mems的測試技術ppt課件(編輯修改稿)
2025-06-01 18:17 本頁面
【文章內容簡介】 常精確地測量出材料的彈性模量 材料疲勞特性測量 ?S C Bromley等人對 161個特殊設計的微多晶硅器件進行了加載失效測量，并計算了相應的名義疲勞。 ?Taeko Ando等人利用片上測試裝置方法在準靜態(tài)單軸張力加載情況下，測試了單晶硅 MEMS器件的張力疲勞。 微摩擦和磨損的檢測 ?直接測量微機械瞬時運動 ?微摩擦測定裝置 ?薄膜微摩擦、磨損實驗 ?利用隧道效應顯微鏡研究微摩擦 ?間接測量微摩擦 直接測量微機械瞬時運動 ?Tai. Y等人對微電機瞬時運動的直接測量 ?Gabrielk. J對微型硅制 空氣渦輪機瞬時運動的直接測量 ?Lim. M. G等人對多晶硅結構的直接測量 ?分別推算出了多晶硅與多晶硅、多晶硅與氮化硅之間的動、靜摩擦系數(shù) 微摩擦測定裝置 ?U. Beeschvinger 等人通過陶瓷梁推動用LIGA工藝加工成的微小結構，在不同材料襯底上運動，得到了不同材料之間的靜摩擦和動摩擦系數(shù) ?日本 Noquchi K等人利用置于兩電極絕緣體之間的微小滑塊和底板之間形成摩擦 ，測量滑塊初始電平可得到靜摩擦系數(shù) ，測量滑塊通過間隙的瞬態(tài)過程 ， 可以求得動摩擦系數(shù) 薄膜微摩擦、磨損實驗 ?利用由轉盤、滑塊、微壓力加載懸臂梁和應變片構成的微摩擦磨損測量裝置，可以模擬微摩擦生成條件，轉盤上和滑塊上可鍍潤滑膜，接觸法向力由微壓力加載梁提供，切向摩擦力可用應變片測得。當盤轉動一定周數(shù)后，可用光學顯微鏡直接觀察磨損情況。 利用隧道效應顯微鏡研究微摩擦 ?Mate等在原子力顯微鏡基礎上研制了微摩擦力顯微鏡 FFM， 美 JuAi Ruan綜合論述了利用各種類型 FFM研究不同材料的微摩擦與
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