【正文】 式。從LL室來的基板經(jīng)過預(yù)備加熱后、裝在CR室的罩托架上，進(jìn)行鍍膜。這種方式是帶著氧化鎂膜的托架在設(shè)備內(nèi)循環(huán)，不暴露在空氣中、阻擋水分進(jìn)入設(shè)備內(nèi)，從而保證膜質(zhì)的穩(wěn)定性。4． 結(jié)束語為了要提高生產(chǎn)率，需要提高成膜率、基板向大型化發(fā)展。圖4是50英寸基板并列2片成膜時(shí)測定的成膜率和膜厚均勻數(shù)據(jù)，其中成膜速度約為12nm/s，膜厚度均勻在177。本設(shè)備的可以裝載基板尺寸一直到65英寸。第三章第二節(jié) 氧化鎂成膜裝置ECH系列1． 前言主要以業(yè)務(wù)用途為主開始生產(chǎn)的等離子電視，歷經(jīng)了對(duì)彩色等離子電視的證實(shí)階段，2001年開始以民用為目標(biāo)，進(jìn)入成本競爭時(shí)代。對(duì)于成膜裝置要求高吞吐率和合理價(jià)格、能夠達(dá)到各個(gè)面板廠家需要的膜質(zhì)。氧化鎂成膜方法有電子光束蒸干、反應(yīng)性孔陰極蒸（HCD）干、等離子槍蒸干以及反應(yīng)性噴鍍方法等。本節(jié)對(duì)量產(chǎn)使用的本公司的氧化鎂成膜用并列式蒸干設(shè)備的概要和將來展望進(jìn)行講述。采用并列式通過鍍膜方式可以與搬運(yùn)方向垂直的方向配置多個(gè)蒸發(fā)源，對(duì)于60英寸、70英寸的大面積基板也能夠比較容易地均勻鍍膜（圖1）。（圖2）下面是本公司等離子電視用氧化鎂蒸干設(shè)備ECH系列的特征。2．2 蒸發(fā)源的概要氧化鎂的蒸干是由皮爾斯電子槍進(jìn)行的。為了能夠長時(shí)間連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)中保持穩(wěn)定的蒸發(fā)速度，蒸發(fā)面經(jīng)常要保持一定的狀態(tài)。為了防止這種現(xiàn)象的發(fā)生，采用旋轉(zhuǎn)式環(huán)狀裝置和顆粒進(jìn)料器。并且由顆粒進(jìn)料器按量供給蒸發(fā)材料，由刮板刮平保持一定的蒸發(fā)面，這樣形成了能夠得到穩(wěn)定的蒸發(fā)速度的構(gòu)造。下一代的設(shè)備將可能進(jìn)一步配合改進(jìn)面板特性、提高生產(chǎn)率、提高制造流程的控制性、以及是節(jié)省能源、節(jié)省空間的、能夠連續(xù)流程操作的設(shè)備。由于氧化鎂是吸濕性高的膜，成膜后拿到空氣中的前面板在吸濕密封/排氣工序不但需要排氣時(shí)間，也會(huì)對(duì)面板帶來不利影響。設(shè)備構(gòu)成如圖3。本公司作為設(shè)備廠家將為實(shí)現(xiàn)此目標(biāo)積極進(jìn)取。等離子面板的結(jié)構(gòu)是在厚膜形成工序上積累的，因此漏網(wǎng)印刷機(jī)被多用，用在電極、介質(zhì)體、障壁（拱）、黑條、熒光體等的制造工序中。本節(jié)講述漏網(wǎng)印刷機(jī)的基礎(chǔ)、最新的等離子電視漏網(wǎng)印刷機(jī)(LZ1800HTVA)（照片表1）、滑動(dòng)臺(tái)研磨裝置SG1600(1800)。作為最大尺寸的精密漏版印刷機(jī)，為了在1700mm以上的玻璃基板上進(jìn)行高精度印刷，我們提高了印刷機(jī)的強(qiáng)度和可操作性，還附加了各種補(bǔ)充構(gòu)件、增加了此印刷設(shè)備功能。 