【正文】 ，涂料機(jī)I已經(jīng)被認(rèn)可，作為量產(chǎn)用機(jī)國(guó)內(nèi)外多數(shù)主要面板廠(chǎng)家都已經(jīng)購(gòu)買(mǎi)，也有用于有機(jī)EL、LCD領(lǐng)域的事例。而且以往的LM導(dǎo)向中構(gòu)造上存在制約驅(qū)動(dòng)部分的部件，涂敷平移時(shí)制約部件引起高度變動(dòng)，采用非接觸導(dǎo)向后，高度方向的變動(dòng)明顯減少。因此飛躍性地提高了平移穩(wěn)定性和相對(duì)于固定盤(pán)的高度方向的穩(wěn)定性，涂敷平移方向上使膜厚度的精度更加穩(wěn)定。3%。4．臺(tái)上涂料機(jī)Ⅱ（FLOLIA）4．1 概念FLOLIA是Table Coater with Float and Linear Technology Application的略稱(chēng)，是對(duì)以前的臺(tái)上涂料機(jī)Ⅰ的平移系統(tǒng)改進(jìn)后的第二代臺(tái)上涂料機(jī)（照片1）。 圖4 涂敷方式的分類(lèi)槽模方式從前述的試驗(yàn)值、解析值、實(shí)績(jī)值進(jìn)行考察，相對(duì)于涂敷厚度，在某種程度上容許涂敷間隙存在，所以基本上說(shuō)是輪廓涂敷。后計(jì)量涂敷方式是將比希望量多的涂料直接涂敷在材料上，在涂敷的同時(shí)按涂敷幅度方向計(jì)量。這就意味著涂敷材料的厚度精度、涂料機(jī)計(jì)量部件的機(jī)械精度直接決定膜的厚度精度。另一個(gè)是使用始終端的厚度側(cè)面（profile）調(diào)整功能，能夠得到所希望的涂敷開(kāi)始和終了的profile。圖3顯示自動(dòng)厚度測(cè)定數(shù)據(jù)的輸出例子。根據(jù)基板表面狀態(tài)和精度、涂料的物理性質(zhì)（黏度、表面張力）、涂敷速度、膜的厚度來(lái)決定。槽模的平移，由模座上安裝的間隙傳感器測(cè)定基板厚度的變動(dòng)。這里說(shuō)明自動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的各構(gòu)件的動(dòng)作。臺(tái)式涂料機(jī)不是壓送方式，使用計(jì)量精度高的定量泵，只設(shè)定目標(biāo)厚度就能夠得到穩(wěn)定厚度的膜。本涂料機(jī)采用使用刀片（blade）去除，除去的液體由真空泵回收到吸引罐中的方式。因此為了得到均勻厚度的涂敷表面，需要精度高的臺(tái)緊緊吸附基板、不能翹起是非常重要的。按照其測(cè)量結(jié)果控制涂敷間隙。這樣，槽模本身不附帶特別的槽調(diào)整配件。s ④涂敷速度：最高 50mm/s① 機(jī)械速度：最高100mm/s ⑥涂敷幅度：最大1600mm ⑦ 基板尺寸：最大16001600mm作為能夠涂敷幅度寬的例子，圖1是1400mm寬幅的高黏度漿料的涂敷結(jié)果。⑤由封閉回路液體供給系統(tǒng)將涂敷液體的時(shí)間變化控制到最小。2．1設(shè)備的特征①能夠進(jìn)行與旋轉(zhuǎn)涂敷機(jī)相比擬的高精度涂敷。（平板顯示器）等離子顯示器的例子可以列舉如下：等離子電視面板；液晶顯示器；有機(jī)EL顯示器；電場(chǎng)放電型顯示器本節(jié)說(shuō)明本公司的具有現(xiàn)有功能的試做/量產(chǎn)用漿料涂料器和臺(tái)式涂料器。本公司不滿(mǎn)足于現(xiàn)有技術(shù)，挑戰(zhàn)新的技術(shù)。這樣，不會(huì)在過(guò)度的印刷壓力下印刷，可以抑制滲出、穩(wěn)定印刷后的尺寸精度、延長(zhǎng)漏網(wǎng)罩的壽命、減少滑動(dòng)臺(tái)的磨損。這種構(gòu)造在介質(zhì)層形成時(shí)不會(huì)有印刷斑點(diǎn)、能夠形成均勻厚度的膜。適當(dāng)?shù)挠∷l件是：清除率、印壓、滑動(dòng)臺(tái)角度以及滑動(dòng)速度的適當(dāng)，通過(guò)漿料和漏網(wǎng)規(guī)格配合，實(shí)現(xiàn)高精度的印刷。