精密與特種加工技術(shù)第十一章其他精密與特種加工技術(shù)(完整版)
【正文】 除油、去銹等作凈化處理。溫度從室溫到 90℃ ，時(shí)間自數(shù)秒到數(shù)分鐘，只有材料、溶液成分經(jīng)試驗(yàn)后才能確定最佳值。它與化學(xué)蝕刻 (化學(xué)銑削 )的主要區(qū)別是不靠樣板人工刻形、劃線，而是用照相感光來(lái)確定工件表面要蝕除的圖形、線條，因此可以加工出非常精細(xì)的文字圖案，目前已在工藝美術(shù)、機(jī)制工業(yè)和電子工業(yè)中獲得應(yīng)用。 (2) 原材料中缺陷和表面不平度、劃痕等不易消除。 圖 1 1 .6 功率超聲壓光裝置示意圖 1 — 工件； 2 — 壓光頭； 3 — 變幅桿； 4 — 鎳片換能器； 5 — 內(nèi)殼； 6 — 外殼； 7 — 彈簧； 8 — 調(diào)節(jié)螺釘； 9 — 超聲發(fā)生器 6 化 學(xué) 加 工 化學(xué)加工 (Chemical Machining， CHM)是利用酸、堿、鹽等化學(xué)溶液對(duì)金屬產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)，使金屬腐蝕溶解，改變工件尺寸和形狀 (以至表面性能 )的一種加工方法。采用功率超聲珩磨則珩磨力小、珩磨溫度低、油石不易堵塞、加工質(zhì)量好、效率高，零件滑動(dòng)面耐磨性高，能夠解決上述普通珩磨存在的主要問(wèn)題。功率超聲拋光工具有兩類：一類是具有磨削作用的磨具，如燒結(jié)金剛石、燒結(jié)剛玉油石等；另一類是沒(méi)有磨削作用的工具，如金屬棒、木片和竹片等，使用時(shí)另加拋光膏。 (3) 加工過(guò)程中不會(huì)產(chǎn)生應(yīng)力、裂紋、毛刺等缺陷，表面粗糙度 Ra可達(dá) ~。 (2) 用于在厚度小于 。 12 2. 化學(xué)拋光的工藝要求及應(yīng)用 1) 金屬的化學(xué)拋光 常用硝酸、磷酸、硫酸、鹽酸等酸性溶液拋光鋁、鋁合金、鉬、鉬合金、碳鋼及不銹鋼等。 14 2. 化學(xué)鍍膜的工藝要點(diǎn)及應(yīng)用 化學(xué)鍍銅主要用硫酸銅、鍍鎳主要用氯化鎳、鍍鉻主要用溴化鉻、鍍鈷主要用氯化鈷溶液，以次磷酸鈉或次硫酸鈉作為還原劑，也有選用酒石酸鉀鈉或葡萄糖等為還原劑的。 1. 磨料流加工 磨料流加工是水射流加工的一種形式。利用高頻振蕩或瞬時(shí)短路引弧的方法，使鎢電極與工件之間形成電弧。 ，當(dāng)仔細(xì)控制工藝參數(shù)時(shí)，斜度可保持在1176。 22 設(shè)備和工具 簡(jiǎn)單的等離子體加工裝置有手持等離子體切割器和小型手提式裝置；比較復(fù)雜的有程序控制和數(shù)字程序控制的設(shè)備、多噴嘴的設(shè)備；還有采用光學(xué)跟蹤的設(shè)備。等離子體還用于金屬的穿孔加工。 27 (3) 材料去除速度：擠壓珩磨的材料去除量一般為~，加工時(shí)間通常為 1～ 5min，最多十幾分鐘即可完成，與手工作業(yè)相比，加工時(shí)間可減少 90%以上，對(duì)一些小型零件，可以多件同時(shí)加工，效率可大大提高。 29 夾具 夾具是擠壓珩磨的重要組成部分，是使之達(dá)到理想效果的一個(gè)重要措施，它需要根據(jù)具體的工件形狀、尺寸和加工要求而進(jìn)行設(shè)計(jì)，但有時(shí)需通過(guò)試驗(yàn)加以確定。經(jīng)顯影后，在光致抗蝕劑層上獲得了與掩模圖形相同的極微細(xì)的幾何圖形，再利用刻蝕等方法，在工件材料上制造出微型結(jié)構(gòu)。 35 光刻技術(shù)的極限和發(fā)展前景 1. 相移掩模技術(shù) 相移掩模是相對(duì)于傳統(tǒng)的透射掩模 (TM)或振幅掩模而言的。當(dāng)與 i線分步重步光刻機(jī)結(jié)合時(shí)，可用于大規(guī)模生產(chǎn) 64 Mbit DRAM；當(dāng)與 KrF準(zhǔn)分子激光光刻結(jié)合時(shí)，可用于大規(guī)模生產(chǎn) 256 Mbit DRAM；進(jìn)一步與ArF(193 nmm)準(zhǔn)分子激光光刻和相移掩模結(jié)合，可望用于 1 Gbit DRAM的生產(chǎn)。 39 磁性磨料 磁性磨料的制造工藝雖不完全相同，但使用的原材料是基本相同的。 41 2. 加工間隙的影響 當(dāng)磁性磨料、工件轉(zhuǎn)速、勵(lì)磁電壓一定時(shí)，應(yīng)正確選擇加工間隙的大小。 43 應(yīng)用實(shí)例 1. 利用回轉(zhuǎn)磁極研磨球面（下圖所示） 工具磁極的端面為球面，兩個(gè)工具磁極繞同一軸線轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)動(dòng)方向相反。 45 階梯形零件的磁力研磨 。利用這種方法研磨，可以在幾分鐘內(nèi)將球面從 6研磨拋光成為
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