【文章內(nèi)容簡介】 oxide(MOS) 7 第二章、電子級氨水的 生產(chǎn)工藝與質(zhì)量指標(biāo) 電子級氨水制法 電子級氨水是用高純氨通入高純水中吸收，再經(jīng)微孔濾膜處理即可。電子級氨水合成的關(guān)鍵步驟是高純氨的制備。 高純氨制備傳統(tǒng) 方法 傳統(tǒng)高純氨工藝主要有三種： 工業(yè)氨經(jīng)三級吸附除去油、水及部分碳?xì)浠衔?，膜壓機(jī)壓縮后送入精餾塔，二次精餾除去低沸點(diǎn) 雜質(zhì)，吸附器進(jìn)一步除水得高純氨。 工業(yè)氨用吸附法除去水，采用間歇精餾法除去低沸點(diǎn)雜質(zhì)，得到 %的高純氨。 工業(yè)氨經(jīng)精餾、多重吸附、超濾、終端純化得到 %的高純氨。 圖 幾種有代表性的吸附劑暇射程度與時間的曲線 吸附初期各吸附劑對 NH中 H0的吸附純化程度曲線， 1～ 7為不同試驗(yàn)的吸附劑。 圖 高純氨生產(chǎn)工藝流程圖 NH3； 2． 2’脫油干燥器； 3． 3’吸附器 4．精餾塔； 5．高純 NH3； 6冷卻水槽； 7．過濾器； I脫油劑； II III IV干燥吸附劑 表 精餾提純 NH3 工藝條件 高純氨制備其他 方法 武漢華燦光電有限公司的專利 CN1907855 提出一種直接合成高純氨的方法 ， 其特征在于：先對合成氨所需的兩種原材料 —— 氮?dú)?N2和氫氣 H2進(jìn)行提純 ，然后再把它們合成為氨 ， 從而得到所需的高純氨；或者再經(jīng)過簡單的分離 ， 把其中的 N2和 H2分離出來 ， 從而得到所需的高純氨。 用這種方法獲得高純氨克服了以往提純的困難 ， 所以成本降低很多 ， 高純氨 電子級 氨水技術(shù)與市場調(diào)研報告 Technoic and Market Research Report of Ammonium hydroxide(MOS) 8 的價格將會大大降低。 江陰市潤瑪電子材料有限公司 的專利 CN101143728 發(fā)明一種超高純氨水的生產(chǎn)工藝，包括以下工 藝步驟： （ 1） 將液氨罐內(nèi)的液氨輸入緩沖罐； （ 2） 緩沖罐的氨氣通入第一個清洗塔中； （ 3） 第一個清洗塔內(nèi)的氨氣進(jìn)入第二個清洗塔內(nèi)被去離子水吸收成氨水，并釋放出比較純的氨氣； （ 4） 第二個清洗塔內(nèi)的氨氣進(jìn)入第三個清洗塔內(nèi)被去離子水吸收成氨水，并釋放出純度極高的氨氣； （ 5） 第三個清洗塔純度極高的氨氣輸入吸收塔后氨氣被吸收塔內(nèi)的去離子水大量的吸收； （ 6） 在超凈環(huán)境內(nèi)，用過濾器對出吸收塔的氨水進(jìn)行過濾分裝得到超高純的氨水成品。 該 發(fā)明生產(chǎn)工藝簡單、生產(chǎn)安全性好、產(chǎn)品純度高、轉(zhuǎn)換率高、生產(chǎn)成本低。 武漢高安新材 料有限公司的專利 CN101575102 提出經(jīng)氨催化裂解、氫氮?dú)饧兓桶焙铣扇郊芍苽涓呒儼薄? 電子級 氨水的質(zhì)量指標(biāo) 電子級氨水有國家統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)， 1993 年由化工部西南化工研究院起草的《 GB/T1460193 電子工業(yè)用氣體高純氨 》 于 2020 年 4 月 30 日停止執(zhí)行，取而代之的是大連光明化工研究院、中國西南油氣田成都天然氣化工總廠、武漢市鼎立化工有限責(zé)任公司、西南化工研究設(shè)計(jì)院起草的《 GB/T146012020 電子工業(yè)用氣體氨 》， 于 2020 年 5 月 1 日起執(zhí)行。 