應(yīng)用這種技法并配合印刷條件，即將實(shí)現(xiàn)L/S=10μm。2． 漏網(wǎng)印刷的實(shí)力聚酯漏網(wǎng)印刷技術(shù)是這十年經(jīng)過(guò)很多改進(jìn)的新的技術(shù)。第二節(jié) 漏網(wǎng)印刷機(jī)1．前言與銷(xiāo)售初期相比較，這一兩年來(lái)，等離子電視電視由于其價(jià)格降低而備受關(guān)注，即將實(shí)現(xiàn)普及的目標(biāo)價(jià)格（每英寸1萬(wàn)日元），然而大型等離子電視電視的制造成本被嚴(yán)格制約，看不到降低的跡象，面板廠(chǎng)家正在進(jìn)行苦戰(zhàn)。幾年前1英寸=3萬(wàn)日元，現(xiàn)在降低到1英寸=2萬(wàn)日元，實(shí)際銷(xiāo)售價(jià)格比這還低。兩者都可以對(duì)橫狀邊刃、各對(duì)1600mm、1800mm長(zhǎng)的滑動(dòng)臺(tái)進(jìn)行研磨。3．5 滑動(dòng)臺(tái)研磨裝置滑動(dòng)臺(tái)與版面接觸的部分稱(chēng)作邊刃，這個(gè)部分在版面上一邊擺動(dòng)一邊壓出漿料進(jìn)行印刷。此裝置在桌上設(shè)置有傳感器監(jiān)視滑動(dòng)臺(tái)的左右兩端的間隙、自動(dòng)調(diào)整其平行。按照這種方式安裝超過(guò)1000mm的滑動(dòng)臺(tái)、刮板時(shí)，要一只手支撐十幾公斤的重物操作，操作者負(fù)擔(dān)大。按照供給、停止要求，夾板打開(kāi)、關(guān)閉。但是如果向版供應(yīng)過(guò)多的漿，其重量會(huì)使版松懈，影響印刷。取出方法有膠帶卷成磙子狀安裝在版邊框，版的里面向著粘的一面，從卷中拉出膠帶，使粘結(jié)部分與版里面的滑動(dòng)臺(tái)粘緊，這樣膠帶將版里面的墨臨摹、進(jìn)行清潔。其中等離子電視的熒光體印刷時(shí)是特殊的滲出。這是漏網(wǎng)印刷機(jī)的一般構(gòu)造，在用于等離子電視的2000~2500mm角尺寸的版時(shí)，采用遍涂印刷，為了得到均勻的膜，有時(shí)必須做到極細(xì)微的版離開(kāi)動(dòng)作。而且印刷機(jī)還必須能夠應(yīng)付新的制造工藝的變化。曝光后、沖洗印刷乳劑制成版。另外熒光體印刷采用了特殊的方法，將與必備構(gòu)件一起說(shuō)明。從80年代后半期開(kāi)始的單色發(fā)光12~13英寸等離子電視電視、到現(xiàn)在超過(guò)60英寸的高清晰度全彩成為薄型大屏幕的代表電視、本公司的漏網(wǎng)印刷機(jī)適應(yīng)各個(gè)時(shí)代的要求，成為制造等離子電視不可缺的裝置一直被使用。4．結(jié)束語(yǔ)為了確立作為家庭用的等離子電視的地位。現(xiàn)在、前面板經(jīng)氧化鎂鍍膜后，基板被一度那到空氣中與后面板調(diào)整后，投入密封/排氣裝置。成膜過(guò)程中環(huán)狀物旋轉(zhuǎn)，抑制蒸發(fā)面局部的變化。電子槍獨(dú)立設(shè)置在蒸干室，由于設(shè)置了專(zhuān)用的排氣系統(tǒng)，電子槍本身的壓力始終比成膜周?chē)諝饧s低2位數(shù)，這樣減少了燈絲的氧化消耗，能夠長(zhǎng)時(shí)間地連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。在與搬運(yùn)方向平行方向配置蒸發(fā)源，可以容易地實(shí)現(xiàn)高吞吐率。從生產(chǎn)設(shè)備膜質(zhì)及連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的穩(wěn)定性考慮，使用皮爾斯式電子槍的電子光束蒸干方法是主流。面板價(jià)格這一年從1英寸=~，預(yù)計(jì)將降到1英寸=。6%以?xún)?nèi)。