【文章內(nèi)容簡介】 強(qiáng)的程度。適當(dāng)?shù)挠∷l件是：清除率、印壓、滑動臺角度以及滑動速度的適當(dāng)，通過漿料和漏網(wǎng)規(guī)格配合，實(shí)現(xiàn)高精度的印刷。4． 70英寸的等離子電視用漏網(wǎng)印刷機(jī)70英寸的等離子電視用漏網(wǎng)印刷機(jī)的特征如下：① 使用25002500mm的漏網(wǎng)版框，印刷70英寸玻璃基板② 硬性高的鑄鐵制的底座，4根柱（鋁鑄造）支撐、印刷機(jī)框保持平衡的構(gòu)造。這是為了最小限度降低多年使用的印刷機(jī)對印刷精度影響而設(shè)計(jì)的、可以長期維持印刷精度的構(gòu)造。③ 作為滑動臺的驅(qū)動方式，不使用印刷時(shí)容易引起震動的動態(tài)帶和球狀螺釘，而是采用表面平滑的鋼帶的超低震動的驅(qū)動方式。這種構(gòu)造在介質(zhì)層形成時(shí)不會有印刷斑點(diǎn)、能夠形成均勻厚度的膜。④ 版框部分的支架采用向操作者前面滑動的方式，版的清掃、漿料的補(bǔ)充容易進(jìn)行。⑤ 以往難以進(jìn)行的滑動臺調(diào)整采用遠(yuǎn)隔離操作，使調(diào)整簡單、縮短裝置時(shí)間。⑥ 采用低印刷壓力方式（垂直浮標(biāo)型的氣平衡方式），能夠適當(dāng)?shù)卦O(shè)定印壓。這樣，不會在過度的印刷壓力下印刷，可以抑制滲出、穩(wěn)定印刷后的尺寸精度、延長漏網(wǎng)罩的壽命、減少滑動臺的磨損。⑦ 使用本公司獨(dú)創(chuàng)的微型DB滑動臺(角度為5刻度、滑動臺本身的角度可以研磨)。這樣可容易地按漿料以及漏網(wǎng)罩的規(guī)格設(shè)定滑動角度,控制印刷時(shí)漿料的吐出量。5． 結(jié)束語以上講述了ASPT的概況，各漿料廠家、漏網(wǎng)廠家的開發(fā)熱情很高，我們堅(jiān)信能夠應(yīng)付更高的規(guī)格標(biāo)準(zhǔn)。本公司不滿足于現(xiàn)有技術(shù)，挑戰(zhàn)新的技術(shù)。為了符合今后關(guān)于廢棄物排放的規(guī)定，用全添加法的制造方法將會越來越引人注目。第五章 第一節(jié) 漿料涂料機(jī) 臺上涂料機(jī)1．前言中外爐工業(yè)96年4月開始銷售臺上涂料機(jī)I（定盤型狹孔臺式涂料機(jī)），以純平顯示器（FPD:flat panel display）為首，在印刷基板、照片框架、記錄信息用紙等廣泛領(lǐng)域內(nèi)，銷售業(yè)績達(dá)到40多臺，設(shè)備的完成程度也從當(dāng)初的研究開發(fā)用到并列式的試做試驗(yàn)用、發(fā)展到量產(chǎn)使用設(shè)備。尤其是最近家電商店引人注目的等離子顯示器面板，幾乎都是由這種涂料機(jī)處理制造出來的。（平板顯示器）等離子顯示器的例子可以列舉如下：等離子電視面板；液晶顯示器；有機(jī)EL顯示器；電場放電型顯示器本節(jié)說明本公司的具有現(xiàn)有功能的試做/量產(chǎn)用漿料涂料器和臺式涂料器。并且介紹為對亞維細(xì)粒程度的膜進(jìn)行穩(wěn)定涂敷而開發(fā)的臺上涂料器（商品名FLOLIA）。2．臺上涂料機(jī)的特征和基本產(chǎn)品說明近年來，在以許多電子產(chǎn)品為首的各種領(lǐng)域，涂料機(jī)都引人注目。