電子束加工ppt課件-展示頁(yè)
2025-05-10 18:11本頁(yè)面
【正文】 得到較多的應(yīng)用 。 打孔 、 焊接 、 熱處理等熱加工 電子束光刻化學(xué)加工 第九章 電子束加工 第一節(jié) 電子束加工的原理和特點(diǎn) 第二節(jié) 電子束加工裝置 第三節(jié) 電子束加工的應(yīng)用 第一節(jié) 電子束加工的原理和特點(diǎn) ⒈ 電子束加工的原理 ⒉電子束加工的特點(diǎn) 第一節(jié) 電子束加工的原理和特點(diǎn) 第一節(jié) 電子束加工的原理和特點(diǎn) 第一節(jié) 電子束加工的原理和特點(diǎn) 第一節(jié) 電子束加工的原理和特點(diǎn) ⒈ 電子束加工的原理： 電子束加工是在真空條件下 ， 利用聚焦后能量密度極高 （ 106～ 109W/㎝ 2） 的電子束 ， 以極高的速度沖擊到工件表面極小面積上 ， 在極短的時(shí)間 （ 幾分之一微秒 ） 內(nèi) ，其能量的大部分轉(zhuǎn)變?yōu)闊崮?，使被沖擊部分的工件材料達(dá)到幾千攝氏度以上的高溫 ，從而引起材料局部熔化和氣化 ， 被真空系統(tǒng)抽走 。 ⑴ 電子束熱處理 ： 只使材料局部加熱就可進(jìn)行電子束熱處理 ⑵ 電子束焊接 ： 使材料局部熔化就可進(jìn)行電子束焊接 ⑶ 電子束打孔 、 切割等加工 ： 提高電子束能量密度 ， 使材料熔化和氣化就可進(jìn)行電子束打孔 、 切割等加工 ⑷電子束光刻加工： 利用較低能量密度的電子束轟擊高分子材料時(shí)產(chǎn)生化學(xué)變化的原理，即可進(jìn)行電子束光刻加工。 電子束能夠極其微細(xì)地聚焦 ， 甚至能聚焦到 m。 工件不受機(jī)械力作用 ， 不產(chǎn)生宏觀應(yīng)力和變形 。 電子束能量密度高 ， 使照射部分的溫度超過(guò)材料的融化和氣化溫度 ， 去除材料 主要靠瞬時(shí)蒸發(fā) 。 ⑷ 整個(gè)加工過(guò)程便于實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化 可以通過(guò)磁場(chǎng)或電場(chǎng)對(duì)電子束的強(qiáng)度 、 位置 、 聚焦等進(jìn)行直接控制 。 在電子束打孔和切割時(shí) ， 可以通過(guò)電氣控制加工異形孔 ， 實(shí)現(xiàn)曲面弧形切割等 。 電子束加工是在真空中進(jìn)行 ， 污染少 。 電子束加工需要一套專(zhuān)用設(shè)備和真空系統(tǒng) 第二節(jié) 電子束加工裝置 電子束加工裝置： 電子槍、真空系統(tǒng)、控制系統(tǒng)和電源等部分組成。 電子發(fā)射陰極 、 控制柵極和加速陽(yáng)極等 。 發(fā)射陰極：鎢或鉭 小功率：絲狀 大功率：塊狀 第二節(jié) 電子束加工裝置 Aufbau EB Generator Elektronenstrahl Erzeugung EB Generator von probeam Kathodentr228。 加速陽(yáng)極接地， 陰極為很高的負(fù)電壓。 ② 不斷地把加工中產(chǎn)生的金屬蒸汽抽出去 加工時(shí)的金屬蒸汽會(huì)影響電子發(fā)射 ， 產(chǎn)生不穩(wěn)定現(xiàn)象 。 機(jī)械旋轉(zhuǎn)泵把真空室抽至 ～ 油擴(kuò)散泵或渦輪分子泵抽至 ～ 第二節(jié) 電子束加工裝置 ⒊ 控制系統(tǒng)和電源： 控制系統(tǒng)： 束流聚焦控制
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