并且托架在真空中保持加熱、溫度穩(wěn)定、能夠有效地防止微粒的產(chǎn)生。3．2 TOSS基板搬運(yùn)方式圖3是TOSS的概念。3．C3600S系列設(shè)備的特征C3600S系列分為大規(guī)模生產(chǎn)用的G類(lèi)型、小規(guī)模生產(chǎn)用的E型、研究試作用的B型3種。而且即使是形成同樣(111)配向膜，用SUPLaDUO比用EB熱蒸法形成的膜密度大，并且能夠形成耐噴鍍性的大膜。圖2是氧化鎂成膜時(shí)的等離子槍的放電電力和成膜速度的關(guān)系。電子光束是薄板化的磁鐵被壓大成薄板狀，以此為坩堝下的陽(yáng)極磁鐵實(shí)現(xiàn)廣范圍的蒸發(fā)。本節(jié)介紹本設(shè)備的特征及提高生產(chǎn)率所作的研發(fā)情況。氧化鎂膜是吸濕性非常高的材料，量產(chǎn)裝置中確保穩(wěn)定的成膜環(huán)境很重要。關(guān)于總線(xiàn)電極，近年用戶(hù)對(duì)環(huán)境問(wèn)題很關(guān)心，要求削減工序數(shù)，電極希望使用無(wú)Cr層的物質(zhì)。新的陰極設(shè)計(jì)可以說(shuō)在節(jié)省連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間、容易維護(hù)方面比印刷手法先進(jìn)。6．結(jié)束語(yǔ)為了使等離子電視降低價(jià)格，成膜裝置的所有成本必須進(jìn)一步下降。這樣基板玻璃的裝卸容易進(jìn)行，不用像以往那樣基板上留出夾子的位置。因此為了防止破損，在這種玻璃的取放設(shè)備中必須引進(jìn)新的搬運(yùn)系統(tǒng)。托架的驅(qū)動(dòng)由磁力聯(lián)軸器進(jìn)行，鏈條等不需要放在真空氛圍內(nèi)，也可以完全防止從最容易產(chǎn)生異物的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)進(jìn)來(lái)的污染。ATX700是為了提供所有成本、最適合等離子電視用而開(kāi)發(fā)出來(lái)的設(shè)備。鍍膜方法的問(wèn)題上，初期投資金額大、設(shè)備大小、靶的壽命等問(wèn)題，今后等離子電視的精度不斷提高，需要在考慮總的成本的基礎(chǔ)上，對(duì)2種方法展開(kāi)研究。這些各要求特性必須通過(guò)成膜設(shè)備的機(jī)械設(shè)計(jì)、工藝的最佳設(shè)置來(lái)解決。噴鍍鍍膜設(shè)備能制造的另一個(gè)PDP零件是總線(xiàn)電極材料。單位能夠正確地進(jìn)行預(yù)測(cè)。時(shí)，體(bulk)電阻平均為150μΩcm。膜的電阻值和透光率的物理特性是最重要的特性。一般用于LCD的堿石灰玻璃基板，使需要SiO2層的。在提高生產(chǎn)設(shè)備規(guī)模時(shí)，怎樣降低成本來(lái)生產(chǎn)高性能的面板，將成為要點(diǎn)。第二章第一（二）節(jié) 噴鍍裝置ATX700在99年時(shí)等離子電視的生產(chǎn)數(shù)量達(dá)到10萬(wàn)臺(tái)，當(dāng)時(shí)預(yù)測(cè)，按這樣的增長(zhǎng)速度，到2003年年產(chǎn)量會(huì)達(dá)到100萬(wàn)臺(tái)。但是，考慮到噴鍍方法的優(yōu)點(diǎn)即鍍膜均勻性（易控制型）以及修理維護(hù)方面，現(xiàn)在用熱蒸法鍍的氧化鎂將來(lái)有可能用噴鍍法鍍膜。因此設(shè)備較長(zhǎng)，60英寸級(jí)別的等離子電視的電極鍍膜裝置全長(zhǎng)約達(dá)到35米。同時(shí)、基板托架展開(kāi)所需要的設(shè)備及時(shí)間可以免去，加快生產(chǎn)節(jié)奏。①對(duì)于超過(guò)60英寸的大型基板，在卸貨時(shí)水平支持基板會(huì)損傷基板。新型并列式噴鍍裝置中，以更均勻的基板溫度分布和降低排放氣體為目標(biāo)，裝載了能夠在加熱室內(nèi)保持均勻的溫度、并且能夠快速升溫的新型加熱器，在噴鍍室以保溫為主的加熱方式。