表 GB/T 1460193電子工 業(yè)用氣體高純氨標(biāo)準(zhǔn)表 表 GB/T 146012020電子級氨標(biāo)準(zhǔn)表 表 GB/T 146012020光電子級氨標(biāo)準(zhǔn)表 表 GB/T 146012020光電子級氨重金屬標(biāo)準(zhǔn)表 達(dá)諾爾公司目前可批量提供符合國際半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的五個規(guī)格的產(chǎn)品： 表 電子級氨水 國際半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)表 電子級 氨水技術(shù)與市場調(diào)研報告 Technoic and Market Research Report of Ammonium hydroxide(MOS) 9 標(biāo)準(zhǔn) 金屬雜質(zhì) 孔徑過濾器 微米粒子 凈化環(huán)境 同等 標(biāo)準(zhǔn) XLSI 100ppt 100級 SEMI 4級（ C級） SLSI 1ppb 100級 SEMI 3級（ B級） ULSI 10ppb 100級 SEMI 2級 VLSI 10ppb 100級 SEMI VLSI級 SEMI 100ppb 100級 SEMI 工藝標(biāo)準(zhǔn) 第三章、電子級氨水的生產(chǎn)現(xiàn)狀與預(yù)測 電子級氨水生產(chǎn)現(xiàn)狀及預(yù)測 電子級氨水生產(chǎn)發(fā)展歷程 我國的合成氨工業(yè)起步于 20 世紀(jì) 30 年代。 … . 江蘇達(dá)諾爾公司也是國內(nèi)主要的電子級氨水生產(chǎn)廠家。 目前 電子級 氨水 擴(kuò)大到 5000 噸 /年 。 自金融危機(jī)以來，化工行業(yè)的開工率明顯降低。電子級氨水的生產(chǎn)環(huán)境要求很高，加上金融危機(jī)的影響，沒有查到 近兩年 電子級氨水 其他 新建產(chǎn)能。 國內(nèi)其他各電子級氨水生產(chǎn)廠家的產(chǎn)能都不大，主要是因?yàn)殡娮蛹壈彼挠昧枯^小，目前一些廠家具有一百甚至幾百噸的生產(chǎn)能力。 目前國內(nèi)有不少廠家可以規(guī)?；a(chǎn)電子級氨水，由于產(chǎn)量主要受應(yīng)用量的限制。很多廠家按需生產(chǎn)。 電子級氨水生產(chǎn)現(xiàn)狀 電子級氨水由于技術(shù)壁壘較高，實(shí)際生產(chǎn)廠家不多，國內(nèi)較大的生產(chǎn)廠家以光明化工研究設(shè)計(jì)院為代表，每年產(chǎn)量只有幾千噸 。 2020 年，我國電子級氨水年產(chǎn)能力約 噸 ， 產(chǎn)量 噸。 2020 年，我國電子級 電子級 氨水技術(shù)與市場調(diào)研報告 Technoic and Market Research Report of Ammonium hydroxide(MOS) 10 氨水的產(chǎn)能已達(dá)到 噸 ， 產(chǎn)量 噸。 2020～ 2020 年產(chǎn)量年均增長 %。增長主要得益于電子工業(yè)領(lǐng)域的增長。 2020 年，我國電子級氨水 生 產(chǎn)能力 依然在 噸 /年， 產(chǎn)量 估計(jì)達(dá)到 噸。 表 2020～ 2020年我國 電子級氨水產(chǎn)能 產(chǎn)量情況表 單位：噸 /年 年份 產(chǎn)能 產(chǎn)量 開工率 備注 2020 % 2020 % 2020 % 2020 % 2020 % 2020 % 達(dá)諾爾增產(chǎn) 2020 % 圖 2020～ 2020年 我國電子級氨水產(chǎn)能產(chǎn)量走勢圖 單位：噸 /年 電子級氨水競爭態(tài)勢與競爭格局分析 目前（ 2020 年 6 月 25 日），我國 能夠生產(chǎn) 電子級氨水 的企業(yè) 很 多， 有近家，總生產(chǎn)能力 約 噸 /年。 國內(nèi)規(guī)模較大的電子級氨水生產(chǎn)廠家有光明設(shè)計(jì)院（噸 /年）、江蘇達(dá)諾爾半導(dǎo)體超純科技有限公司（噸 /年） 、 佛山市南海志力化工有限公司 （噸 /年） 等。 