vacuum機臺專用名詞-文庫吧資料
2025-05-18 19:46本頁面
【正文】 High vacuum 高真空 Hot cathode 熱陰極 Inter lock：連鎖裝置 ITO：透光導電膜 InO 90%+SnO 10% 燒結(jié)而成的靶材電極 Idle：閑置 Interbay：工程間搬運系統(tǒng) Intrabay：工程內(nèi)搬運系統(tǒng) Ionization 電離 Isolation valve 隔離閥 Ion voltage 離子加速電壓 Ion source 離子源 Ion desorption 離子逸出 Ion detector 離子偵測器 Indium 銦 LD： loading Lend：借機 Lot ID. ：料號 Liquid nitrogen 液態(tài)氮 Mercury Probe 水銀測量儀，測臨界電壓 Mos： MetalOxideSemiconductor，金屬氧化半導體 Metallization：金屬化制程 Multilevel interconnects：多重金屬內(nèi)連線，因在晶座上制造兩層以上的金屬層而所需的導通方式 Multilevel metallization process：多層金屬化制程 MTBF:mean time between failure，平均故障周期時間 MTTR:mean time to repair，平均每次修復時間 MFC： mass flow controller，質(zhì)流控制器 MEA：剝離劑，剝除 PR防止 PR再附著 Monitor：例行測試 Merge：分批 Medium vacuum 中度真空 Mechanical booster pump 機械邦浦 Operation movement：站點轉(zhuǎn)移量 Oring O型環(huán) Passivation：保護層 Physical Vapor Deposition：PVD，物理氣相沉積 Photolithography：微影制程 Poly silicon：多晶硅，由多種不同結(jié)晶方向的單晶硅晶粒所組成的純硅物質(zhì) Post bake：烘烤的預烤 Peeling rate：剝離速率 Positive：正片 Priming：涂底 Pilot：試作 Polymer 聚合物 Pumping speed 抽氣速率 Preexposure bake：曝光前的預烤 Pilo valve：專門控制氣體是否輸入氣動閥的開關 Process gas：制程氣體 Pressure relief valve：舒壓閥，用于調(diào)節(jié)管件內(nèi)壓力 PVC：塑膠管 PR： photo resist 光阻 PH3：氫化磷 Pass Room：空氣緩沖室 Power Zone：設備維修間 Priority：派工級數(shù) Reliability：可靠性 Rush：快件 Route：生產(chǎn)涂程 Rework：重工 Release：解除 Recycle：內(nèi)部回收 Recipe：制程分發(fā) Radiation 輻射 Regeneration 再生 Rough vacuum 粗略真空
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