tescan3型掃描電子顯微鏡操作規(guī)程(編輯修改稿)
2025-08-03 12:06 本頁面
【文章內容簡介】 到10，樣品臺降至最低位置（手動調節(jié)），將BSE探頭搖出，然后再切斷高壓按鈕。稍開N2閥，通入N2.（2）關閉高壓大約3min后，開始泄真空，取出樣品，單擊VEGA中的[PUMP]，抽真空開始，關閉VEGA。（3）點擊用戶界面的關閉或文件菜單中的switch off and exit，退出SEM操作界面。（4）正常關閉電腦主機。（5）將SEM主機下方面板上的開關，由ON轉向OFF。（6）關閉N2閥門。（7）拔下電源插頭。安全操作注意事項（1）進行觀察的塊狀樣品，必須有一定的尺寸要求，必須干凈，不能有油漬或揮發(fā)性氣體放出，避免污染電鏡。（2）樣品放置或移動時，必須確保不會碰觸各種探頭。（3）調整試樣的工作距離時，注意報警器報警，防止碰觸物鏡。（4）樣品室的真空達到要求（10^5torr）后，才可加燈絲高壓。（5）操作者不觀察樣品或離開崗位時，一定切斷高壓。（6）退出SEM分析軟件時，一定使系統(tǒng)真空達到要求，保持綠條提示才關閉軟件。（7）為防止該套系統(tǒng)電腦主機受病毒侵害，數(shù)據(jù)導出時，只能使用光盤或格式化了的U盤。（8）粗粉體可
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