理由是伴隨著環(huán)境保護(hù)問題和激烈的價(jià)格競爭、適應(yīng)涂敷材料和涂敷液體的技術(shù)革新、以及新產(chǎn)品的開發(fā)需求，本涂料機(jī)具有以下特征，而且能夠?qū)σ酝糠笤O(shè)備不能做到的涂敷規(guī)格進(jìn)行涂敷。2．1設(shè)備的特征①能夠進(jìn)行與旋轉(zhuǎn)涂敷機(jī)相比擬的高精度涂敷。②涂敷范圍廣，從低黏度到高黏度均可。③從薄膜到厚膜都可適用。④由于是全量涂敷，可以最小限度地降低涂敷液體的損耗。⑤由封閉回路液體供給系統(tǒng)將涂敷液體的時(shí)間變化控制到最小。 ⑥從玻璃板、金屬板到膠片、金屬箔、紙，對廣泛的材料都可以涂敷。2．2設(shè)備的基本規(guī)格①涂敷精度：177。5%以內(nèi) ②涂膜厚度：1~500μm濕） ③液體黏度：1~10000mPas ④涂敷速度：最高 50mm/s① 機(jī)械速度：最高100mm/s ⑥涂敷幅度：最大1600mm ⑦ 基板尺寸：最大16001600mm作為能夠涂敷幅度寬的例子，圖1是1400mm寬幅的高黏度漿料的涂敷結(jié)果。3．涂料機(jī)的概要3．1 設(shè)備的基本構(gòu)成基板測定槽模平移涂敷方向槽模架間隙傳感器間隙槽模升降涂敷液固定臺涂敷液罐待機(jī)位置基板吸附PP槽模頭清洗自動歸零膜厚圖2是涂料機(jī)的大概構(gòu)成。本設(shè)備是由帶有吸附功能的固定臺（固定盤）吸附基板、槽模前端與基板表面保持適當(dāng)?shù)拈g隙、涂料一邊定量供給槽模，由槽模移動進(jìn)行涂敷的設(shè)備。 圖2 涂料機(jī)的大概構(gòu)成下面說明設(shè)備構(gòu)成和功能：①槽模本公司經(jīng)過對流體的分析，為使槽模橫的方向的吐出量均勻，對槽模的形狀進(jìn)行了最佳化設(shè)計(jì)。這樣，槽模本身不附帶特別的槽調(diào)整配件。因此構(gòu)造簡單，容易分解/清洗/組裝。而且槽模安裝在模座上，能夠簡單裝卸。②間隙傳感器如圖2所示，槽模座的橫的方向安裝了2臺間隙傳感器，用來測量涂敷前基板表面與模前端的距離。按照其測量結(jié)果控制涂敷間隙。涂敷后，傳感器測量涂膜表面和槽模的距離，演算與基板測定值的差，得到涂敷厚度。③基板吸附構(gòu)件操作臺上安裝有真空吸附構(gòu)件，可以防止基板翹起、能夠在最佳狀態(tài)下進(jìn)行涂敷。槽模涂敷是使模的前端接近基板進(jìn)行的。因此為了得到均勻厚度的涂敷表面，需要精度高的臺緊緊吸附基板、不能翹起是非常重要的。吸附構(gòu)造根據(jù)涂敷材料不同有各種操作，能夠隨著基板的尺寸自動調(diào)整吸附區(qū)域。④ 模的移動/升降構(gòu)件涂敷時(shí)由模平移構(gòu)件控制已設(shè)定的涂敷速度；前面敘述的以間隙傳感器的測定數(shù)據(jù)為基礎(chǔ)設(shè)定的間隙由模的升降構(gòu)件來控制槽模。⑤ 槽模頭的清洗構(gòu)件涂敷剛完了時(shí)槽模頭殘留微量的涂液，此殘留涂料會影響后面的涂敷再現(xiàn)性，不管使用何種方法必須除去。本涂料機(jī)采用使用刀片（blade）去除，除去的液體由真空泵回收到吸引罐中的方式。而且這個(gè)構(gòu)件自動反復(fù)運(yùn)轉(zhuǎn)，也可以用于在待機(jī)過程中防止槽模頭的液體的干燥。⑥涂敷液的供給泵/罐槽模涂敷屬于涂敷前事先計(jì)量涂液，之后使基板移動的前計(jì)量系統(tǒng)。因此濕膜厚度的穩(wěn)定性受涂料液體的供給精度的影響很大。