掃描電鏡sem掃面電鏡成像原理(編輯修改稿)
2025-02-01 01:17 本頁面
【文章內容簡介】 達收集器，提高了收集效率． 即使是在十分粗糙的表面上，包括凹坑底部或突起外的背面部分，都能得到清晰的圖像。 背散射電子能量比較高，受柵網上偏壓的影響比較小，收集器只能收集直接沿直線到達的電子。 同時，為了擋住二次電子進入收集器，在柵網上加上 250V 圖像顯示和記錄 這一系統的作用是將電信號轉換為陰極射線顯像管電子束強度的變化，得到一幅亮度變化的掃描像，同時用照相方式記錄下來，或用數字化形式存儲于計算機中。 (5)真空系統 (6)電源系統 掃描電鏡的真空系統和電源系統的作用與透 ? SEM的特點 ? SEM成像的物理信號 ? SEM的構造與工作原理 ? SEM的主要性能 ? SEM像襯度 ? SEM樣品制備 (1)放大倍數 掃描電鏡的放大倍數可用表達式 M=AC/AS AC是熒光屏上圖像的邊長， AS是電子束在樣品上的掃描幅度。 目前大多數商品掃描電鏡放大倍數為 20202200倍，介于光學顯微鏡和透射電鏡之間 。 (2) 分辨本領 SEM的分辨本領與以下因素有關： ? 入射電子束束斑直徑 由于掃描成像，小于入射電子束束斑的細節(jié)不能分辨。熱陰極電子槍的最小束斑直徑 6nm，場發(fā)射電子槍可使束斑直徑小于 3nm。 ?不同的物理信號調制的掃描象有不同的分辨本領。 ?二次電子掃描象的分辨本領最高，約等于入射電子束直徑，一般為 610nm， ?背散射電子為 50200 nm， ?吸收電子和 X射線為 1001000nm。 ?影響分辨本領的因素還有信噪比、雜散電磁場和機械震動等。 (3)景深 SEM景深很大。它的
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