ovd法第二小組ppt課件(編輯修改稿)
2025-06-01 18:21 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 化鋁的襯棒和一個特別設(shè)計(jì)的玻璃夾具開始。玻璃原材料，包括四氯化硅，四氯化鍺等，由噴燈噴出。金屬氯化物在經(jīng)過火焰時，產(chǎn)生火焰水解反應(yīng)，形成玻璃微顆粒而沉積在襯棒上。芯子的折射率由二氧化鍺的摻雜量控制。在沉積芯子 (二氧化硅加少量的二氧化鍺 )結(jié)束后，必須再沉積部分二氧化硅包層。在芯棒沉積結(jié)束后，二氧化鋁襯棒必須從芯棒中抽出。 ? 包層沉積工藝 由于在芯棒沉積時只沉積了部分包層，剩下部分包層玻璃由包層沉積工藝完成，沉積包層的設(shè)備與沉積芯棒的設(shè)備基本上是一樣的。 避免芯棒和外包層產(chǎn)生界面氣泡，是包層工藝的主要要求。在準(zhǔn)備芯棒沉積包層時，芯棒必須經(jīng)火焰準(zhǔn)直，表面必須經(jīng)過火焰拋光。 OVD工藝流程（ 2） ? 純化和燒結(jié)工藝 純化和燒結(jié)是外部氣相沉積法 (包括軸向氣相沉積法 )在控制產(chǎn)品質(zhì)量的最關(guān)鍵工藝之一。由于外部氣相沉積法沉積的玻璃微粉末體 (芯棒 /包層 )的密度一般在 ，玻璃微顆粒一般具有亞微米的尺寸，在燒結(jié)之前具有大量的表面。純化過程是通過在高溫下 (1000到 1200攝氏度 )通氯氣，在玻璃燒結(jié)爐中進(jìn)行氯化處理。過渡金屬和水與氯氣反應(yīng)，產(chǎn)生過渡金屬氯化物和鹽酸。由于其在高溫時呈氣態(tài)而被氦氣氣流排出玻璃燒結(jié)爐。在純化結(jié)束后，多孔的芯棒被提出高溫區(qū)，爐子溫度進(jìn)一步升高到 1500攝氏度左右。然后，芯棒被慢慢地通
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