②提高了靶的使用效率、鍍膜速度是原來(lái)的2倍、靶的交換周期與現(xiàn)在使用的陰極同等。本公司準(zhǔn)備了能夠使用ITO低電壓噴鍍法（本公司已取得專(zhuān)利）的和Cu靶板厚30mm的長(zhǎng)期型兩種，能夠配合等離子電視用的大型基板。2． 等離子電視用的并列式噴鍍裝置這里講述本公司的并列噴鍍裝置是如何適應(yīng)上述要求的。有關(guān)面板尺寸，不斷有50~60英寸的大型面板達(dá)到實(shí)用化階段的公布發(fā)表，如何提高發(fā)光效率、達(dá)到高清晰度、低成本，成為制造大型面板技術(shù)的重要開(kāi)發(fā)課題。關(guān)于清洗漏網(wǎng)罩用的裝置另外說(shuō)明，有除去網(wǎng)眼堵塞物的甘油清洗劑、進(jìn)行浸漬、US、涮洗、干燥的裝置。3． 清洗裝置的分類(lèi)等離子電視制造工序中的清洗裝置分前、后基板的裝置，前基板的裝置種類(lèi)有①接納、②厚膜印刷前、③噴鍍前、④漏網(wǎng)印刷前；后基板有①接納、②漏網(wǎng)印刷前、③層壓前、④?chē)娚?、⑤感光漿料涂敷前的裝置。因此氣割刀設(shè)置上下一對(duì)，空氣消耗量為3000Nl/min。即使使用價(jià)格高的氣體，預(yù)計(jì)運(yùn)行成本能夠削減50%~70%。以往的依賴(lài)UV照射進(jìn)行改質(zhì),今后以等離子照射(常壓)主流。此方法即純凈水→純凈水+空氣（2個(gè)水流）→間歇高壓縮空氣的工序在數(shù)秒內(nèi)重復(fù)、純凈水挨著基板的部分不會(huì)形成多余的水膜，并且有防止帶入下一工序的作用。各槽使用過(guò)的清洗水/洗滌水怎樣不會(huì)被帶入下一工序，如何保持含微粒的洗滌水的清潔性是很重要的。即使是有機(jī)質(zhì)微粒,如果是樹(shù)脂系（含粘接劑）的微粒,也要選擇溶劑含有量多的。為實(shí)現(xiàn)高吞吐能力就以下項(xiàng)目講述。第四編 等離子電視制造設(shè)備第一章 第一節(jié) 濕洗裝置 最近等離子電視在各地常能看到，機(jī)場(chǎng)、展示會(huì)等大型顯示器都用等離子電視。 伴隨基板向大型化發(fā)展，高吞吐率是降低運(yùn)行成本的最重要的項(xiàng)目。例如使用由無(wú)機(jī)堿系的界面活性劑與溶劑構(gòu)成的洗滌劑時(shí),如果是清洗只是由有機(jī)質(zhì)和無(wú)機(jī)質(zhì)構(gòu)成的微粒,其洗滌劑可以以前者為主體。②快速排掉大型基板上的清洗水，實(shí)現(xiàn)高處理率。如圖1所示。2．2 取代UV改質(zhì)的等離子改質(zhì)（常壓）清洗裝置表面改質(zhì)是重要項(xiàng)目、是在層壓或者電阻涂敷中必須進(jìn)行的。為進(jìn)行表面改質(zhì),用空氣引起等離子也可以,一般需要NAr、O2等氣體。工廠(chǎng)需要配備大容量的壓縮機(jī)，增加運(yùn)行成本。圖3是清洗裝置的外觀(guān)圖。任何情況都可以將滾刷、氣噴、高壓水槍、等離子改質(zhì)、等離子清洗、IR、CP等組合。第二章第一節(jié) 噴鍍裝置1．前言FPD 28英寸左右的電視稱(chēng)asiTFT(LCD),36英寸以上的大型FPD稱(chēng)為等離子面板（等離子電視），作為民用的量產(chǎn)體制現(xiàn)在已就緒，現(xiàn)在各生產(chǎn)廠(chǎng)家都在積極地增加對(duì)大型高清晰度壁掛電視的設(shè)計(jì)。本節(jié)針對(duì)大型面板制造技術(shù)的薄膜成型工序中的噴鍍裝置進(jìn)行介紹。與本公司的并列式噴鍍搭載的陰極（cathode），靶使用效率達(dá)到百分之40以上。本公司裝置中裝載的新開(kāi)發(fā)的陰極的特征如下：①鍍膜速度是本公司原來(lái)的陰極的2倍、由于裝載陰極臺(tái)數(shù)減少，裝置的長(zhǎng)度也縮短、。