微電子工藝課件1zhang(編輯修改稿)
2025-06-08 18:36 本頁面
【文章內容簡介】 ? 平時考核：考核到課率、交作業(yè)情況，平時成績占總成績的 10％ ? 期末考核：采用 開卷 考試，期末考試占總成績的 90％ ? 建議教材和參考資料： ? 建議教材： 《 半導體制造技術 》 中文版，韓鄭生等譯，電子工業(yè)出版社 2022，國外電子與通信教材系列。 參考資料： ① 《 集成電路工藝基礎 》 ，王陽元等編著，高等教育出版社。 ② 《 微電子制造科學原理與工程技術 》 ， Stephen A. Campbell著，電子工業(yè)出版社，國外電子與通信教材系列 。 ③ 《 集成電路制造技術 — 原理與實踐 》 ，莊同曾編，電子工業(yè)出版社。 課時安排（ 32學時） ? 導論（ 2學時） ? 半導體產業(yè)介紹（ 2學時） ? 硅和硅片制備（ 2學時） ? 集成電路制造工藝概況（ 3學時） ? 氧化（ 3學時） ? 淀積（ 3學時） ? 金屬化（ 3學時） ? 光刻：氣相成底膜到軟烘（ 2學時） ? 光刻：對準和曝光（ 2學時） ? 光刻：光刻膠顯影和先進的光刻技術（ 2學時） ? 刻蝕（ 3學時） ? 離子注入、擴散（ 3學時） ? 化學機械平坦化（ 1學時） ? 裝配與封裝（選講 1學時） 微電子工藝特點 ? Safety 安全第一 （進實驗室第一步） （劇毒，強酸，強堿，強腐蝕性） ? Yield 良品率 例子： =1% =% =% 安全第一 安全第一 安全第一 安全第一 安全第一 良品率 良品率 良品率 良品率 良品率 良品率 良品率 微電子發(fā)展歷史參考書籍 ? 晶體之火－－晶體管的發(fā)明及信息時代的來臨 [美 ] 邁克爾 . 賴爾登 莉蓮 . 霍德森著 上?？茖W技術出版社 2022年 ? History of Semiconductor Engineering by Bo Lojek SpringerVerlag Berlin 2022 ? 曠世
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