【文章內(nèi)容簡介】 調(diào)節(jié)氬氣排氣量。用空氣閥斷開氬氣系統(tǒng)的氬氣，真空泵和腔室。在冷卻階段，用一個(gè)單獨(dú)的閥門隔離和控制氦氣流量。 電源 利用水冷電纜給加熱元件提供 165KVA 電源。主降壓變壓器（ 位于架空層頂部，靠近水冷的饋通器）將電源分成兩部分。變壓器輸出端提供最大電壓 25VAC 和最大電流 3800Amps（每一相）。架空層上有一個(gè)電源控制柜，柜內(nèi)有一個(gè) SCR 控制器，它能調(diào)節(jié)主變壓器初級(jí) Glory Silicon Energy (Zhen jiang) Co.,Ltd. 14 繞組的電壓。柜內(nèi)還有一個(gè)控制電源電壓的降壓變壓器，加熱器的電源接觸器，真空泵接觸器，下腔室驅(qū)動(dòng)電機(jī)，各種電路的斷路器和保險(xiǎn)。 SCR 控制器采用這樣的方式控制 SCR：按一定的設(shè)定功率比，接通和斷開 SCR 的功率控制器。例如：設(shè)定功率比為 30%，在 30%的時(shí)間內(nèi)完全接通 SCR 控制器，在剩下 70%的時(shí)間內(nèi)斷開 SCR 控制器。一般情況下，整個(gè)控制循環(huán)的設(shè)定時(shí)間為 4 秒，所以 SCR 控制器在 秒內(nèi)接通，在 秒內(nèi)斷開，然后重復(fù)這個(gè)循環(huán)。這種控制能顯著地提高功率的轉(zhuǎn)換系數(shù)和整個(gè)系統(tǒng)的有效功率。 4. 控制平臺(tái) 控制柜內(nèi)有輸入 /輸出（ I/O）模塊和 opto控制器（ LCM4)，供應(yīng)電源，隔熱層驅(qū)動(dòng)電機(jī)和 UPS，過載保護(hù)用的電路制動(dòng)器和保險(xiǎn)。電纜從 控制 柜里接到電源控制柜里，各種設(shè)備里和爐子的傳感器上。 操作顯示屏 下面的部分描述操作者經(jīng)常操作 DSS爐用到的界面和參數(shù)。 報(bào)警 按鈕 Glory Silicon Energy (Zhen jiang) Co.,Ltd. 15 如果有需要操作員注意的報(bào)警響起時(shí)，報(bào)警界面就會(huì)打開。激活的報(bào)警顯示紅色，正常報(bào)警顯示綠色?？梢噪S時(shí)按下報(bào)警按鈕調(diào)出報(bào)警界面。 按“ silence alarm”消除報(bào)警，若報(bào)警仍然存在，報(bào)警狀態(tài)將顯示紅色。若報(bào)警 消除，報(bào)警狀態(tài)將顯示綠色。 若緊急報(bào)警條件被檢測到，電源斷開倒計(jì)時(shí)將被激活，當(dāng)時(shí)間到 0秒時(shí)，電源接觸器將斷開。緊急報(bào)警有， 水流量緊急報(bào)警，最大溫度報(bào)警，最大壓力報(bào)警等。 另外“ detail”按鈕將顯示在報(bào)警條的右側(cè)。 電源缺失 /缺相界面 掉電或者缺相后又恢復(fù)電源時(shí)，電源按一定的曲線自動(dòng)恢復(fù)（比掉電前的電源值稍高）且自動(dòng)轉(zhuǎn)換到溫度控制模式（如果掉電前就處于這個(gè)模式）。當(dāng)操作狀況已經(jīng)返回到掉電時(shí)記錄的狀態(tài)時(shí)，需要操作者確認(rèn)是否想繼續(xù)正常的操作。如果已經(jīng)超過了 TC1 控制值或者 TC2 和 DS 塊溫度允許值（在主參數(shù)屏幕里）時(shí)還沒有恢復(fù)電源，根據(jù)掉電時(shí)程序正在運(yùn)行的模式而執(zhí)行冷卻處理程序或突然中斷當(dāng)前的工藝進(jìn)入驟冷階段。 結(jié)束觸發(fā)報(bào)警按鈕 按下禁止結(jié)束熔化或者長晶按鈕后，可以看見另一個(gè)按鈕，提示操 作工必須決定什么時(shí)候結(jié)束 “END” 功能。 Glory Silicon Energy (Zhen jiang) Co.,Ltd. 16 接觸器斷開界面 當(dāng)出現(xiàn)了一個(gè)臨界值報(bào)警且已到報(bào)警允許時(shí)間，加熱器電源接觸器會(huì)斷開且打開接觸器斷開屏幕。