微細加工光刻膠ppt課件(編輯修改稿)
2025-05-26 02:09 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 缺點是靈敏度、耐刻蝕性和附著性等較差。 光刻膠通常有三種成分：感光化合物、基體材料 和 溶劑。在感光化合物中有時還包括增感劑。 負性電子束光刻膠 為含有環(huán)氧基、乙烯基或環(huán)硫化物的聚合物。最常用的是COP 膠，典型特性：靈敏度 ~ ?C/cm2（加速電壓 10KV 時）、分辨率 ?m 、對比度 。限制分辨率的主要因素是光刻膠在顯影時的溶脹。 正性電子束光刻膠 主要為甲基丙烯甲酯、烯砜和重氮類這三種聚合物。最常用的是 PMMA 膠，典型特性：靈敏度 40 ~ 80 ?C/cm2（加速電壓 20 KV 時）、分辨率 ?m 、對比度 2 ~ 3 。 PMMA 膠的主要優(yōu)點是分辨率高。主要缺點是靈敏度低，此外在高溫下易流動，耐干法刻蝕性差。 正膠的典型反應(yīng) 一、光化學反應(yīng) 化學反應(yīng)速度 k 可表示為 Ae xp EkART???? ???? 感光物質(zhì)的電子在未曝光時處于基態(tài) S0 ，基態(tài)的反應(yīng)激活能 EA 大 ，因此反應(yīng)慢。曝光后，感光物質(zhì)的電子處于激發(fā)態(tài) S1 、 S2 、 S3 等， 激發(fā)態(tài)的 EA 小，因此反應(yīng)變快。 式中， A 、 R 為常數(shù)， T 為絕對溫度， EA 為化學反應(yīng)激活能，隨電子狀態(tài)的不同而不同。 EA 越小，則在同樣的溫度下反應(yīng)速度越快。 二、勢能曲線 可以借助于感光物質(zhì)的勢能曲線來討論光化學反應(yīng)。下圖是重氮基萘的 RN N2 切斷反應(yīng)的勢能曲線。 S0 S1 S2 S3 T1 88Kcal 72Kcal EA(S1) = 16Kcal EA(S0) = 38Kcal RN 與 N2 的間距 勢能 感光分子吸收 λ= 365 nm 的光能（ 72 Kcal ）后 ，電子從基態(tài) S0 躍遷到第一激發(fā)態(tài) S1 ，激活能由 EA(S0) = 38 Kcal 降為 EA(S1) = 16 Kcal ，反應(yīng)速度加快。 感光分子吸收 λ= 300 nm 的光能（ 88 Kcal）后，電子躍遷到第二激發(fā)態(tài) S2 ，此態(tài)的谷底勢能恰好與 S1 態(tài)當 RN N2 分解時的勢能相當，且 S2 與 S1 態(tài)的曲線在圖左側(cè)有相交之處，因此
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