薄膜與陶瓷樣品制備(編輯修改稿)
2025-06-18 06:13 本頁(yè)面
【文章內(nèi)容簡(jiǎn)介】 )前驅(qū)體溶液的配制：將金屬鹽和其它有機(jī)鹽、無(wú)機(jī)鹽按照一定化學(xué)計(jì)量比，溶于有機(jī)溶劑中，并加入催化劑充分?jǐn)嚢杈鶆颉? (2)襯底表面液態(tài)膜涂覆：利用得到的前驅(qū)體溶液在潔凈的襯底表面鍍膜。鍍膜方法有旋轉(zhuǎn)涂膜法、浸漬提拉法、噴涂法等，其中前兩種方法最為常用。 (3)液態(tài)膜凝膠化：涂有液態(tài)膜的襯底材料，繼續(xù)進(jìn)行成膜過程的物理化學(xué)反應(yīng)，最后轉(zhuǎn)變成凝膠膜。 (4)干燥和熱處理：由于凝膠膜中含有大量有機(jī)溶劑，需要通過干燥處理排除。干燥后的凝膠膜進(jìn)一步熱處理才能得到無(wú)機(jī)氧化物薄膜，該過程涉及一系列復(fù)雜的物理化學(xué)變化，包括殘余液體蒸發(fā)、有機(jī)物分解、薄膜致密化和晶化等。 (5)采用逐層退火方式，重復(fù) 4步驟，直到膜的厚度達(dá)到要求。 ? CSD是在 Solgel的基礎(chǔ)上改進(jìn)得到的一種制備鐵電薄膜的方法 ， CSD既不局限于以金屬有機(jī)化合物為原料 ， 又不需要在嚴(yán)格的無(wú)水無(wú)氧條件下配制 ， 大大簡(jiǎn)化了操作過程：所選用的原料可部分或全部用金屬無(wú)機(jī)鹽代替 ， 減少使用價(jià)格昂貴的金屬有機(jī)化合物 ， 降低了成本 ， 有利于工業(yè)化生產(chǎn) 。 CSD制膜的主要步驟是：將所需的會(huì)屬元素的化合物按一定配比溶解在適 ’ 的有機(jī)溶劑中得到前軀體溶液 ， 然后用勻膠法 (spincoating)或浸漬提拉法 (dipping)將溶液涂在襯底上 ， 然后加熱至一定溫度 F保持一段時(shí)間 ， 使有機(jī)溶劑揮發(fā) ， 殘余有機(jī)物分解得到無(wú)機(jī)非晶膜 ， 最后高溫處理形成晶態(tài)薄膜 。 這種方法得到的單層膜較薄 ， 因此常需用多次成膜工藝反復(fù)涂膜以獲得所需厚度的薄膜 。CSD制備薄膜的優(yōu)點(diǎn)主要有： ? 原料成本低 ， 工藝 、 設(shè)備簡(jiǎn)單；
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