【文章內(nèi)容簡(jiǎn)介】 tfile=中國(guó)微電子網(wǎng)集成電路設(shè)計(jì),集成電路工藝,集成電路版圖,半導(dǎo)體技術(shù),半導(dǎo)體器件,芯片封裝與測(cè)試Wz/D+b5Kw9C{tonyplot中國(guó)微電子網(wǎng)集成電路設(shè)計(jì),集成電路工藝,集成電路版圖,半導(dǎo)體技術(shù),半導(dǎo)體器件,芯片封裝與測(cè)試9A%TWf4O@1_u!Ij ~)U{]caQ `0至輸入文件，仿真器將保存創(chuàng)建的器件文件直至輸入文件中該點(diǎn)。仿真器在達(dá)到該點(diǎn)之后，即自動(dòng)繪制結(jié)構(gòu)。用戶可在仿真過(guò)程中的任意點(diǎn)繪制任意數(shù)目的結(jié)構(gòu)文件。lPLIIv3z0 /?u3zo@0中國(guó)微電子網(wǎng)集成電路設(shè)計(jì),集成電路工藝,集成電路版圖,半導(dǎo)體技術(shù),半導(dǎo)體器件,芯片封裝與測(cè)試?ojlu`39。}。m:s
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: 自動(dòng)創(chuàng)建和編輯輸入文件VAu)dm!S8R^0中國(guó)微電子網(wǎng)集成電路設(shè)計(jì),集成電路工藝,集成電路版圖,半導(dǎo)體技術(shù),半導(dǎo)體器件,芯片封裝與測(cè)試}4bv*N~*KC_oA2mB~Y0現(xiàn)在，您應(yīng)該已經(jīng)了解如何加載、運(yùn)行和查看TCAD 范例的結(jié)果。接下來(lái)演示如何簡(jiǎn)便創(chuàng)建自己工藝仿真輸入文件或者修改已有文件。R9K:w},f)_1s0 中國(guó)微電子網(wǎng)集成電路設(shè)計(jì),集成電路工藝,集成電路版圖,半導(dǎo)體技術(shù),半導(dǎo)體器件,芯片封裝與測(cè)試2z
G N YsjT 輸入文件為簡(jiǎn)單的ASCII文本格式，因此它可使用任何ASCII 編輯器創(chuàng)建。 但是，DeckBuild 包含一個(gè)簡(jiǎn)單的GUI，可自動(dòng)創(chuàng)建工藝仿真輸入文件。中國(guó)微電子網(wǎng)集成電路設(shè)計(jì),集成電路工藝,集成電路版圖,半導(dǎo)體技術(shù),半導(dǎo)體器件,芯片封裝與測(cè)試R/amp。t]^f*E1c!b6s8B
l\ qU6e0為了簡(jiǎn)化程序，而不必每次從頭來(lái)創(chuàng)建工藝仿真輸入文件，這里將演示如何在現(xiàn)有的輸入文件中添加幾行代碼。通過(guò)在每個(gè)工序中重復(fù)該步驟，該方法同樣用于創(chuàng)建整個(gè)輸入文件。,Z [E,Y H6NS6T0 中國(guó)微電子網(wǎng)集成電路設(shè)計(jì),集成電路工藝,集成電路版圖,半導(dǎo)體技術(shù),半導(dǎo)體器件,芯片封裝與測(cè)試XB+MB(G*@ 一旦使用line和init 語(yǔ)句（參見載入范例的首幾行）定義了仿真空間和初始襯底，工藝仿真則僅包含很多連續(xù)的擴(kuò)散、植入、蝕刻和淀積步驟。其中每一步均可使用DeckBuild自動(dòng)編寫。Vz4jq`6[A0 中國(guó)微電子網(wǎng)集成電路設(shè)計(jì),集成電路工藝,集成電路版圖,半導(dǎo)體技術(shù),半導(dǎo)體器件,芯片封裝與測(cè)試mamp。A1NnI 回到輸入文件的范例中， 假設(shè)打算在第一步之后添加一個(gè)低能量10keV PWell Implant。鼠標(biāo)左擊DeckBuild 頂部視窗中首個(gè)Pwell 植入之后的一行。 然后如下點(diǎn)擊：JH。L He:E:yy R0 9e6Ll+]cR0Commands... Process... Implant)faf Kam0 中國(guó)微電子網(wǎng)集成電路設(shè)計(jì),集成電路工藝,集成電路版圖,半導(dǎo)體技術(shù),半導(dǎo)體器件,芯片封裝與測(cè)試8S7JIq!a6@nZ 屏幕將出現(xiàn) DeckBuild: ATHENA Implant 視窗。創(chuàng)建額外的注入語(yǔ)句行只需填充該方框而已，其方法是使用滑動(dòng)條、或者填充數(shù)值后按下回車鍵。 對(duì)于10keV 硼注入, 劑量1e11/cm2 ，垂直夾角7 度，主平面旋轉(zhuǎn)27度，其注入GUI 。完成輸入信息后，點(diǎn)擊Write，輸入文件中則出現(xiàn)一個(gè)新行。2{Djm[ [0 L c`(s9[7D0p/{nX 完全填充的注入GUIY$B*pU
|3V 中國(guó)微電子網(wǎng)集成電路設(shè)計(jì),集成電路工藝,集成電路版圖,半導(dǎo)體技術(shù),半導(dǎo)體器件,芯片封裝與測(cè)試k p}e2X2Z /@5Boj5hK d%Y Ixce0 +mU$M)Ff6X?
