低溫真空泵原理與結(jié)構(gòu)(編輯修改稿)
2025-07-23 03:34 本頁(yè)面
【文章內(nèi)容簡(jiǎn)介】 ，它允許大約40％～25％的空氣分子(O2和N2)流過(guò)它冰凍結(jié)在冷板上。這樣，對(duì)N2的凈抽速是理想抽速的25％—40％—，Ne、HHe要走過(guò)更曲折的道路才能到達(dá)活性炭部位，結(jié)果只有約12％—20％的到達(dá)泵口表面的H2分子被低溫吸附了，其余將彈回，所以H2的凈抽速約為理想抽速的12％—20％—。低溫泵的工作真空范圍低溫泵典型的工作真空范圍為1103—11011托。這一范圍內(nèi)氣體是自由分子流區(qū)，這意味著它們通常從一個(gè)壁面運(yùn)動(dòng)到另一壁面而相互之間不發(fā)生碰撞。在這一區(qū)域抽速是常數(shù)。隨著抽氣壓力增加進(jìn)人到大于1103托的轉(zhuǎn)變區(qū)，抽速增加了，與擴(kuò)散泵相比，低溫泵具有在這一區(qū)域內(nèi)抽速增大的特性，而擴(kuò)散泵的抽速減少。低溫泵的抽氣能力(抽氣容量)低溫泵能夠聚集大量的固態(tài)水、空氣、氬、氮和氧，然后再蒸發(fā)除霜。在這些霜層形成時(shí)，泵的抽速很少降低，制冷溫度變化也很少，隨著霜層增加到一定程度，抽速和溫度都會(huì)有明顯變化。水被聚集在障板上直到堵掉一半的障板面積(例如：一個(gè)φ200口徑的低溫泵可凝聚300克水蒸氣成冰)。固體氮和氬聚集在低溫板的外層達(dá)幾個(gè)厘米，通常這個(gè)厚度僅受到不能挨到輻射屏的限制。(例如：一個(gè)φ200口徑的泵在低溫板外凝聚1cm厚的空氣或氬，其量為1200標(biāo)準(zhǔn)升。該泵專門用于濺射臺(tái)，其低溫板較大。另一種同樣口徑的泵該值僅為350標(biāo)準(zhǔn)升)。能吸收氫的量為對(duì)氫抽速減少50％時(shí)所聚集的氫平衡壓力(一段選l106托)決定，當(dāng)抽除其它
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