精密與特種加工技術第十一章其他精密與特種加工技術(更新版)
【正文】 Ra 。在粗加工時，加工間隙要盡量選??；精加工時，加工間隙要選大。 一般的制造方法是將一定粒度的 A12O3或 SiC與鐵粉混合、燒結(jié)，然后粉碎、篩選，制成一定尺寸的磁性磨料，如右圖所示。 干性研磨使用的磨料是干性磨料；濕性研磨是將磨料與不同的液體混合。而相移掩模則是掩模上透過的光波相位處處不同，相鄰區(qū)域相位差為 180176。 1. 光刻掩模制作 掩模的制造技術發(fā)源于光刻，而后在其發(fā)展中逐漸獨立于光刻技術。因為黏彈性磨料介質(zhì)和其他流體的流動一樣，最容易通過那些路程最短、截面最大、阻力最小的路徑。 (4) 加工精度：擠壓珩磨是一種表面加工技術，因此它不能修正零件的形狀誤差。這是一種機械切削和等離子電弧的復合加工方法，在切削過程中，用等離子電弧對工件待加工表面進行加熱，使工件材料變軟，強度降低，從而使切削加工具有切削力小、效率高、刀具壽命長等優(yōu)點，已用于車削、開槽、刨削等。在大型程序控制成形切削機床上可安裝先進的等離子體切割系統(tǒng)，并裝備有噴嘴的自適應控制，以自動尋找和保持噴嘴與板材的正確距離。 之間。其電子沖破了帶正電的原子的束縛，成為自由的負電子，而原來呈中性的原子失去電子后成為正離子，這種電離化的氣體，正負電荷的數(shù)量仍然相等，從整體看呈電中性，稱之為等離子體電弧。磨料射流的引入大大提高了液體射流的作用效果，使得射流在較低壓力下即可進行除銹、切割等作業(yè)；或者在同等壓力下大大提高作業(yè)效率。鍍液成分、質(zhì)量分數(shù)、溫度和時間都對鍍層質(zhì)量有很大影響。 拋光時必須嚴格控制溶液溫度和時間。 化學蝕刻工藝過程 10 光化學腐蝕加工 光化學腐蝕加工簡稱光化學加工 (Optical Chemical Machining， OCM)是光學照相制版和光刻 (化學腐蝕 )相結(jié)合的一種精密微細加工技術。 8 2) 化學銑切的缺點 (1) 不適宜加工窄而深的槽和型孔等。右圖所示是功率超聲壓光裝置的示意圖。1 第 11章 其他精密與特種加工技術 2 功率超聲光整加工 功率超聲珩磨 普通珩磨時，油石易堵塞，加工效率低，尤其是在珩磨銅、鋁、鈦合金等韌性材料管件時，油石極易堵塞，使油石壽命減小，加工表面質(zhì)量差、效率低。 5 功率超聲壓光 功率超聲壓光是在傳統(tǒng)壓光工藝基礎上，給工具沿工件表面法線方向上施加功率超聲振動，在一定壓力下工具與工件表面振動接觸，從而對工件表面進行機械冷作硬化，大大提高了加工表面的硬度和耐磨性，降低表面粗糙度。 (4) 加工操作技術比較簡單。 9 2. 化學銑切工藝過程 化學銑切的主要過程如下圖所示，其中主要的工序是涂保護層、刻形和化學腐蝕。有時還加入明膠或甘油之類的添加劑。對特定的金屬，需選用特定的還原劑。磨料射流是在水射流中混入磨料顆粒即成為磨料射流。電弧的溫度很高，使工件氣體的原子或分子在高溫中獲得很高的能量。 ~2176。工作臺尺寸達 25m，切割速度為 50~6 100mm/min。此外，等離子體弧還作為熱輔助加工。對多件裝夾的小零件的生產(chǎn)率每小時可達 1 000件。 夾具的主要作用除了用來安裝、夾緊零件、容納介質(zhì)并引導它通過零件以外，更重要的是要控制介質(zhì)的流程。 32 光刻技術一般由以下基本的工藝過程構(gòu)成，如下圖所示 33 光刻加工應用及關鍵技術 光刻加工中的關鍵技術主要包括掩模制作、曝光技術、刻蝕技術等。振幅掩模上凡透光部分所透過的光波相位都是相同的，而振幅不同。 37 磁性磨料加工 磁性磨料研磨加工按磨粒的狀態(tài)分為干性研磨和濕性研磨兩種。常用的原料是鐵加普通磨料 (例如 A12O SiC等 )。試驗結(jié)果和理論分析都證明：加工間隙增大，磁感應強度會減??；加工間隙小，則磁感應強度大。研磨時，工件不但轉(zhuǎn)動，而且擺動，但球心始終不動
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