表1的主要設(shè)計(jì)和規(guī)格適應(yīng)基板的尺寸1,7101,710mm漏網(wǎng)邊框（最大）2,5002,500mm設(shè)備尺寸(W)5,135(D)3,775(H)1,710mm主要用于等離子電視的裝置①2階段版離開構(gòu)造②除去滲出物的裝置③漿料的供給裝置④滑動(dòng)臺(tái)頭旋轉(zhuǎn)構(gòu)造⑤滑動(dòng)臺(tái)自動(dòng)平行構(gòu)造⑥滑動(dòng)臺(tái)擺動(dòng)構(gòu)造2． 漏網(wǎng)印刷機(jī)的基礎(chǔ)漏網(wǎng)印刷是借助于漏版進(jìn)行的印刷，版通常是聚酯纖維或者是不銹的細(xì)絲網(wǎng)成的。稱作版框的框狀鋁管施加張力使其粘接，漏網(wǎng)的兩面涂上感光乳劑、防止印刷部的負(fù)片被曝光。版從它的構(gòu)造上，具有伸縮性、網(wǎng)線的粗細(xì)和密度、感光乳化劑的厚度大體決定印刷膜的厚度。① 滑動(dòng)臺(tái)無震動(dòng)能夠平穩(wěn)運(yùn)作② 印刷臺(tái)與滑動(dòng)臺(tái)的平行度好③ 含調(diào)整的定位以及反復(fù)精度高為了滿足這些基本性能的要求，防止因印刷機(jī)向大型化發(fā)展而不易操作，等離子電視的制造工序必須使用達(dá)到要求的印刷機(jī)。3．作為等離子電視規(guī)格的設(shè)備3．1 版離開的構(gòu)造（離開構(gòu)造）漏網(wǎng)印刷通常版和印刷品之間留出幾毫米的間隙，具有伸縮性的版由滑動(dòng)臺(tái)壓下，使印刷品與網(wǎng)線一邊接觸、滑動(dòng)臺(tái)在漏網(wǎng)上一邊擺動(dòng)，由此印刷和版離開(與印刷物接觸的版自身的張力使印刷物離開的現(xiàn)象)同時(shí)進(jìn)行。這種版框的一邊抬起、使版離開的裝置稱作版離開構(gòu)造。本公司版離開動(dòng)作可以通過2階段來控制，能夠根據(jù)漏網(wǎng)和漿料的狀態(tài)的變化，改變版離開動(dòng)作。主要原因是從漏網(wǎng)版壓出的漿料沒有全部被印刷上、清理時(shí)取得太多、印壓（對(duì)滑動(dòng)臺(tái)的壓入力）施加過大等。熒光體印刷光的3原色red\green\blue的漿料在障壁之間每一種顏色分三次進(jìn)行漏網(wǎng)印刷的方法，障壁和障壁之間設(shè)置有版的開口部，用滑動(dòng)臺(tái)將漿料從障壁的谷間壓出。這樣接下來的印刷中，障壁被弄臟，需要對(duì)版進(jìn)行清潔，取出版里面的滲出物。取出滲出物的構(gòu)造不是僅限于等離子電視的印刷，由于漏網(wǎng)太大、人工進(jìn)行清潔困難等原因，這成為熒光體印刷的必備構(gòu)件。3．3 漿料的供給設(shè)備等離子電視印刷工序由于版大、全涂滿的印刷多，使用漿料也多，版面需要足夠的漿料。這里為了保證適當(dāng)?shù)臐{料量，需要供給裝置。噴嘴是透明的柔軟樹脂，是前端由汽缸夾板的構(gòu)造。漿料的供給量可以由壓力、時(shí)間、印刷撞擊次數(shù)控制。（照片3）漏網(wǎng)印刷機(jī)的滑動(dòng)臺(tái)、刮板是在各支架由下向上安裝固定的。這是滑動(dòng)臺(tái)、刮板橫向或者斜著能從上部安裝、容易兩手操作的旋轉(zhuǎn)構(gòu)造。因此操作者要對(duì)滑動(dòng)臺(tái)相對(duì)于的桌面平行進(jìn)行調(diào)整。 滑動(dòng)臺(tái)擺動(dòng)裝置得到均勻的印刷膜的前提是漿料涂層無斑點(diǎn)。這是使滑動(dòng)臺(tái)擺動(dòng)，防止粘在滑動(dòng)臺(tái)上的漿料直接滴到版面上的滑動(dòng)臺(tái)擺動(dòng)裝置。邊刃的形狀影響印刷的結(jié)果，邊刃經(jīng)常和版面摩擦產(chǎn)生磨損。作為大型等離子電視用滑動(dòng)臺(tái)邊刃的自動(dòng)再生裝置，本公司準(zhǔn)備了滑動(dòng)臺(tái)研磨裝置SG1600、1800TA（照片4）。