真空泵的選型與常用計算公式(編輯修改稿)
2025-07-16 04:24 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 60。P預－需要達到的預真空度(托) V－真空系統(tǒng)容積(升) t－達到P預時所需要的時間 Pa－大氣壓值(托）1前級泵抽速選擇： 排氣口壓力低于一個大氣壓的傳輸泵如擴散泵、油增壓泵、羅茨泵、渦輪分子泵等，它們工作時需要前級泵來維持其前級壓力低于臨界值，選用的前級泵必須能將主泵的最大氣體量排走，根據(jù)管路中，各截面流量恒等的原則有：PnSg≥PgS 或 Sg≥Pgs/Pn Sg－前級泵的有效抽速(l/s)Pn－主泵臨界前級壓強(最大排氣壓強)(l/s)Pg－真空室最高工作壓強(托) S－主泵工作時在Pg時的有效抽速。(l/s)1擴散泵抽速計算公式： S＝Q/P＝(K?n)/(P?t)(升/秒)式中：S－被試泵的抽氣速率(l/s) n－滴管內(nèi)油柱上升格數(shù)(格)t－油柱上升n格所需要的時間(秒) P－在泵口附近測得的壓強(托)K－滴管系數(shù)(托?升/秒) K＝V0?(L/n)?(Υ0/Υm)+Pa△Vt 其中V0－滴管和真空膠管的原始容積(升) L－滴管刻度部分的長度(mm) n－滴管刻度部分的格數(shù)(格) Υ0－油的比重(克/厘米3) Υm－汞的比重(克/厘米3) Pa－當?shù)卮髿鈮簭?托) △Vt－滴管的刻度上的一格的對應的容積(升/格)1旋片真空泵的幾何抽速計算公式： S＝πZnLKv(D2d2)/(24104) (l/s) 式中：Z為旋片數(shù)，n為轉速(轉/分)，L為泵腔長度，D為泵腔直徑，d為轉子直徑(cm)，Kv為容積利用系數(shù)(一般取95％)。1O型橡膠槽深B＝ D為橡膠直徑，槽寬C＝1方形橡膠槽深B＝ A為方形橡膠邊長，槽寬C＝ 選用真空泵時，需要注意下列事項： 真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。如：真空鍍膜要求1105mmHg的真空度，選用的真空泵的真空度至少要5106mmHg。通常選擇泵的真空度要高于真空設備真空度半個到一個數(shù)量級。 正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍，如：擴散泵為103~107mmHg，在這樣寬壓強范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓強而變化，其穩(wěn)定的工作壓強范圍為5104~5106mmHg。因而，泵的工作點應該選在這個范圍之內(nèi)，而不能讓它在108mmHg下長期工作。又如鈦升華泵可以在102mmHg下工作，但其工作壓強應小于1105mmHg為好。 真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。 正確
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