透射電子顯微鏡簡易操作的指南(編輯修改稿)
2025-08-03 16:05 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 ：改變樣品臺的Z位置3. Magnification：放大倍數(shù)4. Focus step：改變聚焦變化步長5. Focus：改變聚焦 6. Multifunction Y：多功能鍵7. Diffraction：衍射鈕8. L1：抬起或放下熒光屏（也可以用鏡筒旁邊的按鈕）. Valves，確認鏡筒部分真空（Column）數(shù)值降到20以下，點擊Col. Valves指示條，其由黃色變?yōu)榛疑?。黃色表示關(guān)閉，灰色表示打開。Col. Valves代表V7和V4兩個真空閥，是分別隔離鏡筒與電子槍及鏡筒與照相室的。當Column真空沒有到規(guī)定的數(shù)值（20以下）時，打開Col. Valves將使電子槍的真空急劇惡化，從而損壞燈絲壽命。若在軟件右下方，選擇Vacuum Overview視窗，可以發(fā)現(xiàn)，該操作可以使V7和V4閥門同時開啟。開啟閥門：V7和V4閥門同時關(guān)閉，同時開啟：，聚焦打開Col. Valves后，即可看到電子束與樣品圖像，此時通常先在較低倍數(shù)找到感興趣區(qū)域，然后轉(zhuǎn)到較高倍數(shù)使圖像聚焦清楚。 調(diào)整樣品最佳高度方法：首先按桌面右操作面板上的EucentricFocus鈕，然后盡量通過調(diào)節(jié)高度Z來聚焦，微調(diào)聚焦時可以使用Focus鈕。拍照前要把圖像調(diào)到欠焦狀態(tài)（圖像邊緣是亮的）。注意事項1. 閥門打開之后，就可以在投影室視窗中看到光斑。2. 如果沒有看到光斑，可以按順序進行如下操作找到光斑：l 將放大倍數(shù)（Magnification）縮小至低倍。l 將光路（Intensity）發(fā)散。移動樣品。3. 若仍沒有找到樣品，請及時聯(lián)系管理員。 Alignments通常在拍照前，需要對電子光路系統(tǒng)進行調(diào)整，稱為合軸。在TeaiUser Interface→Tune→Direct Alignments中可做如下合軸操作（在SA放大倍數(shù)下合軸）：l Gun Tilt: 找到一個沒有樣品的位置，分別調(diào)Mul. X和Y（多功能鈕），使exposure time 最?。娮邮盍粒 Gun Shift：在沒有樣品的位置，先點Beam Shift，spot size調(diào)到9，調(diào)Mul. X和Y（多功能鈕），把電子束調(diào)到熒光屏中心；然后點Gun Shift，spot size調(diào)到3，調(diào)Mul. X和Y（多功能鈕），把電子束調(diào)到熒光屏中心。反復調(diào)幾次。最后把spot size調(diào)回到1。l Beam Tilt PPX 和Beam Tilt PPY ：在沒有樣品的位置，調(diào)Mul. X和Y（多功能鈕），使晃動的兩個電子束斑重合在一起。PPX和PPY兩個方向分別調(diào)。l Rotation Center：將放大倍數(shù)升高到幾十萬倍，找到樣品上一個特征位置，將其放在熒光屏中心，抬起小屏幕，借助于目鏡，觀察選定的特征圖像，通過調(diào)Mul. X和Y（多功能鈕），使特征圖像的晃動達到最小。方法一：1. 移動軌跡球找到樣品觀察區(qū)域。2. 在10kx以上的放大倍數(shù)下。3. 按操作面板上Eucentric Focus按鈕。4. 調(diào)Z－axis使影象聚焦到襯度最?。ㄒ话闱闆r此操作使Z軸數(shù)值為負值）。方法二：1. 移動樣品，找到樣品上的某個尖端做特征點，將尖放于屏幕的正中心，光散開2. 選擇適宜的放大倍數(shù)，通常在10K以下先初調(diào)，再增加到10K或以上細調(diào)。3. 按操作面板上的wobble鈕，根據(jù)樣品擺動幅度，調(diào)Z－axis使影象聚焦到襯度最小。在TeaiUser Interface→Tune→Stigmator控制面板，可以消除三種透鏡像散，分別是:l Objective:物鏡像散（最重要）。找到樣品上的一個非晶區(qū)，將放大倍數(shù)升高到幾十萬倍，借助于CCD相機，收集動態(tài)圖像（Search模式），調(diào)Focus鈕使圖像聚焦清楚（欠焦），然后做動態(tài)FFT（DigitalMicrograph→Process →Live →FFT）。調(diào)Mul. X和Y（多功能鈕），使FFT中的非晶環(huán)盡量變成圓形。這是消物鏡像散的一種快捷方式，但精度不是很高。比較傳統(tǒng)的方式是直接觀察非晶圖像（通過熒光屏小屏幕或CCD相機），把欠焦或過焦時非晶圖像中的方向性調(diào)沒，變成各向同性，同時正焦時圖像襯度最小。這種方法精度較高。l Condenser:聚光鏡像散。在像模式下，調(diào)Mul. X和Y（多功能鈕），使電子束斑呈圓形l Diffraction:衍射像散。在衍射模式下，調(diào)Mul. X和Y（多功能鈕），將透射斑調(diào)圓。l 用Intensity調(diào)節(jié)光強度。l 若發(fā)現(xiàn)光斑不是
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