真空泵的選型與常用計(jì)算公式(編輯修改稿)
2024-07-16 04:24 本頁面
【文章內(nèi)容簡(jiǎn)介】 60。P預(yù)－需要達(dá)到的預(yù)真空度(托) V－真空系統(tǒng)容積(升) t－達(dá)到P預(yù)時(shí)所需要的時(shí)間 Pa－大氣壓值(托）1前級(jí)泵抽速選擇： 排氣口壓力低于一個(gè)大氣壓的傳輸泵如擴(kuò)散泵、油增壓泵、羅茨泵、渦輪分子泵等，它們工作時(shí)需要前級(jí)泵來維持其前級(jí)壓力低于臨界值，選用的前級(jí)泵必須能將主泵的最大氣體量排走，根據(jù)管路中，各截面流量恒等的原則有：PnSg≥PgS 或 Sg≥Pgs/Pn Sg－前級(jí)泵的有效抽速(l/s)Pn－主泵臨界前級(jí)壓強(qiáng)(最大排氣壓強(qiáng))(l/s)Pg－真空室最高工作壓強(qiáng)(托) S－主泵工作時(shí)在Pg時(shí)的有效抽速。(l/s)1擴(kuò)散泵抽速計(jì)算公式： S＝Q/P＝(K?n)/(P?t)(升/秒)式中：S－被試泵的抽氣速率(l/s) n－滴管內(nèi)油柱上升格數(shù)(格)t－油柱上升n格所需要的時(shí)間(秒) P－在泵口附近測(cè)得的壓強(qiáng)(托)K－滴管系數(shù)(托?升/秒) K＝V0?(L/n)?(Υ0/Υm)+Pa△Vt 其中V0－滴管和真空膠管的原始容積(升) L－滴管刻度部分的長(zhǎng)度(mm) n－滴管刻度部分的格數(shù)(格) Υ0－油的比重(克/厘米3) Υm－汞的比重(克/厘米3) Pa－當(dāng)?shù)卮髿鈮簭?qiáng)(托) △Vt－滴管的刻度上的一格的對(duì)應(yīng)的容積(升/格)1旋片真空泵的幾何抽速計(jì)算公式： S＝πZnLKv(D2d2)/(24104) (l/s) 式中：Z為旋片數(shù)，n為轉(zhuǎn)速(轉(zhuǎn)/分)，L為泵腔長(zhǎng)度，D為泵腔直徑，d為轉(zhuǎn)子直徑(cm)，Kv為容積利用系數(shù)(一般取95％)。1O型橡膠槽深B＝ D為橡膠直徑，槽寬C＝1方形橡膠槽深B＝ A為方形橡膠邊長(zhǎng)，槽寬C＝ 選用真空泵時(shí)，需要注意下列事項(xiàng)： 真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求。如：真空鍍膜要求1105mmHg的真空度，選用的真空泵的真空度至少要5106mmHg。通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí)。 正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍，如：擴(kuò)散泵為103~107mmHg，在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化，其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為5104~5106mmHg。因而，泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi)，而不能讓它在108mmHg下長(zhǎng)期工作。又如鈦升華泵可以在102mmHg下工作，但其工作壓強(qiáng)應(yīng)小于1105mmHg為好。 真空泵在其工作壓強(qiáng)下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。 正確
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