光明設(shè)計(jì)院由于得天獨(dú)厚的科研能力在生產(chǎn)企業(yè)中獨(dú)占鰲頭，江蘇達(dá) 諾爾半導(dǎo)體超純科技有限公司（ 5000 噸 /年）是中美合資企業(yè)，有生產(chǎn)優(yōu)勢。其他一些廠家基本是民營企業(yè)，主要是生產(chǎn)特種氣體或生產(chǎn)電子清洗劑的企業(yè)。這些企業(yè)所產(chǎn)電子級氨水產(chǎn)品全部對外銷售。 電子級氨水用量不大，生產(chǎn)公司大都位于華東華南一帶以及華北東北的沿海地區(qū)地區(qū)，區(qū)域競爭明顯。 … 電子級 氨水技術(shù)與市場調(diào)研報告 Technoic and Market Research Report of Ammonium hydroxide(MOS) 11 電子級氨水生產(chǎn)發(fā)展分析與預(yù)測 近 幾年，我國 電子級氨水 產(chǎn)能產(chǎn)量增長較多， 基本 能滿足國內(nèi)市場需求。今后幾年我國 電子級氨水 產(chǎn)能 產(chǎn)量還 有所增加。 預(yù)計(jì)到 2020 年，我國將新增 電子級氨水 產(chǎn)能 噸左右， 產(chǎn)能將出現(xiàn)過剩 。 根據(jù)我國市場現(xiàn)狀 ，我們建議發(fā)展 電子級氨水 須謹(jǐn)慎 ，不可盲目興建。 表 2020～ 2020 年 我國 電子級氨水產(chǎn)能 產(chǎn)量預(yù)測表 單位：噸 /年 年份 預(yù)計(jì) 產(chǎn)能 預(yù)計(jì) 產(chǎn)量 預(yù)計(jì)開工率 2020 % 2020 % 2020 % 2020 圖 2020～ 2020 年 我國電子級氨水產(chǎn)能產(chǎn)量預(yù)測圖 單位：噸 /年 電子級氨水主要生產(chǎn)企業(yè)產(chǎn)能統(tǒng)計(jì) 目前我國 電子級氨水生產(chǎn)廠家與生產(chǎn)能力 統(tǒng)計(jì)情況見 表 。 表 目前我國 電子級氨水主要生產(chǎn)廠家與生產(chǎn) 能力 情況表 單位：噸 /年 序號 生產(chǎn)廠家 生產(chǎn)能力 備注 1 500 2 50 3 4 2500 合計(jì) 5 江西省華東特種氣體有限公司 200 氣體 6 100 氣體 電子級 氨水技術(shù)與市場調(diào)研報告 Technoic and Market Research Report of Ammonium hydroxide(MOS) 12 7 氣體 8 氣體 9 惠州市惠陽華隆工業(yè)氣體有限公司 氣體 10 氣體 11 氣體 12 氣體 13 氣體 14 氣體 15 16 17 18 棗莊滕州氨水有限公司 19 昆山晶科微電子有限公司 20 南通匯隆電子材料有限公司 Copyright@6chem Inc 電子級氨水主要生產(chǎn)企業(yè)概況 光明化工研究設(shè)計(jì)院 北京興青紅精細(xì)化學(xué)品科技有限公司 江蘇達(dá)諾爾半導(dǎo)體超純科技有限公司 江蘇達(dá)諾爾半導(dǎo)體超純科技有限公司位于長江下游金三角地帶的江蘇高 科技氟化學(xué)工業(yè)園，是一家專業(yè)生產(chǎn)超高純微電子化學(xué)品的中美合資企業(yè)。 達(dá)諾爾公司致力于半導(dǎo)體濕法工藝超高純微電子化學(xué)品的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和服務(wù)。主要產(chǎn)品包裝 PPT 級超純異丙醇、超純氨水、超純鹽酸等，產(chǎn)品性能及各項(xiàng)指標(biāo)達(dá)到世界先進(jìn)水平。 該 公司采用美國最先進(jìn)的超高純化學(xué)品生產(chǎn)工藝和技術(shù)，生產(chǎn)過程中使用了國際水平的凈化吸附樹脂和美國密科里公司的超高效精密過 電子級 氨水技術(shù)與市場調(diào)研報告 Technoic and Market Research Report of Ammonium hydroxide(MOS)