此裝置能夠調(diào)整研磨石的旋轉(zhuǎn)數(shù)和送出速度，研磨石的角度能夠在0~45度設(shè)定，這樣可以根據(jù)最適當(dāng)?shù)难心l件、印刷狀況來調(diào)整角度。能夠普及的主要原因是畫質(zhì)提高、同時(shí)價(jià)格被降低。實(shí)現(xiàn)這一步是由于廠家的技術(shù)力量增加、生產(chǎn)設(shè)備得到改進(jìn)。為了進(jìn)一步普及等離子電視，需要繼續(xù)提高品質(zhì)、降低價(jià)格，今后本公司將努力提供符合這種要求的漏網(wǎng)印刷機(jī)。另一方面，由于漏網(wǎng)罩、漿料、印刷裝置的飛躍進(jìn)步，在等離子電視開發(fā)初期制造面板時(shí)采用的漏網(wǎng)印刷技術(shù)也有很大改進(jìn)。本節(jié)講述漏網(wǎng)印刷的可能性，及本公司所提倡的印刷條件的合理化方法、應(yīng)付70英寸的等離子電視的本公司印刷裝置的技術(shù)規(guī)格。本公司稱為ASPT(Advanced screen printing technology)。高解析度的漏網(wǎng)罩、與粘性穩(wěn)定的高精度漿料和高精度印刷機(jī)組合而成的。而且經(jīng)確認(rèn)，玻璃基板尺寸為15001290mm(印刷面積1410810mm)上面、全部涂滿印刷的膜厚度的偏差在177。3． 適當(dāng)?shù)挠∷l件隨著印刷機(jī)的改進(jìn)，為最大發(fā)揮版/漿的性能，正在使印刷機(jī)達(dá)到高精度、能夠簡單地設(shè)定合適的印刷條件、可操作性強(qiáng)的程度。4． 70英寸的等離子電視用漏網(wǎng)印刷機(jī)70英寸的等離子電視用漏網(wǎng)印刷機(jī)的特征如下：① 使用25002500mm的漏網(wǎng)版框，印刷70英寸玻璃基板② 硬性高的鑄鐵制的底座，4根柱（鋁鑄造）支撐、印刷機(jī)框保持平衡的構(gòu)造。③ 作為滑動(dòng)臺(tái)的驅(qū)動(dòng)方式，不使用印刷時(shí)容易引起震動(dòng)的動(dòng)態(tài)帶和球狀螺釘，而是采用表面平滑的鋼帶的超低震動(dòng)的驅(qū)動(dòng)方式。④ 版框部分的支架采用向操作者前面滑動(dòng)的方式，版的清掃、漿料的補(bǔ)充容易進(jìn)行。⑥ 采用低印刷壓力方式（垂直浮標(biāo)型的氣平衡方式），能夠適當(dāng)?shù)卦O(shè)定印壓。⑦ 使用本公司獨(dú)創(chuàng)的微型DB滑動(dòng)臺(tái)(角度為5刻度、滑動(dòng)臺(tái)本身的角度可以研磨)。5． 結(jié)束語以上講述了ASPT的概況，各漿料廠家、漏網(wǎng)廠家的開發(fā)熱情很高，我們堅(jiān)信能夠應(yīng)付更高的規(guī)格標(biāo)準(zhǔn)。為了符合今后關(guān)于廢棄物排放的規(guī)定，用全添加法的制造方法將會(huì)越來越引人注目。尤其是最近家電商店引人注目的等離子顯示器面板，幾乎都是由這種涂料機(jī)處理制造出來的。并且介紹為對(duì)亞維細(xì)粒程度的膜進(jìn)行穩(wěn)定涂敷而開發(fā)的臺(tái)上涂料器（商品名FLOLIA）。理由是伴隨著環(huán)境保護(hù)問題和激烈的價(jià)格競爭、適應(yīng)涂敷材料和涂敷液體的技術(shù)革新、以及新產(chǎn)品的開發(fā)需求，本涂料機(jī)具有以下特征，而且能夠?qū)σ酝糠笤O(shè)備不能做到的涂敷規(guī)格進(jìn)行涂敷。②涂敷范圍廣，從低黏度到高黏度均可。④由于是全量涂敷，可以最小限度地降低涂敷液體的損耗。 ⑥從玻璃板、金屬板到膠片、金屬箔、紙，對(duì)廣泛的材料都可以涂敷。5%以內(nèi) ②涂膜厚度：1~500μm濕） ③液體黏度：1~10000mPa3．涂料機(jī)的概要3．1 設(shè)備的基本構(gòu)成基板測定槽模平移涂敷方向槽模架間隙傳感器間隙槽模升降涂敷液固定臺(tái)涂敷液罐待機(jī)位置基板吸附PP槽模頭清洗自動(dòng)歸零膜厚圖2是涂料機(jī)的大概構(gòu)成。 圖2 涂料機(jī)的大概構(gòu)成下面說明設(shè)備構(gòu)成和功能：①槽模本公司經(jīng)過對(duì)流體的分析，為使槽模橫的方向的吐出量均勻，對(duì)槽模的形狀進(jìn)行了最佳化設(shè)計(jì)。因此構(gòu)造簡單，容易分解/清洗/組裝。②間隙傳感器如圖2所示，槽模座的橫的方向安裝了2臺(tái)間隙傳感器，用來測量涂敷前基板表面與模前端的距離。涂敷后，傳感器測量涂膜表面和槽模的距離，演算與基板測定值的差，得到涂敷厚度。槽模涂敷是使模的前端接近基板進(jìn)行的。吸附構(gòu)造根據(jù)涂敷材料不同有各種操作，能夠隨著基板的尺寸自動(dòng)調(diào)整吸附區(qū)域。⑤ 槽模頭的清洗構(gòu)件涂敷剛完了時(shí)槽模頭殘留微量的涂液，此殘留涂料會(huì)影響后面的涂敷再現(xiàn)性，不管使用何種方法必須除去。而且這個(gè)構(gòu)件自動(dòng)反復(fù)運(yùn)轉(zhuǎn)，也可以用于在待機(jī)過程中防止槽模頭的液體的干燥。因此濕膜厚度的穩(wěn)定性受涂料液體的供給精度的影響很大。⑦自動(dòng)歸零構(gòu)件本構(gòu)件中定盤表面與槽模頭的距離自動(dòng)恢復(fù)到零，可以作為涂敷前的初次設(shè)定使用。3．2 設(shè)備的動(dòng)作前面講述了各構(gòu)件的功能。①基板安裝從上面工序送來的基板，由列入固定盤的升降pin或者運(yùn)送滾軸接收后、下降、基板置于臺(tái)上，由定位裝置定位。②基板厚度變動(dòng)的測定待機(jī)狀態(tài)下的槽模在基板上面移動(dòng)、下降到基板測定的位置。③涂敷基板測定結(jié)束后，槽模移到涂敷開始位置，涂敷間隙下降。涂敷方式有平均間隙方式、追從間隙方式和固定間隙方式三種。④模頭的清洗涂敷結(jié)束后模返回待機(jī)位置，頭的殘留液體由清洗構(gòu)件撥去。此測定值與基板表面的測定值的差，能夠自動(dòng)輸出膜厚度。此厚度數(shù)據(jù)可以用來評(píng)價(jià)涂敷，也可以用于涂敷的微調(diào)整。使用厚度反饋功能，經(jīng)過2次左右的試涂敷能夠容易地得到目標(biāo)濕厚度。3．3 涂敷方式的分類比較一般的涂敷方式大致分為平坦化涂敷（leveling coater）和輪廓涂敷（contour coater）（圖4）。但是涂敷膜的厚度受材料表面形狀的影響，不能均勻。輪廓涂敷是在材料表面形狀顯露于涂敷表面，涂敷膜的厚度均勻的涂敷方式。前計(jì)量涂敷方式是事先按照涂敷幅度方向均勻計(jì)量所希望的涂料量，其后涂敷在材料上的方式。涂敷面的形狀分類平坦化涂敷（leveling coater）輪廓涂敷（contour coater）與材料表面形狀無關(guān)、涂后的表面光滑材料表面形狀的輪廓被保留、既是涂后的面計(jì)量的分類前計(jì)量涂敷后計(jì)量涂敷平坦化涂敷輪廓涂敷前計(jì)量涂敷照相凸版+穩(wěn)定器槽模涂料機(jī)、屏蔽涂料機(jī)后計(jì)量涂敷欠圓涂料機(jī)、blade涂料機(jī)旋轉(zhuǎn)涂料機(jī)、氣割涂料機(jī)將比希望量多的涂料直接涂敷在材料上，在涂敷的同時(shí)按涂敷幅度方向計(jì)量。不存在剩余的涂料（全量涂敷）具有代表性的涂料機(jī)按照上述四類分類，見圖4?？