silvacotcad仿真速成手冊(編輯修改稿)
2025-07-26 09:18 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 tfile=中國微電子網(wǎng)集成電路設(shè)計,集成電路工藝,集成電路版圖,半導體技術(shù),半導體器件,芯片封裝與測試Wz/D+b5K w9C{tonyplot中國微電子網(wǎng)集成電路設(shè)計,集成電路工藝,集成電路版圖,半導體技術(shù),半導體器件,芯片封裝與測試9A%TWf4O@1_u!Ij ~)U{ ]ca Q `0至輸入文件，仿真器將保存創(chuàng)建的器件文件直至輸入文件中該點。仿真器在達到該點之后，即自動繪制結(jié)構(gòu)。用戶可在仿真過程中的任意點繪制任意數(shù)目的結(jié)構(gòu)文件。l PLIIv3z0 /?u3zo @0中國微電子網(wǎng)集成電路設(shè)計,集成電路工藝,集成電路版圖,半導體技術(shù),半導體器件,芯片封裝與測試?ojlu`39。}。m:snj!h%v^}: 自動創(chuàng)建和編輯輸入文件VAu)dm!S8R^0中國微電子網(wǎng)集成電路設(shè)計,集成電路工藝,集成電路版圖,半導體技術(shù),半導體器件,芯片封裝與測試}4bv*N~*KC_oA2m B~Y0現(xiàn)在，您應(yīng)該已經(jīng)了解如何加載、運行和查看TCAD 范例的結(jié)果。接下來演示如何簡便創(chuàng)建自己工藝仿真輸入文件或者修改已有文件。R9K:w},f)_1s0 中國微電子網(wǎng)集成電路設(shè)計,集成電路工藝,集成電路版圖,半導體技術(shù),半導體器件,芯片封裝與測試2zG N Ysj T 輸入文件為簡單的ASCII文本格式，因此它可使用任何ASCII 編輯器創(chuàng)建。 但是，DeckBuild 包含一個簡單的GUI，可自動創(chuàng)建工藝仿真輸入文件。中國微電子網(wǎng)集成電路設(shè)計,集成電路工藝,集成電路版圖,半導體技術(shù),半導體器件,芯片封裝與測試R/amp。t]^f*E1c!b6s8Bl\ qU6e0為了簡化程序，而不必每次從頭來創(chuàng)建工藝仿真輸入文件，這里將演示如何在現(xiàn)有的輸入文件中添加幾行代碼。通過在每個工序中重復該步驟，該方法同樣用于創(chuàng)建整個輸入文件。,Z [E,Y H6NS6T0 中國微電子網(wǎng)集成電路設(shè)計,集成電路工藝,集成電路版圖,半導體技術(shù),半導體器件,芯片封裝與測試 XB+MB(G*@ 一旦使用line和init 語句（參見載入范例的首幾行）定義了仿真空間和初始襯底，工藝仿真則僅包含很多連續(xù)的擴散、植入、蝕刻和淀積步驟。其中每一步均可使用DeckBuild自動編寫。Vz4jq`6[A0 中國微電子網(wǎng)集成電路設(shè)計,集成電路工藝,集成電路版圖,半導體技術(shù),半導體器件,芯片封裝與測試mamp。A1Nn I 回到輸入文件的范例中， 假設(shè)打算在第一步之后添加一個低能量10keV PWell Implant。鼠標左擊DeckBuild 頂部視窗中首個Pwell 植入之后的一行。 然后如下點擊：JH。L H e:E:yy R0 9e6Ll+]cR0Commands... Process... Implant)faf Kam0 中國微電子網(wǎng)集成電路設(shè)計,集成電路工藝,集成電路版圖,半導體技術(shù),半導體器件,芯片封裝與測試8S7JIq!a6@nZ 屏幕將出現(xiàn) DeckBuild: ATHENA Implant 視窗。創(chuàng)建額外的注入語句行只需填充該方框而已，其方法是使用滑動條、或者填充數(shù)值后按下回車鍵。 對于10keV 硼注入, 劑量1e11/cm2 ，垂直夾角7 度，主平面旋轉(zhuǎn)27度，其注入GUI 。完成輸入信息后，點擊Write，輸入文件中則出現(xiàn)一個新行。2{Dj m[ [0 L c`(s9[7D0p/{nX 完全填充的注入GUIY$B*p U|3V 中國微電子網(wǎng)集成電路設(shè)計,集成電路工藝,集成電路版圖,半導體技術(shù),半導體器件,芯片封裝與測試k p}e2X2Z /@5Boj5hK d%Y I x ce0 +mU$M)Ff6X?KC00FD39。`e([h$~ ]0 M|)YU O h {.Y1ewv0同樣的方式可創(chuàng)建淀積、注入、擴散、電極、創(chuàng)建網(wǎng)格、晶元初始化，結(jié)構(gòu)文件保存等等. 由于輸入文件為簡單ASCII 文本，要在直觀的語法輸入文件中編輯參數(shù)，僅需使用DeckBuild中附帶的復制、粘貼和刪除功能。中國微電子網(wǎng)集成電路設(shè)計,集成電路工藝,集成電路版圖,半導體技術(shù),半導體器件,芯片封裝與測試`)l*UJy4o{中國微電子網(wǎng)集成電路設(shè)計,集成電路工藝,集成電路版圖,半導體技術(shù),半導體器件,芯片封裝與測試。