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正文內(nèi)容

vacuum機(jī)臺(tái)專用名詞-展示頁(yè)

2025-05-22 19:46本頁(yè)面
  

【正文】 Sputtering deposition:濺鍍 Spike:尖峰,因硅對(duì)鋁有一定的固態(tài)溶解度而造成的 Suspector:晶座 SiH4: silane Spin dry:水洗之后,旋轉(zhuǎn)烘干的機(jī)臺(tái)或是動(dòng)作 Stainless steel:不銹鋼管,用在與制程相關(guān)的制程氣體傳輸上 Stripper:剝離劑 Solvent:溶劑 Sensitivity:靈敏度 Supporting Room:生產(chǎn)支援室 SPEC. Limit:規(guī)格界限 SPC: statistic process control 統(tǒng)計(jì)制程管制 SWR:特殊工程需求 STB:投片 Scrap:報(bào)廢 Stage movement:階段轉(zhuǎn)移量 Split:分批 Scheduling:生產(chǎn)排程系統(tǒng) Stocker:保管庫(kù) Teflon管:替代不銹鋼不便使用的制程液氮?dú)怏w傳輸場(chǎng)合 TLV: Threshold limit value,啟時(shí)限值 silane只需 能爆炸 Trouble shooting:故障排除 Turn Ratio:周轉(zhuǎn)率 Tour corridor:無(wú)塵室安全走道 Throughout:產(chǎn)速 TECN:短期工程變更通知 TAT:累計(jì)生產(chǎn)時(shí)間 Thermal conductivity gauge 熱導(dǎo)真空計(jì) Throughput 抽氣量,排氣量,氣流通量 UPW:超純水,阻抗達(dá) 18M ohm Uniformity:( maxmin)/(max+min) Utilization:動(dòng)用率 Uptime:可供利用的時(shí)間 Ultrahigh vacuum 超高真空 Vacuum 真空 Vacuum stage 真空級(jí) Vacuum system 真空系統(tǒng) Valve 閥門 roughing 粗抽閥 high vacuum 高真空閥 Vent 破真空 Waive:規(guī)格外放行品 Wait:待修 WIP:在制品 WAT:晶片接受測(cè)試 Window : 視窗 Yield:良率 Vacuum Class 粗略真空( rough vacuum) 760torr——1torr 中度真空 (medium vacuum) 1torr——103torr 高真空 (high vacuum) 103torr——107tor 超高真空 (ultrahigh vacuum ) 107torr以上 Parameter of Vacuum Pump ? 所能達(dá)到之最低的壓力 其大
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