可以利用報(bào)警屏幕上的 “detail ” 按鈕關(guān)閉 /重新打開這個(gè)窗口。 關(guān)閉接觸器斷開窗口，查看接觸器斷開的原因。用報(bào)警屏幕上的 “detail” 按鈕調(diào)出接觸器斷開屏幕。 可以重新閉合加熱器電源的接觸器，使電源設(shè)定值重新返回到接觸器斷開時(shí)的電源值。一旦消除了引起故障的報(bào)警，就可以閉合加熱器電源的接觸器 ，輸入接觸器斷開時(shí)的電源值或者輸入的電源值比斷開時(shí)的電源值大 5% 以補(bǔ)償溫度損失。關(guān)閉這個(gè)窗口，回到當(dāng)前值窗口，監(jiān)控返回到正常操作狀態(tài)的程序。接觸器斷開時(shí)如果設(shè)備正處于溫度控制模式下，則允許溫度上升到斷開時(shí)的溫度值，將控制狀態(tài)重新轉(zhuǎn)換到溫度控制模式。記?。涸O(shè)備將處于暫停模式下直到按下 “ 繼續(xù)運(yùn)行 ” 按 鈕 。 Glory Silicon Energy (Zhen jiang) Co.,Ltd. 17 瀏覽界面 瀏覽 界面 顯示當(dāng)前的模式，階段和剩余的時(shí)間。 ID 框中顯示了設(shè)備標(biāo)識(shí)和當(dāng)前日期和時(shí)間。單擊 ID 可以改變爐子的名字和標(biāo)識(shí) — 只有當(dāng)爐子不是自動(dòng)模式時(shí)才能更改。 可以利 用窗口控制盤更改 PC 機(jī)的時(shí)間和日期，然后單擊更改 /時(shí)間 /日期同步按鈕，使控制盤上的時(shí)間和日期與 PC 機(jī)上的時(shí)間和日期相同。 瀏覽圖也顯示當(dāng)前的電源設(shè)定值，溫度，壓力，氣體流量和水流量，電壓和電流值，但是因?yàn)橥耆油娫吹脑O(shè)定值，然后再完全斷開電源的設(shè)定值，所以顯示的電壓和電流不太準(zhǔn)確。峰值 KVA 框中顯示測量的最大功率。 當(dāng)達(dá)到上述值時(shí)，方框變綠，當(dāng)沒有達(dá)到上述值時(shí)，方框變紅。每一個(gè)功能信息組都有一個(gè)詳細(xì)按鈕，能顯示更詳細(xì)的測量結(jié)果和一個(gè)較短時(shí)間內(nèi)的趨勢圖。按下詳細(xì)按鈕可顯示相應(yīng)的詳細(xì)屏幕。 細(xì)節(jié)界面 這些屏幕顯示了工藝變量的當(dāng)前測量值，設(shè)定值，輸出值和 PID 參數(shù)并附有一個(gè)趨勢圖。 出氣細(xì)節(jié)界面 Glory Silicon Energy (Zhen jiang) Co.,Ltd. 18 PID控制功率界面 進(jìn)氣細(xì)節(jié)界面 PID控制 溫度細(xì)節(jié)界面 壓力細(xì)節(jié)界面 隔熱籠位置細(xì)節(jié)界面 Glory Silicon Energy (Zhen jiang) Co.,Ltd. 19 模式界面 模式 界面 顯示了自動(dòng)長晶階段的許多選項(xiàng)。正常選項(xiàng)是缺省項(xiàng)，一旦按下自動(dòng)模式按鈕，將啟動(dòng)自動(dòng)程序?？梢杂脮r(shí)間 /日期啟動(dòng)鈕設(shè)定自動(dòng)模式即將啟動(dòng)的時(shí)間和日期。輸入日期和時(shí)間后按下時(shí)間 /日期旁的綠色按鈕。爐子執(zhí)行 “ 抽氣降壓 ” 子程序后等待日期和時(shí)間達(dá)到輸入值。操作者可以用安裝鈕和存儲(chǔ) 鈕從硬盤上的配方清單中選擇一個(gè)新配方（安裝一個(gè)配方）后存儲(chǔ)一個(gè)新配方。安裝 /存儲(chǔ)一個(gè)新配方后就可以顯示當(dāng)前配方的名字。 模式界面 一旦啟動(dòng)一個(gè)自動(dòng)生長程序，屏幕頂部的數(shù)據(jù)登陸信息將會(huì)閃亮并顯示當(dāng)前的模式，階段和當(dāng)前階段剩余的時(shí)間。