v2薄膜物理與技術(shù)第一部分第二章(編輯修改稿)
2025-02-02 14:48 本頁面
【文章內(nèi)容簡(jiǎn)介】 缺點(diǎn)： 會(huì)意外返油，使真空系統(tǒng)造成長(zhǎng)久污染。 用途： 次級(jí)泵，非常適合動(dòng)態(tài)真空系統(tǒng)中使用。 工作壓強(qiáng)： 102 Torr以下 工作機(jī)理： 1）工作液體被加熱器加熱，產(chǎn)生蒸汽； 2）蒸汽從噴嘴向下、向外噴出； 3）從入口處進(jìn)來的氣體被蒸汽裹入，產(chǎn)生向下的動(dòng)量； 4）帶有氣體的蒸汽以超音速噴向泵壁； 5）蒸汽和氣體混合物與水冷的泵壁接觸，蒸汽被冷凝，再進(jìn)入加熱器； 裹夾的氣體分子仍以獲得向下的動(dòng)量運(yùn)動(dòng)，在底部被前級(jí)泵抽走。 擴(kuò)散泵的結(jié)構(gòu)與組成 : l 由泵體 （ 帶冷卻水管 ） 、 泵芯 、 電爐 擋油氣組成 l 迷宮式泵油分餾器 必要性 : 自動(dòng)分餾原理 : 對(duì)擴(kuò)散泵油的要求 : —— 利于提高 Pu 沸騰時(shí)飽和蒸氣壓要高 —— 便于在較高的出口壓強(qiáng)下工作 2. 熱穩(wěn)定性好 抗氧化性能好 化學(xué)性質(zhì)好 、 無毒 4. 閃點(diǎn)高 、 沸點(diǎn)低 、 汽化熱小 8. 擴(kuò)散泵的使用注意事項(xiàng) : （ 1） 樣品室及擴(kuò)散泵用機(jī)械泵抽到 102乇才能加熱泵油 （ 2） 加熱擴(kuò)散泵前應(yīng)先開冷卻水 （ 3） 擴(kuò)散泵工作時(shí)始終必須有冷卻水和機(jī)械泵 （ 4） 要用擴(kuò)散泵抽樣品室前 ， 樣品室真空度不低于 102乇 （ 5） 擴(kuò)散泵下部冷后才能停水 、 關(guān)機(jī)械泵 （ 6） 泵油量合 、 水量適 、 加熱功率正確 167。 （ 1） 極限真空與用途 : 單泵時(shí) : 1 Pa。 雙泵聯(lián)用： 102 Pa； 用于配合離子泵抽超高真空 （ 2） 吸附泵
試題試卷相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號(hào)-1