臺式涂料機(jī)不是壓送方式，使用計(jì)量精度高的定量泵，只設(shè)定目標(biāo)厚度就能夠得到穩(wěn)定厚度的膜。⑦自動歸零構(gòu)件本構(gòu)件中定盤表面與槽模頭的距離自動恢復(fù)到零，可以作為涂敷前的初次設(shè)定使用。槽模橫的方向的兩端設(shè)置了歸零傳感器，使槽模的升降構(gòu)件自動下降，為使槽模頭的高度達(dá)到目標(biāo)高度，由歸零傳感器測定高度、自動調(diào)整升降構(gòu)件。3．2 設(shè)備的動作前面講述了各構(gòu)件的功能。這里說明自動運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的各構(gòu)件的動作。①基板安裝從上面工序送來的基板，由列入固定盤的升降pin或者運(yùn)送滾軸接收后、下降、基板置于臺上，由定位裝置定位。其后、基板吸附構(gòu)件吸附基板、矯正基板的起翹。②基板厚度變動的測定待機(jī)狀態(tài)下的槽模在基板上面移動、下降到基板測定的位置。槽模的平移，由模座上安裝的間隙傳感器測定基板厚度的變動。③涂敷基板測定結(jié)束后，槽模移到涂敷開始位置，涂敷間隙下降。由泵供給涂料，槽模平移進(jìn)行涂敷。涂敷方式有平均間隙方式、追從間隙方式和固定間隙方式三種。根據(jù)基板表面狀態(tài)和精度、涂料的物理性質(zhì)（黏度、表面張力）、涂敷速度、膜的厚度來決定。④模頭的清洗涂敷結(jié)束后模返回待機(jī)位置，頭的殘留液體由清洗構(gòu)件撥去。⑤濕膜厚度測定/厚度調(diào)整對于涂敷厚度在50μm以下、常溫下干燥速度慢的涂料，與涂敷后馬上測定基板表面厚度的變動一樣，可以用間隙傳感器測定膜的表面。此測定值與基板表面的測定值的差，能夠自動輸出膜厚度。圖3顯示自動厚度測定數(shù)據(jù)的輸出例子。此厚度數(shù)據(jù)可以用來評價(jià)涂敷，也可以用于涂敷的微調(diào)整。其一是使用以膜厚度為準(zhǔn)的厚度反饋功能、自動調(diào)整泵的供給量以達(dá)到目標(biāo)厚度。使用厚度反饋功能，經(jīng)過2次左右的試涂敷能夠容易地得到目標(biāo)濕厚度。另一個(gè)是使用始終端的厚度側(cè)面（profile）調(diào)整功能，能夠得到所希望的涂敷開始和終了的profile。3．3 涂敷方式的分類比較一般的涂敷方式大致分為平坦化涂敷（leveling coater）和輪廓涂敷（contour coater）（圖4）。平坦化涂敷是與材料無關(guān)、涂敷表面呈平滑的面的涂敷方式。但是涂敷膜的厚度受材料表面形狀的影響，不能均勻。這就意味著涂敷材料的厚度精度、涂料機(jī)計(jì)量部件的機(jī)械精度直接決定膜的厚度精度。輪廓涂敷是在材料表面形狀顯露于涂敷表面，涂敷膜的厚度均勻的涂敷方式。另外按照計(jì)量系統(tǒng)區(qū)分，大致分為前計(jì)量涂敷方式和后計(jì)量涂敷方式。前計(jì)量涂敷方式是事先按照涂敷幅度方向均勻計(jì)量所希望的涂料量，其后涂敷在材料上的方式。后計(jì)量涂敷方式是將比希望量多的涂料直接涂敷在材料上，在涂敷的同時(shí)按涂敷幅度方向計(jì)量。涂敷面的形狀分類平坦化涂敷（leveling coater）輪廓涂敷（contour coater）與材料表面形狀無關(guān)、涂后的表面光滑材料表面形狀的輪廓被保留、既是涂后的面計(jì)量的分類前計(jì)量涂敷后計(jì)量涂敷平坦化涂敷輪廓涂敷前計(jì)量涂敷照相凸版+穩(wěn)定器槽模涂料機(jī)、屏蔽涂料機(jī)后計(jì)量涂敷欠圓涂料機(jī)、blade涂料機(jī)旋轉(zhuǎn)涂料機(jī)、氣割涂料機(jī)將比希望量多的涂料直接涂敷在材料上，在涂敷的同時(shí)按涂敷幅度方向計(jì)量。