精密加工中的測(cè)量技術(shù)(1)(編輯修改稿)
2025-06-15 14:54 本頁(yè)面
【文章內(nèi)容簡(jiǎn)介】 面測(cè)量方向移動(dòng) ， 便能得到直線度誤差的數(shù)值 。 14 5）雙頻激光準(zhǔn)直儀法 當(dāng)反射鏡 7的頂點(diǎn)在光軸上時(shí) ， 頻率為 f1的偏振光在 R1點(diǎn)反射 ， 頻率為 f2的偏振光在 R2點(diǎn)反射 ， 則匯合光束的兩個(gè)頻率的光程差為零 。 當(dāng)反射鏡 7的位置偏離光軸時(shí) ， 則頻率為 f1的偏振光和頻率為 f2的偏振光的匯合光束的光程差不為零－測(cè)出 E值 ， 最后獲得被測(cè)表面相對(duì)激光光軸的偏差 。 15 ? 統(tǒng)一基準(zhǔn)法 1）干涉法 對(duì)于精密小平面的平面度誤差可用干涉法測(cè)量。該法是以平晶表面為基準(zhǔn)平面，使它與被測(cè)平面接觸，在單色平行光照射下，形成等厚干涉。調(diào)整平晶與被測(cè)表面間的相對(duì)位置，使之產(chǎn)生較明顯的干涉條紋，然后根據(jù)干涉條紋來評(píng)定平面度誤差。當(dāng)條紋數(shù)不足一條時(shí)，則根據(jù)條紋彎曲程度來評(píng)定平面度誤差。 二、平面度的測(cè)量 16 2） 水平面法 用水平面法測(cè)量平面度誤差時(shí) ， 基準(zhǔn)平面建立在通過被測(cè)表面上某角點(diǎn) ， 并與水平面平行的平面上 ， 然后用水平儀按節(jié)距法測(cè)出跨距前后兩點(diǎn)的高度差 ， 將水平儀在各段上的讀數(shù)值累加 ， 可得到各點(diǎn)相對(duì)起始點(diǎn)的高度差 ， 通過基面旋轉(zhuǎn)可求出被測(cè)平面得平面度誤差 。 17 1） 在第一位置圓柱 90度角尺和 L形90度角尺的頂端有光隙 δ 1， 將 L形90度角尺翻轉(zhuǎn) （ 第二位置 ） ， 如光隙 δ 1＝ δ 2， 則圓柱 90度角尺角度準(zhǔn)確 ， 誤差全在 L形 90度角尺 。 2） 如在第二檢測(cè)位置 ， 光隙變到90度角尺根部且 δ 1＝ δ 2， 則角度誤差全在圓柱 90度角尺 。 3） 如果 δ 1≠ δ 2， 則圓柱 90度角尺和 L形 90度角尺都有誤差 。 三、垂直度的測(cè)量 18 90度角尺第一位置測(cè)得導(dǎo)軌的不垂直誤差－ m， 90度角尺翻轉(zhuǎn)后的不垂直誤差＋ μ m。 不垂直誤差為 Δ ＝ [（ ＋ ） ]＝ μ m。 19 角度和圓分度的測(cè)量 比較法 用角度樣板測(cè)角度 用角度極限樣板檢查角度 一、角度和圓錐角的測(cè)量 20 平臺(tái)法 1）兩內(nèi)表面的夾角和內(nèi)錐角的測(cè)量 rt2a rc s in??)2a rc s in(2 ddt ???dhhdhh13122c o s2c o s??＝＝右左??V形塊對(duì)稱 V形塊不對(duì)稱 21 2）兩外表面的夾角和外錐角的測(cè)量（用兩直徑相等的圓柱和量塊測(cè)量） )2a rc t a n( 12 h ll ???22 3）兩外表面的夾角和外錐角的測(cè)量（用正弦尺測(cè)量） LHa r c s in21??23 該方法不易獲得很高精度： （ 1） 兩圓柱中心矩 L的偏差 、 兩圓柱的圓柱度誤差 、 兩圓柱軸線的不平行 、 量塊尺寸H的偏差 、 測(cè)量工作臺(tái)的平面度誤差等都很難減到很??； （ 2） 當(dāng) α達(dá)到 45176。 后測(cè)量誤差已很大 ， 角度在加大 ， 測(cè)量誤差將急劇加大 。 用帶圓周分度裝置的儀器測(cè)量 1）光學(xué)分度頭測(cè)量角度 首先將分度頭主體 3轉(zhuǎn)過 90度 ，使分度頭主軸與工作臺(tái)面垂直 。在主軸錐孔中裝上帶有尾錐的小平臺(tái) 2。 在分度頭基座上有支座 5， 其上裝有測(cè)量時(shí)定位用的分度值小于 1”的自準(zhǔn)儀 4。 測(cè)量時(shí)先轉(zhuǎn)動(dòng)分度頭主軸 ， 放在小平臺(tái)上的被測(cè)件 1同時(shí)回轉(zhuǎn) ， 使被
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