掃描電鏡sem掃面電鏡成像原理(編輯修改稿)
2025-02-01 01:17 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 達(dá)收集器，提高了收集效率． 即使是在十分粗糙的表面上，包括凹坑底部或突起外的背面部分，都能得到清晰的圖像。 背散射電子能量比較高，受柵網(wǎng)上偏壓的影響比較小，收集器只能收集直接沿直線到達(dá)的電子。 同時(shí)，為了擋住二次電子進(jìn)入收集器，在柵網(wǎng)上加上 250V 圖像顯示和記錄 這一系統(tǒng)的作用是將電信號轉(zhuǎn)換為陰極射線顯像管電子束強(qiáng)度的變化，得到一幅亮度變化的掃描像，同時(shí)用照相方式記錄下來，或用數(shù)字化形式存儲于計(jì)算機(jī)中。 (5)真空系統(tǒng) (6)電源系統(tǒng) 掃描電鏡的真空系統(tǒng)和電源系統(tǒng)的作用與透 ? SEM的特點(diǎn) ? SEM成像的物理信號 ? SEM的構(gòu)造與工作原理 ? SEM的主要性能 ? SEM像襯度 ? SEM樣品制備 (1)放大倍數(shù) 掃描電鏡的放大倍數(shù)可用表達(dá)式 M=AC/AS AC是熒光屏上圖像的邊長， AS是電子束在樣品上的掃描幅度。 目前大多數(shù)商品掃描電鏡放大倍數(shù)為 20202200倍，介于光學(xué)顯微鏡和透射電鏡之間 。 (2) 分辨本領(lǐng) SEM的分辨本領(lǐng)與以下因素有關(guān)： ? 入射電子束束斑直徑 由于掃描成像，小于入射電子束束斑的細(xì)節(jié)不能分辨。熱陰極電子槍的最小束斑直徑 6nm，場發(fā)射電子槍可使束斑直徑小于 3nm。 ?不同的物理信號調(diào)制的掃描象有不同的分辨本領(lǐng)。 ?二次電子掃描象的分辨本領(lǐng)最高，約等于入射電子束直徑，一般為 610nm， ?背散射電子為 50200 nm， ?吸收電子和 X射線為 1001000nm。 ?影響分辨本領(lǐng)的因素還有信噪比、雜散電磁場和機(jī)械震動(dòng)等。 (3)景深 SEM景深很大。它的
教學(xué)課件相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號-1