微圖形轉(zhuǎn)移技術(shù)——光刻(編輯修改稿)
2025-06-20 04:18 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 Mask Photoresist Contact Exposure Modes ? Soft contact (adjustable mechanical pressure) ? Hard contact (additional nitrogen pressure) ? Vacuum contact (evacuation of exposure gap) ? Soft vacuum (vacuum contact with additional nitrogen pressure) Mechanical pressure N2 Mechanical pressure Vac Vac Mechanical pressure Mask Chuck Mechanical pressure Vac N2 西安交通大學(xué)精密工程研究所 Institute of Precision Engineering, Xian Jiaotong University 微型機電系統(tǒng)課程系列之三 微型機電系統(tǒng)課程系列之三 Institute of Precision Engineering, XJTU 微型機電系統(tǒng)課程系列之三 Institute of Precision Engineering, XJTU 微型機電系統(tǒng)課程系列之三 Institute of Precision Engineering, XJTU 微型機電系統(tǒng)課程系列之三 Institute of Precision Engineering, XJTU 微型機電系統(tǒng)課程系列之三 Institute of Precisi
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