是輪廓涂敷、存在剩余的涂料（涂料損失）涂敷方式分類事先按照涂敷幅度方向均勻計(jì)量所希望的涂料量，其后涂敷在材料上。不存在剩余的涂料（全量涂敷）具有代表性的涂料機(jī)按照上述四類分類，見圖4。 圖4 涂敷方式的分類槽模方式從前述的試驗(yàn)值、解析值、實(shí)績值進(jìn)行考察，相對于涂敷厚度，在某種程度上容許涂敷間隙存在，所以基本上說是輪廓涂敷?？梢哉f是某種程度的基板厚度變化及涂料機(jī)的機(jī)械精度變動被涂敷間隙吸收，在不會直接影響膜厚度的狀態(tài)下進(jìn)行涂膜的涂敷方式。正如圖3自動膜厚度測定數(shù)據(jù)顯示的那樣，基板厚度變化（圖下部）約為20μm，其上面經(jīng)過涂敷的膜厚度（圖上部）保持一定的精度。 而且槽模方式不是旋轉(zhuǎn)那樣的后計(jì)量、是由內(nèi)部開縫部橫方向均勻計(jì)量吐出量的前計(jì)量方式，具有涂料不浪費(fèi)、能夠全量涂敷的優(yōu)點(diǎn)。4．臺上涂料機(jī)Ⅱ（FLOLIA）4．1 概念FLOLIA是Table Coater with Float and Linear Technology Application的略稱，是對以前的臺上涂料機(jī)Ⅰ的平移系統(tǒng)改進(jìn)后的第二代臺上涂料機(jī)（照片1）。4．2 設(shè)備的特征和規(guī)格FLOLIA繼承了涂料機(jī)Ⅰ的特征，此外還具有以下特征。1）能夠進(jìn)行亞微細(xì)粒水平的涂敷。2）涂敷厚度精度為177。3%。3）能夠采用劃時(shí)代的基板搬運(yùn)系統(tǒng)。4．3 平移系統(tǒng)的革新涂料機(jī)I在槽模平移系統(tǒng)中使用AC伺服等的旋轉(zhuǎn)馬達(dá)，球狀螺絲、LM導(dǎo)向等的接觸式導(dǎo)向系統(tǒng)的傳達(dá)構(gòu)件。FLOLIA使用了直動式馬達(dá)，采用非接觸式的導(dǎo)向。因此飛躍性地提高了平移穩(wěn)定性和相對于固定盤的高度方向的穩(wěn)定性，涂敷平移方向上使膜厚度的精度更加穩(wěn)定。以往的旋轉(zhuǎn)型馬達(dá)+球螺絲的驅(qū)動中，驅(qū)動傳達(dá)部由于旋轉(zhuǎn)偏心引起旋轉(zhuǎn)不均、速度變動率在177。2%左右，采用直動線性馬達(dá)后，F(xiàn)LOLIA控制在177。%以內(nèi)。而且以往的LM導(dǎo)向中構(gòu)造上存在制約驅(qū)動部分的部件，涂敷平移時(shí)制約部件引起高度變動，采用非接觸導(dǎo)向后，高度方向的變動明顯減少。進(jìn)行了這些構(gòu)造改革，消除了至今為止未能解決的超薄涂層（濕膜5μm以下）的橫段不均，得到很好的涂敷表面。其涂敷膜厚度的例子（干燥后測定）見圖5。5．結(jié)束語以上說明了涂料機(jī)I以及FLOLIA的構(gòu)成和運(yùn)作、涂敷條件的決定因素、實(shí)績事例。等離子領(lǐng)域，涂料機(jī)I已經(jīng)被認(rèn)可，作為量產(chǎn)用機(jī)國內(nèi)外多數(shù)主要面板廠家都已經(jīng)購買，也有用于有機(jī)EL、LCD領(lǐng)域的事例。葉片式涂敷設(shè)備的兩個(gè)涂料機(jī)具備了較高的廣泛性和高涂敷精度。