掃描電子顯微鏡(編輯修改稿)
2025-07-21 03:46 本頁面
【文章內容簡介】 形貌觀察和微區(qū)的晶體結構、成分分析，系統(tǒng)由電子光學系統(tǒng)、高壓系統(tǒng)、真空系統(tǒng)等部分組成電子槍：六硼化鑭(LaB6)燈絲分辨率：點分辨率：；線分辨率：加速電壓: 200kV物鏡電流穩(wěn)定度： 1ppm/min (peak to peak)物鏡焦距： 球差系數(shù)：色差系數(shù)：最小聚焦步長：最小束斑尺寸TEM模式：20nm以下EDS模式/納米束電子衍射(NBD)模式/會聚束電子衍射(CBD)模式：放大倍率：MAG模式： x2,000 x1,500,000；LOW MAG模式：x50 x6,000SA MAG模式： x8,000 – x800,000；樣品更換：氣鎖方式，自動2段抽氣樣品防污染液氮冷阱：標準 樣品臺重復精度：優(yōu)于2μmEDS分析幾何條件固體角： str. 以上（30mm2 活區(qū)面積檢測器）取出角：25176。以上 （30mm2 活區(qū)面積檢測器），真空系統(tǒng)：高真空泵：（電子槍和樣品室）離子泵，150 l/s，一個 （觀察室和照相室）擴散泵，420 l/s，一個低真空泵：機械泵，100 l/min，一個真空度：優(yōu)于210
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