梢哉f是某種程度的基板厚度變化及涂料機(jī)的機(jī)械精度變動(dòng)被涂敷間隙吸收，在不會(huì)直接影響膜厚度的狀態(tài)下進(jìn)行涂膜的涂敷方式。 而且槽模方式不是旋轉(zhuǎn)那樣的后計(jì)量、是由內(nèi)部開縫部橫方向均勻計(jì)量吐出量的前計(jì)量方式，具有涂料不浪費(fèi)、能夠全量涂敷的優(yōu)點(diǎn)。4．2 設(shè)備的特征和規(guī)格FLOLIA繼承了涂料機(jī)Ⅰ的特征，此外還具有以下特征。2）涂敷厚度精度為177。3）能夠采用劃時(shí)代的基板搬運(yùn)系統(tǒng)。FLOLIA使用了直動(dòng)式馬達(dá)，采用非接觸式的導(dǎo)向。以往的旋轉(zhuǎn)型馬達(dá)+球螺絲的驅(qū)動(dòng)中，驅(qū)動(dòng)傳達(dá)部由于旋轉(zhuǎn)偏心引起旋轉(zhuǎn)不均、速度變動(dòng)率在177。%以內(nèi)。進(jìn)行了這些構(gòu)造改革，消除了至今為止未能解決的超薄涂層（濕膜5μm以下）的橫段不均，得到很好的涂敷表面。5．結(jié)束語以上說明了涂料機(jī)I以及FLOLIA的構(gòu)成和運(yùn)作、涂敷條件的決定因素、實(shí)績事例。葉片式涂敷設(shè)備的兩個(gè)涂料機(jī)具備了較高的廣泛性和高涂敷精度。本公司將追求亞微細(xì)粒的涂敷世界，發(fā)揮臺(tái)上涂料機(jī)的寬幅性、高再現(xiàn)性、操作簡單性和省維護(hù)的優(yōu)點(diǎn)，確立在技術(shù)上領(lǐng)先于其他公司的地位。第六章 第一節(jié) 曝光設(shè)備 PA1650VAH一、前言縱型曝光設(shè)備PA1650VAH是高強(qiáng)度、高吞吐量、高性能且成本低的設(shè)備。清和光學(xué)制作所擁有53年的歷史，很早以前就作為光學(xué)廠家、以顯微鏡為中心、全力開發(fā)特殊光學(xué)產(chǎn)品、特別是產(chǎn)品交貨時(shí)使用CORRECT的商標(biāo)?，F(xiàn)在已經(jīng)具有30臺(tái)等離子曝光設(shè)備的銷售業(yè)績，最近向一家月產(chǎn)3萬片的工廠銷售高吞吐率（運(yùn)轉(zhuǎn)周期35s以下），這將有助于來年春天的生產(chǎn)。其他種類的產(chǎn)品有在2002年新公開的musk分析儀, 擴(kuò)展曝光裝置的事業(yè)領(lǐng)域。尺寸1,1001,700mm框的尺寸1,2501,750mm曝光方式貼近光源超高壓水銀燈16Kw框縱型照射度15mW/cm2照度分布177。瞄準(zhǔn)半角1176。5μm（3μm）調(diào)整圖象處理圖像配合（pattern match）解析度Lamp。1℃外形尺寸5,100(W)5,300(D)2,380(H)mm重量12,000kg操作框儲(chǔ)藏其構(gòu)成如下：①裝貨部：基板由水平到垂直搬入設(shè)備內(nèi)。③曝光臺(tái)部：從工作轉(zhuǎn)盤機(jī)器人接收，真空卡盤、間隙測量儀進(jìn)行調(diào)整。曝光裝置PA1650VAH具有以下特征：① 433英寸的框置于水平時(shí)約有500μm的撓度。② 框與制品的溫度差，1000mm的框，由于1℃的溫度差產(chǎn)生8μm延伸，影響高精度的顯示。從框架的兩側(cè)處吹20度左右的干凈空氣，使框架溫度保持在23177。1℃以內(nèi)，設(shè)置了冷卻水用的8套軟管，使框架與制品的溫度差保持在177。冷卻水采用silicon(硅) oil，用閉合回路防止水的腐敗和管道生銹、做到免維護(hù)（圖1）。③ 對(duì)于框架對(duì)比度產(chǎn)生的缺陷，采用貼近曝光，以