并且性能進(jìn)一步提高的FLOLIA涂料機(jī)，已經(jīng)達(dá)到旋轉(zhuǎn)等電阻用涂料機(jī)的涂敷精度，正在不斷跨越新障礙。本公司將追求亞微細(xì)粒的涂敷世界，發(fā)揮臺上涂料機(jī)的寬幅性、高再現(xiàn)性、操作簡單性和省維護(hù)的優(yōu)點(diǎn)，確立在技術(shù)上領(lǐng)先于其他公司的地位。今后確實(shí)捕捉客戶的涂敷需求，按照要求規(guī)格開發(fā)更高性能的設(shè)備、在更廣泛的領(lǐng)域內(nèi)發(fā)展。第六章 第一節(jié) 曝光設(shè)備 PA1650VAH一、前言縱型曝光設(shè)備PA1650VAH是高強(qiáng)度、高吞吐量、高性能且成本低的設(shè)備。本設(shè)備被使用在30~60（75）英寸的高精度等離子電視流程中，其中前面板工序的ITO電極、photo Ag、黑條形成工序、以及后面板中的尋址電極、障壁制成工序里。清和光學(xué)制作所擁有53年的歷史，很早以前就作為光學(xué)廠家、以顯微鏡為中心、全力開發(fā)特殊光學(xué)產(chǎn)品、特別是產(chǎn)品交貨時(shí)使用CORRECT的商標(biāo)。生產(chǎn)曝光設(shè)備是從10年前受委托開發(fā)等離子電視曝光設(shè)備的手工設(shè)備開始的,到現(xiàn)在為止，我們在產(chǎn)品交貨和組裝試做階段與客戶共同積累了許多技術(shù)?，F(xiàn)在已經(jīng)具有30臺等離子曝光設(shè)備的銷售業(yè)績，最近向一家月產(chǎn)3萬片的工廠銷售高吞吐率（運(yùn)轉(zhuǎn)周期35s以下），這將有助于來年春天的生產(chǎn)。本公司FPD曝光事業(yè)，以等離子電視為中心向OELD、FED展開。其他種類的產(chǎn)品有在2002年新公開的musk分析儀, 擴(kuò)展曝光裝置的事業(yè)領(lǐng)域。2．75型等離子電視（XGA）對應(yīng)的曝光裝置PA1650VAH縱型曝光裝置的標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品說明見表1，外觀如照片1，能夠用于最大基板尺寸12501750mm，以及最大75英寸的面板。尺寸1,1001,700mm框的尺寸1,2501,750mm曝光方式貼近光源超高壓水銀燈16Kw框縱型照射度15mW/cm2照度分布177。5%以下degree角176。瞄準(zhǔn)半角1176。曝光波長中心波長=365nm調(diào)整精度177。5μm（3μm）調(diào)整圖象處理圖像配合（pattern match）解析度Lamp。S=30μm間隙范圍50~500μm運(yùn)行時(shí)間35s溫度均一性177。1℃外形尺寸5,100(W)5,300(D)2,380(H)mm重量12,000kg操作框儲藏其構(gòu)成如下：①裝貨部：基板由水平到垂直搬入設(shè)備內(nèi)。②搬運(yùn)轉(zhuǎn)盤機(jī)器人部分：裝貨部的料與曝光臺的料同時(shí)由雙卡盤搬運(yùn)。③曝光臺部：從工作轉(zhuǎn)盤機(jī)器人接收，真空卡盤、間隙測量儀進(jìn)行調(diào)整。④卸料機(jī)部分：基板垂直狀態(tài)下由轉(zhuǎn)盤機(jī)器人排出、返回水平狀態(tài)。曝光裝置PA1650VAH具有以下特征：① 433英寸的框置于水平時(shí)約有500μm的撓度。水