KC00FD39。`e([h$~ ]0 M|)YUO h{.Y1ewv0同樣的方式可創(chuàng)建淀積、注入、擴(kuò)散、電極、創(chuàng)建網(wǎng)格、晶元初始化，結(jié)構(gòu)文件保存等等. 由于輸入文件為簡(jiǎn)單ASCII 文本，要在直觀的語(yǔ)法輸入文件中編輯參數(shù)，僅需使用DeckBuild中附帶的復(fù)制、粘貼和刪除功能。中國(guó)微電子網(wǎng)集成電路設(shè)計(jì),集成電路工藝,集成電路版圖,半導(dǎo)體技術(shù),半導(dǎo)體器件,芯片封裝與測(cè)試`)l*UJy4o{中國(guó)微電子網(wǎng)集成電路設(shè)計(jì),集成電路工藝,集成電路版圖,半導(dǎo)體技術(shù),半導(dǎo)體器件,芯片封裝與測(cè)試。Ud]A2]l t} 中國(guó)微電子網(wǎng)集成電路設(shè)計(jì),集成電路工藝,集成電路版圖,半導(dǎo)體技術(shù),半導(dǎo)體器件,芯片封裝與測(cè)試6Df1Y p0aX3J(xW@A VI_B g3H7g~0第3章: 簡(jiǎn)易使用手冊(cè)和自學(xué)方法V2e9R`QU0中國(guó)微電子網(wǎng)集成電路設(shè)計(jì),集成電路工藝,集成電路版圖,半導(dǎo)體技術(shù),半導(dǎo)體器件,芯片封裝與測(cè)試\9[39。sj6K*DJ39。`?N8E$MLTi)\0該手冊(cè)很厚，乍看可能使人有點(diǎn)畏縮的。所以本章節(jié)將為新用戶演示如何簡(jiǎn)便使用范例瀏覽手冊(cè)，從而找到特定信息。39。l5hCeh0 中國(guó)微電子網(wǎng)集成電路設(shè)計(jì),集成電路工藝,集成電路版圖,半導(dǎo)體技術(shù),半導(dǎo)體器件,芯片封裝與測(cè)試4dg3{T:z3yWt D ，假設(shè)我們要理解SRH參數(shù)的用途。它出現(xiàn)在輸入文件中器件仿真部分，位于models開頭的語(yǔ)句行。中國(guó)微電子網(wǎng)集成電路設(shè)計(jì),集成電路工藝,集成電路版圖,半導(dǎo)體技術(shù),半導(dǎo)體器件,芯片封裝與測(cè)試fN1LS,}cx7j7\UK:e+w\Z0在工藝和器件仿真器中，任何語(yǔ)句行的開頭詞語(yǔ)均為語(yǔ)句。 這個(gè)范例中，第一個(gè)詞語(yǔ)是models。如果我們想要了解SRH 的作用，我們需要先找出 models statement 的信息。中國(guó)微電子網(wǎng)集成電路設(shè)計(jì),集成電路工藝,集成電路版圖,半導(dǎo)體技術(shù),半導(dǎo)體器件,芯片封裝與測(cè)試(]aO(h_ RzJ4Azj5QT {g9?0所有的SILVACO產(chǎn)品均有PDF格式的用戶手冊(cè)。要查找器件仿真器的信息，則需要打開ATLAS用戶手冊(cè)。通過(guò)在控制臺(tái)和端子窗口中鍵入sman 可啟動(dòng)sman 工具，再通過(guò)sman 工具可獲得用戶手冊(cè)。中國(guó)微電子網(wǎng)集成電路設(shè)計(jì),集成電路工藝,集成電路版圖,半導(dǎo)體技術(shù),半導(dǎo)體器件,芯片封裝與測(cè)試{SO bk中國(guó)微電子網(wǎng)集成電路設(shè)計(jì),集成電路工藝,集成電路版圖,半導(dǎo)體技術(shù),半導(dǎo)體器件,芯片封裝與測(cè)試^a
