集成電路原理制造工藝及原理技術(shù)--期末論文(完整版)
【正文】 叫 “ 引晶 ” ，又稱 “ 下種 ” 。一般認(rèn)為含 Si在 %– %（ 4～ 6個(gè) 9）。 伏特效應(yīng) 10 物質(zhì)分為 晶體 (單晶，多晶 )和非晶體 單晶體 :由原子或分子在空間按一定規(guī)律周期性地重復(fù)排列構(gòu)成的固體物質(zhì)。 形成共價(jià)鍵后，每個(gè)原子的最外層電子是八個(gè)，構(gòu)成穩(wěn)定結(jié)構(gòu)。 共價(jià)鍵有很強(qiáng)的結(jié)合力，使原子規(guī)則排列，形成晶體。 （ 1）一種物質(zhì)是否是晶體是由其內(nèi)部結(jié)構(gòu)決定的，而非由外觀判斷； （ 2）周期性是晶體結(jié)構(gòu)最基本的特征 多晶體： 小區(qū)域內(nèi)原子周期性排列，整體不規(guī)則 非晶體： 原子排列無(wú)序 11 晶體的特點(diǎn) 1）均勻性 ,原子周期性排列 . 2） 各向異性 ,也叫非均質(zhì)性 .(各個(gè)方向上物理和化學(xué)性質(zhì)不同 ) 3）有明顯確定的熔點(diǎn) 4）有特定的對(duì)稱性 5）使 X射線產(chǎn)生衍射 12 硅的晶體結(jié)構(gòu)：金剛石結(jié)構(gòu) 金剛石結(jié)構(gòu) 每個(gè)原子周?chē)兴膫€(gè)最鄰近的原子，這四個(gè)原子處于正四面體的頂角上，任一頂角上的原子和中心原子各貢獻(xiàn)一個(gè)價(jià)電子為該兩個(gè)原子所共有，并形成穩(wěn)定的共價(jià)鍵結(jié)構(gòu)。 主要用于 太陽(yáng)能電池芯片 的生產(chǎn)制造 ? 電子級(jí)硅（ EG）：一般要求含 Si %以上，超高純達(dá)到 %～ %（ 9～ 11個(gè) 9）。 ： “ 縮頸 ” 是指在引晶后略為降低溫度，提高拉速，拉一段直徑比籽晶細(xì)的部分。此時(shí)要 嚴(yán)格控制溫度和拉速不變。 , January 24, 2023 ? 雨中黃葉樹(shù)，燈下白頭人。 2023年 1月 24日星期二 2時(shí) 41分 28秒 02:41:2824 January 2023 ? 1做前，能夠環(huán)視四周；做時(shí)，你只能或者最好沿著以腳為起點(diǎn)的射線向前。 。勝人者有力，自勝者強(qiáng)。 2023年 1月 24日星期二 上午 2時(shí) 41分 28秒 02:41: ? 1最具挑戰(zhàn)性的挑戰(zhàn)莫過(guò)于提升自我。 2023年 1月 24日星期二 2時(shí) 41分 28秒 02:41:2824 January 2023 ? 1空山新雨后，天氣晚來(lái)秋。 , January 24, 2023 ? 很多事情努力了未必有結(jié)果，但是不努力卻什么改變也沒(méi)有。 :41:2802:41Jan2324Jan23 ? 1故人江海別，幾度隔山川。 29 一 單晶硅的切割 1 切斷： 目的是切除單晶硅棒的頭部、尾部及超出客戶規(guī)格的部分，將單晶硅棒分段成切片設(shè)備可以處理的長(zhǎng)度 2 直徑滾磨： 把不均勻的直徑變得均勻一致 3 晶體定向定面、電導(dǎo)率和電阻率的檢查 1）檢查是否得到所需要的晶向晶面 2）檢查半導(dǎo)體被摻雜后的電導(dǎo)率，以保證摻雜類型的正確。頸一般要長(zhǎng)于 20mm 28 ： 縮頸工藝完成后，略降低溫度，讓晶體逐漸長(zhǎng)大到所需的直徑為止。 主要用于半導(dǎo)體芯片制造。
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