美國PRAXAIR，香港特氣公司10B2H61kg美國PRAXAIR，香港特氣公司11N259000m3寧波MESSER陽光公司12潔凈包裝袋10000只130柴油2128t定額用量266kg/h(5)三廢排放情況本項目主要為增設(shè)外延爐及其相關(guān)檢測設(shè)備，其污染源分析如下：①廢氣酸、堿性廢氣：酸、堿性廢氣主要來自外延片鐘罩機架清洗工序，清洗工序主要使用鹽酸、氨水、過氧化氫，由于鹽酸、氨氣的揮發(fā)產(chǎn)生的酸、堿性廢氣，其生產(chǎn)過程中集中在密閉槽子內(nèi)進(jìn)行，通過引風(fēng)機引入廢氣洗滌吸收塔進(jìn)行處理，其廢氣排放量為1000m3/h。812英寸硅外延片生產(chǎn)研發(fā)項目概況(1)項目概況該項目總