【文章內(nèi)容簡介】 物，處理排出廢物的投資也很昂貴。 干泵的種類很多，目前已開發(fā)出來的有羅茨泵、爪型泵、禍旋泵、往復(fù)活塞泵、螺旋泵等 .表是幾種典型的干式泵性能的比較 . 表 幾種典型的干泵性能的比較 泵型 一般級(jí)數(shù) 單級(jí)壓縮比 極限壓力 (Pa) 備注 大氣端 真空端 羅茨泵 3～ 6 2～ 5 30 易發(fā)熱，需冷卻 爪形 3～ 4 25 50 加工、裝配有難度 活塞型 4 15～ 25 15～ 20 怕抽帶顆粒的氣體 渦旋型 1～ 2 20 200 間隙小、難裝調(diào) 螺旋型 1～ 2 20 30～ 100 間隙小、轉(zhuǎn)速高 旋片型 2 15～ 20 10～ 15 怕抽帶顆粒的氣體 螺桿型 2 15 20～ 60 加工比較困難 渦輪型 多級(jí)串聯(lián) 20 3000 轉(zhuǎn)速高 螺桿式雙頭干式真空泵特點(diǎn)如下 : ① 可靠性高。螺桿式雙頭干式真空泵零部件少，沒有易損件，因此它運(yùn)轉(zhuǎn)可靠，壽命長。 ② 操作維護(hù)方便。 ③ 動(dòng)力平衡性好。螺桿式雙頭干式真空泵沒有不平衡的慣性力，機(jī)器可平穩(wěn)地高速運(yùn)行。 ④ 適應(yīng)性強(qiáng)。螺桿式雙頭干式 真空泵具有強(qiáng)制輸氣的特點(diǎn)，在寬廣的壓力范圍內(nèi)能保持較高的抽速，排氣量幾乎不受排氣壓力的影響 . ⑤ 多相混輸。由于螺桿式雙頭干式真空泵轉(zhuǎn)子齒面間留有微小間隙，因而可抽除腐蝕性、有毒、含有粉塵、可凝性蒸汽等多種氣體。 盡管螺桿型雙頭干式真空泵具有這么多的優(yōu)點(diǎn)，然而，由于目前國內(nèi)一些公畢業(yè)設(shè)計(jì)（論文） 3 司正在使用的螺桿型雙頭干式真空泵均是從國外進(jìn)口，價(jià)格非常昂貴，每臺(tái)螺桿泵價(jià)格要三、四十萬元人民幣，所以螺桿型真空泵在我國的使用并不廣泛。造成這一現(xiàn)象的主要原因是由于螺桿泵轉(zhuǎn)子型線較復(fù)雜，加工難度大，需用特制的刀具在專用機(jī)床上進(jìn)行加工。 另外，對螺桿型雙頭干式真空泵泵體的加工精度也有較高的要求，而國內(nèi)的加工水平目前還難以達(dá)到這個(gè)水平。 螺桿式雙頭干式真空泵廣泛應(yīng)用于電子、核能、化工、醫(yī)藥、食品工業(yè)等領(lǐng)域。在半導(dǎo)體工業(yè)中用于生產(chǎn)芯片、制造液晶顯示器、蝕刻、生產(chǎn) PLASMA的CVD制程。在核工業(yè)中用于核反應(yīng)堆及核工業(yè)真空獲得 。化工上用于真空蒸餾及溶劑萃取高效回收溶劑，在脂肪酸生產(chǎn)中用來消除水污染，清除噴射器中的阻塞物 。醫(yī)藥工業(yè)中用于回收藥液及藥物中間體，為人造器官生產(chǎn)提供清潔無菌條件，回收氣體消毒劑 。食品工業(yè)中用于香料、香精濃縮，食品包裝等 ??1 。應(yīng)用范圍極為廣泛。 螺桿泵的應(yīng)用及特點(diǎn) 常見的泵可以分為容積式泵和動(dòng)力式泵兩大類。容積式泵包括往復(fù)泵、轉(zhuǎn)子泵和齒輪泵等，離心泵和軸流泵等則屬于動(dòng)力式泵。本文所研究的雙螺桿泵屬于容積式泵，它與離心泵、往復(fù)泵、齒輪泵、滑片泵等相比較，在某些方面具有明顯的優(yōu)越性。 螺桿泵的適用范圍被泛的應(yīng)用于海上平臺(tái)工程、石油化工、航運(yùn)、電力、機(jī)械、液壓系統(tǒng)、食品、造紙、制糖、軍廠、醫(yī)藥、造船、機(jī)床、采礦、環(huán)保和污水處理等各種工業(yè)部門當(dāng)中，發(fā)揮了巨大作用 ，具有很高的使用價(jià)值。螺桿泵特點(diǎn)是 :流量平穩(wěn)，壓力脈動(dòng)小，能夠自吸，噪聲低，效率高，使用壽命高，工作可靠。此外螺桿泵還具有結(jié)構(gòu)簡單，零件少，體積緊湊，重量輕等一系列特點(diǎn)。而螺桿泵在工作時(shí)最為突出的優(yōu)點(diǎn)是輸送介質(zhì)時(shí)不會(huì)形成渦流、可輸送粘度范圍寬的各種介質(zhì)，對輸送介質(zhì)不敏感，既可以輸送各種枯度的潤滑性或腐蝕性介質(zhì)，也可以輸送各種粘度的非牛頓液體，特別是有的雙螺桿泵還可以輸送氣液棍合物，這對油田輸送成分復(fù)雜的原汕具有重要意義?？鋸埖恼f，螺桿泵可以輸送任何介質(zhì)。目前在許多領(lǐng)域螺桿泵己經(jīng)逐步取代齒輪泵、離心泵等，產(chǎn)生 了很高的價(jià)值，正是由于螺桿泵具有以上特點(diǎn)，人們才將其應(yīng)用范圍進(jìn)一步擴(kuò)大到了真空產(chǎn)業(yè)。 螺桿泵屬容積式轉(zhuǎn)子泵。