以往的并列噴鍍裝置中，在噴鍍室前的加熱室中進(jìn)行預(yù)先加熱，插入噴鍍室后由托架一邊進(jìn)行搬運(yùn)，最終進(jìn)行再次加熱，來(lái)調(diào)整基板內(nèi)的溫度分布。但是這種方式對(duì)超過(guò)60英寸的大型基板存在下列問(wèn)題。①基板卸下時(shí)，基板的托架不需要水平展開(kāi)、基板就能卸貨。2．4 占有面積小的裝置 以往的并列噴鍍裝置的構(gòu)成：真空槽（裝入室、加熱室、噴鍍室、取出室）縱向排列，托架在前后巡回、升降機(jī)（轉(zhuǎn)盤(pán)）與這些相連構(gòu)成空氣搬運(yùn)系統(tǒng)、并設(shè)有卸去基板的位置。3. 等離子電視用并列式噴鍍裝置的未來(lái)展望現(xiàn)在作為等離子電視用并列鍍膜裝置，幾乎都需要透明電極膜ITO和SiO2+ITO成膜裝置，以及Cr/Cu/Cr電極膜和Cr/ Al/Cr成膜裝置。為了實(shí)現(xiàn)等離子電視的1英寸=1萬(wàn)日元的目標(biāo)，需要進(jìn)一步降低電力消耗、節(jié)省設(shè)備空間。現(xiàn)在許多等離子電視廠(chǎng)家都瞄準(zhǔn)未來(lái)的市場(chǎng)，開(kāi)始建造新一代產(chǎn)品的生產(chǎn)工廠(chǎng)。而且作為追加的堿性勢(shì)壘層是否有必要使用SiO2等，根據(jù)使用的玻璃基板的種類(lèi)而變化。ITO膜一般使用DC噴鍍。ITO膜厚約為1500197。到數(shù)百197。不使球粒產(chǎn)生，能夠發(fā)生擊穿及使其激減，其結(jié)果，成膜后的膠片上的附著異物及釘狀物變少，能夠得到非常光滑的膜表面。這些金屬薄膜要求的特性是膜厚的均勻性、電阻值、密封性、防止交叉污染、孔徑、老化特性、低膜應(yīng)力。一般認(rèn)為非真空方法具有廉價(jià)的優(yōu)點(diǎn)，如果重視性能方面則使用真空鍍膜方法較好。本公司開(kāi)發(fā)的并列噴鍍裝置ATX700以42型面板換算，能夠每月鍍膜24000片。托架按照傾斜7度設(shè)置，基板不但安裝容易，自動(dòng)化操作（機(jī)器人）也變得容易。5．搬運(yùn)系統(tǒng)的改善等離子電視使用的標(biāo)準(zhǔn)型高彎曲玻璃不經(jīng)撞擊，即使是小的裂紋也會(huì)造成基板破裂，拿放時(shí)要非常慎重。ATX700的最大特點(diǎn)是基板托架呈7度角。（圖4）前述的磁力驅(qū)動(dòng)搬運(yùn)裝置可以進(jìn)行無(wú)振動(dòng)的平穩(wěn)搬運(yùn)，降低對(duì)玻璃基板的損傷。例如對(duì)于不斷向大型化發(fā)展的等離子電視,噴濺成膜技術(shù)是比較容易應(yīng)付的。而且在高溫處理時(shí)要求電阻值不變化、膜不變色、與介質(zhì)層親和性好。但是為了提高生產(chǎn)率以及氧化鎂的膜質(zhì)，提出了新的成膜方法。已經(jīng)有幾家大型工廠(chǎng)的量產(chǎn)生產(chǎn)線(xiàn)上，今后為了進(jìn)一步普及等離子電視，必須提高生產(chǎn)率、提高膜質(zhì)。陰極射線(xiàn)管部分產(chǎn)生的高密度電子光束是低電壓、大電流，高效率地激勵(lì)氬氣和蒸發(fā)的氧化鎂，形成離子化，陰極射線(xiàn)管與成膜室之間設(shè)置壓力傾斜，防止從成膜室出來(lái)的氣體和離子的逆流對(duì)陰極射線(xiàn)管的損傷。與此相對(duì)，SUPLaDUO離子的生成電壓為100V，與EB方法比較，是低電壓，光束的薄片化使得能量分散，能夠高效率地組成穩(wěn)定的氧化鎂膜。SUPLaDUO由于變更流程條件，能夠分別獨(dú)立控制具有（111）、（200）、（220）的結(jié)晶配向性的氧化鎂膜的形成。在實(shí)際應(yīng)用上還有許多應(yīng)該研究的，期待著利用（220）配向膜，降低面板成本。對(duì)于氧化鎂膜的吸濕性方面，為了盡量排除成膜時(shí)水分的影響，采用本公司獨(dú)自開(kāi)發(fā)的TOSS基板搬運(yùn)方式。這種方式