Ud] A2]l t} 中國微電子網(wǎng)集成電路設(shè)計,集成電路工藝,集成電路版圖,半導體技術(shù),半導體器件,芯片封裝與測試6D f1Y p0a X3J(xW@A VI_B g3H7g~0第3章: 簡易使用手冊和自學方法V2e9R`Q U0中國微電子網(wǎng)集成電路設(shè)計,集成電路工藝,集成電路版圖,半導體技術(shù),半導體器件,芯片封裝與測試\9[39。s j6K*DJ39。`? N8E$MLTi)\0該手冊很厚，乍看可能使人有點畏縮的。所以本章節(jié)將為新用戶演示如何簡便使用范例瀏覽手冊，從而找到特定信息。39。l5hCeh0 中國微電子網(wǎng)集成電路設(shè)計,集成電路工藝,集成電路版圖,半導體技術(shù),半導體器件,芯片封裝與測試4dg3{ T:z3yWt D ，假設(shè)我們要理解SRH參數(shù)的用途。它出現(xiàn)在輸入文件中器件仿真部分，位于models開頭的語句行。中國微電子網(wǎng)集成電路設(shè)計,集成電路工藝,集成電路版圖,半導體技術(shù),半導體器件,芯片封裝與測試 fN1L S,}cx7j7\ U K:e+w \Z0在工藝和器件仿真器中，任何語句行的開頭詞語均為語句。 這個范例中，第一個詞語是models。如果我們想要了解SRH 的作用，我們需要先找出 models statement 的信息。中國微電子網(wǎng)集成電路設(shè)計,集成電路工藝,集成電路版圖,半導體技術(shù),半導體器件,芯片封裝與測試(]aO(h_ R zJ4Azj5QT {g9?0所有的SILVACO產(chǎn)品均有PDF格式的用戶手冊。要查找器件仿真器的信息，則需要打開ATLAS用戶手冊。通過在控制臺和端子窗口中鍵入sman 可啟動sman 工具，再通過sman 工具可獲得用戶手冊。中國微電子網(wǎng)集成電路設(shè)計,集成電路工藝,集成電路版圖,半導體技術(shù),半導體器件,芯片封裝與測試{SO bk中國微電子網(wǎng)集成電路設(shè)計,集成電路工藝,集成電路版圖,半導體技術(shù),半導體器件,芯片封裝與測試^az8M0C 8Y0_F\ u*j @ F*{ ATLAS 的PDF用戶手冊中國微電子網(wǎng)集成電路設(shè)計,集成電路工藝,集成電路版圖,半導體技術(shù),半導體器件,芯片封裝與測試3c!PTb g d!v9U中國微電子網(wǎng)集成電路設(shè)計,集成電路工藝,集成電路版圖,半導體技術(shù),半導體器件,芯片封裝與測試{t D U^Fwj 中國微電子網(wǎng)集成電路設(shè)計,集成電路工藝,集成電路版圖,半導體技術(shù),半導體器件,芯片封裝與測試 E~!H。h et \ U中國微電子網(wǎng)集成電路設(shè)計,集成電路工藝,集成電路版圖,半導體技術(shù),半導體器件,芯片封裝與測試8J d cf n)Namp。li7Z(@0ew 中國微電子網(wǎng)集成電路設(shè)計,集成電路工藝,集成電路版圖,半導體技術(shù),半導體器件,芯片封裝與測試 M% @0l0[q0p3i39。wamp。|7d8\4Rh8arvb0此手冊最顯著的特征是語句章節(jié)。 它包含器件仿真器按字母順序排列的所有語句。 因為我們要找models 語句，點擊左邊的書簽索引上語句章旁邊的 +擴展符號。 按字母順序向下滾動選擇 Models 語句。 點擊Models 語句旁邊的+ 擴展符號，可以查看其內(nèi)容。中國微電子網(wǎng)集成電路設(shè)計,集成電路工藝,集成電路版圖,半導體技術(shù),半導體器件, eF q@z E$r)fa|(l,b0這時，我們需要選擇 。 如果您已猜到SRH等于Schottky Read Hall 的組合縮寫，即可點擊 Rebination Models Flags章節(jié)。 如果不明白SRH 的含義，則點擊MODELS 標題，回到該章節(jié)開頭。 這個章節(jié)的開頭是另一個與模型語句有關(guān)的參數(shù)，也以字母順序排列。 向下滾動直至 SRH ，表格顯示：參數(shù)類型，以及默認數(shù)值和單位。 一旦知曉其類型，便可向下滾動在描述章節(jié)找到參數(shù)。 也可使用Edit... Find... 功能在描述部分搜索SRH。 不論使用何種方法，都可以找到描述SRH 參數(shù)的部分。中國微電子網(wǎng)集成電路設(shè)計,集成電路工藝,集成電路版圖,半導體技術(shù),半導體器件,芯片封裝與測試Namp。zP9~Ia4Q| yr|q%z I1n z0.[ Kx i$ 查找到SRH參數(shù) Ncm`amp。b7ngC0中國微電子網(wǎng)集成電路設(shè)計,集成電路工藝,集成電路版圖,半導體技術(shù),半導體器件,芯片封裝與測試$i。Sd]amp。Q\.L$\0r9F^%c Mx4W gH0%V6nM0 中國微電子網(wǎng)集成電路設(shè)計,集成電路工藝,集成電路版圖,半導體技術(shù),半導體器件,芯片封裝與測試 o b5F
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