電子束加工ppt課件(完整版)
【正文】 Line Scan Multi Bath Technics EB Deflection Technics: Multi Process Technics Elektronenstrahl Technologien EBHardening/ EBAnnealling EBPreheating/ EBRemelting EBPreheating/ EBWelding/ EBGladding EBPositioning/ EBWelding/ EBAfterheating 2Kammerschleusenanlage zum EB Schwei223。tiefe und geschwindigkeit mehr als doppelt so gro223。llt Kammeranlage, 20 m179。 250, € Maschinennebenzeit: 0 Min. Gro223。ung Bei Tiefschwei223。en versch. Werkstoffkombinationen ?Schwei223。 第三節(jié) 電子束加工的應(yīng)用 電子束加工按其功率密度和能量注入時(shí)間的不同 ， 可用于 打孔 、 切割 、 蝕刻 焊接 熱處理 光刻加工等 。 所謂電磁透鏡 ， 實(shí)際上為一電磁線圈 ， 通電后它產(chǎn)生的軸向磁場(chǎng)與電子束中心線相平行 ， 端面的徑向磁場(chǎng)則與中心線相垂直 。 加速陽(yáng)極接地， 陰極為很高的負(fù)電壓。 電子束加工是在真空中進(jìn)行 ， 污染少 。 工件不受機(jī)械力作用 ， 不產(chǎn)生宏觀應(yīng)力和變形 。第七章 電子束加工 電子束加工： 精密微細(xì)加工 ， 微電子學(xué)領(lǐng)域中得到較多的應(yīng)用 。 加工材 料范圍很廣 ， 對(duì)脆性 、 韌性 、 導(dǎo)體 、 非導(dǎo)體及半導(dǎo)體材料都可加工 。 ⑹價(jià)格較貴，生產(chǎn)應(yīng)用有一定局限性。 第二節(jié) 電子束加工裝置 ⒉ 真空系統(tǒng)： ⑴ 真空系統(tǒng)作用： ① 保證在電子束加工時(shí)維持 10－ 2～ 10－ 4Pa的真 空度 只有在高真空中 ， 電子才能高速運(yùn)動(dòng) 。 根據(jù)左手定則 ， 電子束在前進(jìn)運(yùn)動(dòng)中切割徑向磁場(chǎng)時(shí)將產(chǎn)生圓周運(yùn)動(dòng) ， 而在圓周運(yùn)動(dòng)時(shí)在軸向磁場(chǎng)中又將產(chǎn)生徑向運(yùn)動(dòng) ，所以實(shí)際上每個(gè)電子的合成運(yùn)動(dòng)為一半徑愈來(lái)愈小的空間 螺旋線而聚焦交于一點(diǎn) 。 第三節(jié) 電子束加工的應(yīng)用 ⒈ 高速打孔 ⒉加工型孔及特殊表面 第三節(jié) 電子束加工的應(yīng)用 第三節(jié) 電子束加工的應(yīng)用 Elektronenstrahl Erzeugung Prinzip des EB
教學(xué)課件相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號(hào)-1