無論是什么類型的螺桿泵，其輸液原理都是 :利用螺桿泵的轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間的和轉(zhuǎn)子與定子之間形成的密封腔，在泵運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)使密封腔連續(xù)不斷地由入口向出口移動(dòng)，從而排出流體。如果螺桿泵內(nèi)兩個(gè)相鄰密封腔間沒有理論泄漏通道，則被稱為嚴(yán)格密封型螺桿泵 。反之，則為非嚴(yán)格密封型螺畢業(yè)設(shè)計(jì)（論文） 4 桿泵。一般所說的螺桿泵并一非干式螺桿泵，而是由油潤滑和密封的泵類。而干式螺桿泵也不是完全無油的，其同步齒輪仍需要采用油潤滑，但這井不影響其特性 。 螺桿泵按螺桿數(shù)目通常分為單、雙、三三和五螺桿泵，各有優(yōu)缺點(diǎn)，在應(yīng)用時(shí)必須根據(jù)所需要求進(jìn)行合理的選擇才能充分利用其各白特點(diǎn)，更好的實(shí)現(xiàn) I}能、節(jié)材、增效益或滿足某種特殊應(yīng)用要求。而通常所說的干式螺桿泵都是指雙螺桿泵，也有一部分干式螺桿泵產(chǎn)品為單螺桿泵。 螺桿真空泵在國內(nèi)外的研究現(xiàn)狀與發(fā)展方向 自從第一臺(tái)工業(yè)上可運(yùn)行的雙頭干式泵 1984年在日本運(yùn)行以來，許多無油真空泵如雨后養(yǎng)筍般迅速發(fā)展起來，其中以日本、美國、法國、德國最為先進(jìn)。美國 Varian（瓦里奧 )公司生產(chǎn)的 DVP系列產(chǎn)品，其真空度可以達(dá)到 210 Pa，這是目前報(bào)道的單級(jí)雙頭干式真空泵中真空度最高的產(chǎn)品之一。而德國 Sterling SIHI公司在 1997年研制成功的 SIHIdry是世界上第一臺(tái)直正意義上的雙頭干式真空泵，它能滿足流程工業(yè)中最苛刻的要求，該產(chǎn)品榮獲德國 “1998年年度技術(shù)革新獎(jiǎng) ”。以上兩種真空泵均于沿轉(zhuǎn)子長度上填充聚四氟乙烯用作泵的密封以保持良好的密封性能，它們同時(shí)也是無油真空泵的典型產(chǎn)品。 雖然雙頭干式真空泵的種類越來越多，但是通常的機(jī)械真空泵如爪式泵，其抽速難以做大，而且制造難度也大 ，成本高 。另外還有利用多葉級(jí)數(shù)進(jìn)行串連的羅茨泵，其缺點(diǎn)與爪式泵相仿。在此種背景下誕生的雙頭干式螺桿真空泵則具有了其前輩真空泵類所不具各的很多優(yōu)點(diǎn)，而這些優(yōu)點(diǎn)則保證了雙頭干式螺桿真空泵的先進(jìn)性及在應(yīng)用中的優(yōu)勢。 國外關(guān)于螺桿真空泵性能的研究有許多內(nèi)容。英國 Rietschle有限公司根據(jù)螺桿式壓縮機(jī)原理設(shè)計(jì)出一種雙螺桿雙頭干式真空泵，采用了許多新技術(shù)，并已形成批量生產(chǎn) ,該公司已成為世界低壓與真空技術(shù)中的領(lǐng)軍人物之一。美國 Tuthill真空設(shè)備有限公司手 2020年推出一款用于氣體處理的新型 Kinney雙頭干式螺 桿真空泵，該 KDPH120型螺桿泵采用可變嚙合設(shè)計(jì)，比其他類 TJ的真空泵耗能減少約 30%。普旭是全球 最有影響力的真空設(shè)備制造商之一，為客戶提供了數(shù)量眾多的真空泵及真空系統(tǒng)。普旭 BUSCH的無油螺桿真空泵系列于 2020年通過了應(yīng)用材料公司美國實(shí)驗(yàn)室測試。應(yīng)用材料公司在美國實(shí)驗(yàn)室將普旭 BUSCH的無油螺桿真空泵系列與其設(shè)備安裝在一起進(jìn)行測試，經(jīng)過一年檢測，結(jié)果證明普旭真空泵系列與其設(shè)備結(jié)合測試的效果最好。之后普旭又于 2020年推出了表面經(jīng)特別強(qiáng)化的螺桿真空泵系列，可以抵抗日前己知的絕人多數(shù)活潑氣休的腐蝕。另外還有其他一些文獻(xiàn)對螺桿真空泵的性能等方面進(jìn)行了較多的研究。 畢業(yè)設(shè)計(jì)（論文） 5 在國內(nèi)，有關(guān)雙頭干式螺桿真空泵的研究文獻(xiàn)很 少。只有上海博匯真空設(shè)備有限公司的周寶洪研制了一種雙頭干式真空泵 ??4 ，并申請了專利，但是并未見有成品報(bào)道。目前國內(nèi)外關(guān)于雙螺桿雙頭干式真空泵轉(zhuǎn)子型線設(shè)計(jì)方面的報(bào)道很少，主要內(nèi)容集中于對螺桿真空泵性能的預(yù)測與配套裝置、材料、加工方法和設(shè)備、螺桿泵的配件、密封條件等等內(nèi)容的改進(jìn)。目前由于各國多對自己的螺桿泵技