如果按下暫停按鈕，在左下邊的方框里可以看見一些新選項(xiàng)。如果需要跳到一個(gè)新模式或新階段，可以輸入新時(shí)間和模式編號(hào)（參考更改模式 /相應(yīng)編號(hào)屏幕底部的注解），就可以看見新階段的編號(hào)。輸入期望的階段編號(hào)，當(dāng)看見該編號(hào)時(shí)，按下輸入新值按鈕，程序?qū)漠?dāng)前的階段向前或者向后跳到期望的階段。可以輸 入新時(shí)間使程序在選定的階段開始運(yùn)行?？梢杂?“ 前進(jìn)到下一階段按鈕 ” 使程序前進(jìn)到下一個(gè)階段。 前進(jìn)到下個(gè)階段 Glory Silicon Energy (Zhen jiang) Co.,Ltd. 20 (程序的轉(zhuǎn)移詳情可看自動(dòng)監(jiān)控部分 )。一旦按下 “ 繼續(xù)運(yùn)行 ” 按鈕，將繼續(xù)運(yùn)行自動(dòng)控制程序。 你確定想終止界面嗎？ 按下暫停按鈕后，可以看見終止按鈕。如果選擇終止，會(huì)出現(xiàn)第二個(gè)屏幕并要求操作工確認(rèn)已經(jīng)跳到了緊急冷卻階段。如果操作工選擇 OK，程序?qū)⑦M(jìn)入緊急冷卻階段并執(zhí)行此程序。按下刪除鈕，返回到模式屏幕。如果沒有正確地，快速地跳到緊急冷卻階段或者按下 “ 繼續(xù)運(yùn)行 ” 鈕前沒有正確地跳到 緊急冷卻階段，程序可能會(huì)跳回到自動(dòng)長晶過程中一個(gè)較早的階段?？梢允褂媚Ｊ狡聊挥疫吪帕械陌粹o得到主參數(shù)， PID 值和手動(dòng)屏幕（帶有密碼）。 主要參數(shù)界面 操作工可以在這個(gè)屏幕上修改自動(dòng)循環(huán)過程中不會(huì)變化的變量。這些變量與配方值一起控制自動(dòng)循環(huán)過程中的所有變化（參考這些變量的先進(jìn)功能）。 Glory Silicon Energy (Zhen jiang) Co.,Ltd. 21 PID 值界面 PID 屏幕顯示溫度，進(jìn)氣通道和排氣通道 PID 的控制環(huán)路?？梢栽谶@個(gè)屏幕上修改 PID 調(diào)節(jié)參數(shù)。 手動(dòng)界面 只有正在運(yùn)行自動(dòng)循環(huán)期間才能看見這個(gè)手動(dòng)屏幕。當(dāng)爐子沒有處于自 動(dòng)模式時(shí)，在手動(dòng)屏幕底部可以看見手動(dòng)屏幕鈕。按下這個(gè)鈕，會(huì)打開第二個(gè)屏幕詢問操作工是否確實(shí)想繼續(xù)手動(dòng)控制且需要輸入一個(gè)密碼才能打開此手動(dòng)屏幕。打開這個(gè)手動(dòng)屏幕后當(dāng)前的自動(dòng)循環(huán)就進(jìn)入暫停狀態(tài)，允許你更改這個(gè)自動(dòng)循環(huán)。 警告： 只有合格人員才能更改這些值和打開 /關(guān)閉閥門，移動(dòng)隔熱層或者接通 /斷開電源等。更改前必須充分考慮到改后的影響。按照改后的工藝執(zhí)行當(dāng)前的循環(huán)，等結(jié)束后才能重新更改。 抽氣界面 在自動(dòng)循環(huán)的降壓過程中，也可以看見降壓檢查屏幕和降壓按鈕。 Glory Silicon Energy (Zhen jiang) Co.,Ltd. 22 配方按鈕 點(diǎn)擊任何一個(gè)屏幕底部的配方框都可以進(jìn)入 4 個(gè)配方屏幕中的第一個(gè)屏幕。點(diǎn)擊配方屏幕頂部的按鈕可以移動(dòng) 4 個(gè)配方屏幕。從模式屏幕上裝載配方和保存配方，在每一個(gè)屏幕上利用列出的模式和階段建立配方和修改配方。在自動(dòng)生長過程中，按照列出的時(shí)間和順序執(zhí)行這些階段。關(guān)于如何建立一個(gè)配方和如何修改配方的詳細(xì)說明，請(qǐng)看 “ 先進(jìn)的功能 ”部分。 當(dāng)爐子處于自動(dòng)控制模式時(shí)，點(diǎn)擊配方框，會(huì)打開當(dāng)時(shí)激活的任何一個(gè)配方屏幕，為操作工提供一個(gè)工藝設(shè)置信息。 