集成電路原理制造工藝及原理技術(shù)--期末論文(參考版)
2025-01-10 12:24本頁面
【正文】 2023年 1月 24日星期二 2時 41分 28秒 02:41:2824 January 2023 ? 1一個人即使已登上頂峰，也仍要自強(qiáng)不息。 2023年 1月 24日星期二 上午 2時 41分 28秒 02:41: ? 1最具挑戰(zhàn)性的挑戰(zhàn)莫過于提升自我。勝人者有力，自勝者強(qiáng)。 :41:2802:41Jan2324Jan23 ? 1越是無能的人，越喜歡挑剔別人的錯兒。 , January 24, 2023 ? 閱讀一切好書如同和過去最杰出的人談話。 2023年 1月 24日星期二 2時 41分 28秒 02:41:2824 January 2023 ? 1空山新雨后，天氣晚來秋。 。 :41:2802:41:28January 24, 2023 ? 1意志堅強(qiáng)的人能把世界放在手中像泥塊一樣任意揉捏。 :41:2802:41Jan2324Jan23 ? 1世間成事，不求其絕對圓滿，留一份不足，可得無限完美。 , January 24, 2023 ? 很多事情努力了未必有結(jié)果，但是不努力卻什么改變也沒有。 2023年 1月 24日星期二 2時 41分 28秒 02:41:2824 January 2023 ? 1做前，能夠環(huán)視四周；做時，你只能或者最好沿著以腳為起點(diǎn)的射線向前。 。 :41:2802:41:28January 24, 2023 ? 1他鄉(xiāng)生白發(fā)，舊國見青山。 :41:2802:41Jan2324Jan23 ? 1故人江海別，幾度隔山川。 , January 24, 2023 ? 雨中黃葉樹，燈下白頭人。 3 化學(xué)腐蝕液 ：用于腐蝕晶圓表面 4 機(jī)械摩擦： 同時去掉不平整的區(qū)域，獲得最平整的晶圓表面。 32 化學(xué)機(jī)械研磨製程 研磨液 研磨墊 壓力 晶圓夾具 晶圓 33 34 三 硅單晶片的拋光 1 拋光目的： 晶圓表面光滑，像鏡面一樣亮。 29 一 單晶硅的切割 1 切斷： 目的是切除單晶硅棒的頭部、尾部及超出客戶規(guī)格的部分，將單晶硅棒分段成切片設(shè)備可以處理的長度 2 直徑滾磨： 把不均勻的直徑變得均勻一致 3 晶體定向定面、電導(dǎo)率和電阻率的檢查 1）檢查是否得到所需要的晶向晶面 2）檢查半導(dǎo)體被摻雜后的電導(dǎo)率，以保證摻雜類型的正確。此時要 嚴(yán)格控制溫度和拉速不變。 ：當(dāng)晶體直徑到達(dá)所需尺寸后，提高拉速，使晶體直徑不再增大，稱為 收肩 。 在放肩時可判別晶體是否是單晶 ，否則要將其熔掉重新引晶。頸一般要長于 20mm 28 ： 縮頸工藝完成后，略降低溫度，讓晶體逐漸長大到所需的直徑為止。 ： “ 縮頸 ” 是指在引晶后略為降低溫度，提高拉速，拉一段直徑比籽晶細(xì)的部分。C 融熔的矽 26 直拉法生長單晶硅 27 工藝過程 (掌握 ) ： 當(dāng)溫度穩(wěn)定時，可將
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