vacuum機(jī)臺(tái)專用名詞(存儲(chǔ)版)
【正文】 CD measure：微距測(cè)量 Control Limit：管制界限 CP：電路針測(cè) Cycle time：生產(chǎn)周期時(shí)間 Central Monitor：設(shè)備中央監(jiān)控系統(tǒng) Condensation 冷凝 crane: 天車 DC Magron Sputter 磁控 DC濺鍍機(jī) Developer 顯影液 Development 顯影 Dry Etcher 干蝕刻機(jī) Wet Etcher 濕蝕刻機(jī) Dummy Load：替代原設(shè)備的等效阻抗 DIW：去離子水，純水，阻抗達(dá) 16M ohm Desum：電漿預(yù)處理 Defect density：缺點(diǎn)密度 Down：設(shè)備故障 DIPC：站點(diǎn)周期時(shí)間 Discharge valve：排氣閥 Displacer：置換器 Direction detection sensor 方向檢測(cè)感應(yīng)器 Exposure 曝光 Ellipsometer 橢圓測(cè)量?jī)x（ T, n) Epitaxy：磊晶 Exhaust：抽氣裝置 Electromigrate：電致遷移，因高電場(chǎng)流通下造成金屬原子沿材質(zhì)本身邊界向電子流方向移動(dòng)造成斷路。 ? 抽氣速率大小 邦浦的抽氣速率隨壓力而改變，並非定值。 Cryo Pump Cryo Pump Gas Flow Gas He. Low Temp He. High Temp Cooling Water First Condensation Second Condensation Gas Water in Water out Compressor Oil filter Absorber Regeneration of the Cryo pump Start up rege. Close main valve Shut off cryopump Band heater on Introduce dry N2 Atm pressure Purge dry N2 Complete warm up Stop dry N2 yes yes no no Rough pump the cryopump Complete rough pump Band heater off no yes Start up cryopump Complete cool down Complete rege. no yes Exhaust system units 。 HF：氫氟酸 HEPA：高效過(guò)濾器 Hot：急件 Halogen lamp 鹵素?zé)? High vacuum 高真空 Hot cathode 熱陰極 Inter lock：連鎖裝置 ITO：透光導(dǎo)電膜 InO 90%+SnO 10% 燒結(jié)而成的靶材電極 Idle：閑置 Interbay：工程間搬運(yùn)系統(tǒng) Intrabay：工程內(nèi)搬運(yùn)系統(tǒng) Ionization 電離 Isolation valve 隔離閥 Ion voltage 離子加速電壓
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