手動(dòng)按鈕 如果爐子 沒有處于自動(dòng)控制模式時(shí)，在手動(dòng)屏幕底部顯示手動(dòng)鈕。點(diǎn)擊手動(dòng)鈕會(huì)打開下面的屏幕，允許操作工更改參數(shù)值，閉合 /接通電源接觸器，更改設(shè)定功率和設(shè)定溫度，更改壓力值和調(diào)節(jié)隔熱層的目標(biāo)位置。當(dāng)爐腔內(nèi)壓力超過 950mbar 時(shí)，可以點(diǎn)擊下腔室提升鈕，在隔熱層手動(dòng)屏幕上上下調(diào)節(jié)隔熱層的位置。也可以按下 “ 重新充氣 ” 鈕，使腔室壓力 Glory Silicon Energy (Zhen jiang) Co.,Ltd. 23 恢復(fù)到大氣壓力。 “ toggle slow pump” 按鈕 可以讓操作者用 V3閥和比率閥控制抽氣。若達(dá)到慢速泵轉(zhuǎn)換參數(shù)設(shè)定的值自動(dòng)轉(zhuǎn)化成 V1控制。輸入正確的密碼可以進(jìn)入設(shè)備維護(hù)界面。若手動(dòng)界面進(jìn)入自動(dòng)模 式這個(gè)按鈕則不會(huì)顯示出來。當(dāng)氣體撿漏未通過報(bào)警會(huì)彈出氣體撿漏界面。 若爐子進(jìn)入自動(dòng)運(yùn)行模式，手動(dòng)按鈕將不會(huì)顯示在屏幕下方， 但會(huì)顯示在模式界面。要進(jìn)入手動(dòng)界面去改變值或接觸器必須通過密碼。將有個(gè)新的按鈕顯示在屏幕的下方稱“ real values” 這個(gè)界面限制設(shè)定電源，壓力，溫度值。 Real values 界面 Glory Silicon Energy (Zhen jiang) Co.,Ltd. 24 隔熱籠手動(dòng)操作界面 點(diǎn)擊手動(dòng)屏幕頂部的隔熱層手動(dòng)鈕，打開這個(gè)屏幕，使隔熱層提升 /下降以便裝料 /出錠等。根據(jù)此屏幕頂部的說明將隔熱層移到一個(gè) 新位置 — 輸入新的目標(biāo)位置和新速度后點(diǎn)擊運(yùn)行，隔熱層將以新的速度移到新位置后停止。當(dāng)隔熱層距目標(biāo)位置 ，速度自動(dòng)降到 2 厘米 /分鐘。 這個(gè)窗口中間的信息說明了隔熱層的實(shí)際位置，速度以及行程限位開關(guān)的最終狀態(tài) — 紅色意味著達(dá)到限位，綠色意味著隔熱層在上限位和下限位之間。隔熱層的位置偏差就是隔熱層電機(jī)驅(qū)動(dòng)控制電源掉電后和已經(jīng)執(zhí)行了下限位的 “ 起始 ” 子程序后存儲(chǔ)到軟件里的校正距離。位置計(jì)數(shù)器僅僅顯示隔熱層電機(jī)驅(qū)動(dòng)控制系統(tǒng)里的 “ 位置總數(shù) ” ，通常情況下可以忽略不計(jì)。 注意： 當(dāng)隔熱層處于關(guān)閉（ 0）位置時(shí)，如果位 置總數(shù)超過了 30， 000， 000 個(gè)，位置偏差超過了 177。 5 cm ，具體操作步驟請(qǐng)參考維修手冊(cè)。隔熱層的電機(jī)驅(qū)動(dòng)控制系統(tǒng)可以復(fù)位到 0，即不自動(dòng)計(jì)數(shù)，使位置偏差近似為 0。 下面的信息 /按鈕顯示了隔熱層電機(jī)驅(qū)動(dòng)控制系統(tǒng)的狀態(tài)，但是如果驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)出現(xiàn)了問題，可以看見其它按鈕和選項(xiàng)。通常情況下，電機(jī)制動(dòng)器不起制動(dòng)作用，只有隔熱層電機(jī)驅(qū)動(dòng)控制系統(tǒng)出現(xiàn)故障時(shí)或者掉電時(shí)才制動(dòng)電機(jī)。 注意： 如果電機(jī)制動(dòng)器制動(dòng)了電機(jī)，隔熱層就停止移