z8M0C 8Y0_F\ u*j @ F*{ ATLAS 的PDF用戶手冊(cè)中國(guó)微電子網(wǎng)集成電路設(shè)計(jì),集成電路工藝,集成電路版圖,半導(dǎo)體技術(shù),半導(dǎo)體器件,芯片封裝與測(cè)試3c!PTbg d!v9U中國(guó)微電子網(wǎng)集成電路設(shè)計(jì),集成電路工藝,集成電路版圖,半導(dǎo)體技術(shù),半導(dǎo)體器件,芯片封裝與測(cè)試{tD U^Fwj 中國(guó)微電子網(wǎng)集成電路設(shè)計(jì),集成電路工藝,集成電路版圖,半導(dǎo)體技術(shù),半導(dǎo)體器件,芯片封裝與測(cè)試E~!H。het \ U中國(guó)微電子網(wǎng)集成電路設(shè)計(jì),集成電路工藝,集成電路版圖,半導(dǎo)體技術(shù),半導(dǎo)體器件,芯片封裝與測(cè)試8J d cf n)Namp。li7Z(@0ew 中國(guó)微電子網(wǎng)集成電路設(shè)計(jì),集成電路工藝,集成電路版圖,半導(dǎo)體技術(shù),半導(dǎo)體器件,芯片封裝與測(cè)試 M%@0l0[q0p3i39。wamp。|7d8\4Rh8arvb0此手冊(cè)最顯著的特征是語(yǔ)句章節(jié)。 它包含器件仿真器按字母順序排列的所有語(yǔ)句。 因?yàn)槲覀円襪odels 語(yǔ)句，點(diǎn)擊左邊的書簽索引上語(yǔ)句章旁邊的 +擴(kuò)展符號(hào)。 按字母順序向下滾動(dòng)選擇 Models 語(yǔ)句。 點(diǎn)擊Models 語(yǔ)句旁邊的+ 擴(kuò)展符號(hào)，可以查看其內(nèi)容。中國(guó)微電子網(wǎng)集成電路設(shè)計(jì),集成電路工藝,集成電路版圖,半導(dǎo)體技術(shù),半導(dǎo)體器件,eFq@z E$r)fa|(l,b0這時(shí)，我們需要選擇 。 如果您已猜到SRH等于Schottky Read Hall 的組合縮寫，即可點(diǎn)擊 Rebination Models Flags章節(jié)。 如果不明白SRH 的含義，則點(diǎn)擊MODELS 標(biāo)題，回到該章節(jié)開頭。 這個(gè)章節(jié)的開頭是另一個(gè)與模型語(yǔ)句有關(guān)的參數(shù)，也以字母順序排列。 向下滾動(dòng)直至 SRH ，表格顯示：參數(shù)類型，以及默認(rèn)數(shù)值和單位。 一旦知曉其類型，便可向下滾動(dòng)在描述章節(jié)找到參數(shù)。 也可使用Edit... Find... 功能在描述部分搜索SRH。 不論使用何種方法，都可以找到描述SRH 參數(shù)的部分。中國(guó)微電子網(wǎng)集成電路設(shè)計(jì),集成電路工藝,集成電路版圖,半導(dǎo)體技術(shù),半導(dǎo)體器件,芯片封裝與測(cè)試Namp。zP9~Ia4Q| yr|q%z I1n z0.[ Kx i$ 查找到SRH參數(shù) Ncm`amp。b7ngC0中國(guó)微電子網(wǎng)集成電路設(shè)計(jì),集成電路工藝,集成電路版圖,半導(dǎo)體技術(shù),半導(dǎo)體器件,芯片封裝與測(cè)試$i。Sd]amp。Q\.L$\0r9F^%cMx4WgH0%V6nM0 中國(guó)微電子網(wǎng)集成電路設(shè)計(jì),集成電路工藝,集成電路版圖,半導(dǎo)體技術(shù),半導(dǎo)體器件,芯片封裝與測(cè)試o b5F