電鏡結(jié)構(gòu)ppt課件(編輯修改稿)
2025-05-28 18:20 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 將沿不同的軌跡運(yùn)動。產(chǎn)生的漫散圓斑還原到物平面，其半徑為 是透鏡的色差系數(shù)，大致等于其焦距， 是電子能量的變化率。 引起電子束能量變化的主要有兩個原因：一是電子的加速電壓不穩(wěn)定；二是電子束照射到試樣時，和試樣相互作用，一部分電子發(fā)生非彈性散射，致使電子的能量發(fā)生變化。 使用薄試樣和小孔徑光闌將散射角大的非彈性散射電子擋掉，將有助于減小色散。 22 能量為 E的 電子軌跡 象 1 透鏡 物 P 光軸 圖 86 色差 能量為 E E的 電子軌跡 象 2 23 在電子透鏡中，球差對分辨本領(lǐng)的影響最為重要，因?yàn)闆]有一種簡便的方法使其矯正，而其它象差，可以通過一些方法消除 PAY ATTENTION 24 4）理論分辨距離 光學(xué)顯微鏡的分辨本領(lǐng)基本上決定于象差和衍射，而象差基本上 可以消除到忽略不計(jì)的程度，因此，分辨本領(lǐng)主要取決于衍射。 電子透鏡中，不能用大的孔徑角，若這樣做，球差和象差就 會很大，但可通過減小孔徑角的方法來減小象差，提高分辨本領(lǐng)， 但不能過小。 顯微鏡的分辨極限是 電鏡情況下， ， 因此 可見，光闌尺寸過小，會使分辨本領(lǐng)變壞，這就是說，光闌的最 佳尺寸應(yīng)該是球差和衍射兩者所限定的值 25 相對應(yīng)的最佳光闌直徑 式中的 f 為透鏡的焦距。將 代入（ 115）可得 目前，通用的較精確的理論分辨公式和最佳孔徑角公式為 將各類電鏡缺陷的影響減至最小，電子透鏡的分辨本領(lǐng)比光學(xué)透鏡 提高了 一千倍 左右。 26 電子透鏡的場深和焦深 電子透鏡 分辨本領(lǐng)大 ， 場深（景深）大，焦深長 。 場深 是指在保持象清晰的前提下，試樣在物平面上下沿鏡軸 可移動的距離，或者說試樣超越物平面所允許的厚度。 焦深 是指在保持象清晰的前提下，象平面沿鏡軸可移動的距離， 或者說觀察屏或照相底版沿鏡軸所允許的移動距離。 電子透鏡所以有這種特點(diǎn)，是由于所用的孔徑角非常小的緣故。 這種特點(diǎn)在電子顯微鏡的應(yīng)用和結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上具有重大意義。 場深的關(guān)系可以從圖 16推導(dǎo)出來。在 的條件下，場深 如 埃， 弧度時， 大約是 1400埃，這就是說， 厚度小于 1400埃的試樣，其間所有細(xì)節(jié)都可調(diào)焦成象。由于電子透 鏡場深大，電子透鏡廣泛的應(yīng)用在斷口觀察上。 27 α 2MX α R L2 L1 Qi 2X Q Df 透鏡 象平面 圖 89 場深示意圖 28 圖 17是焦深的示意圖。由圖可以看出， 由于 ，即 所以 這里的 M是總放大倍數(shù)?？梢姡股钍呛艽蟮?。例如， ， 埃時， 米。當(dāng)然，這一結(jié)果只有在 時 才是正確的，即便如此，所得的 也是很大的。因此，當(dāng)用傾斜 觀察屏觀察象時，以及當(dāng)照相底片不位于觀察屏同一象平面時， 所拍照的象依然是清晰的。 29 屏
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