vacuum機臺專用名詞-免費閱讀
【正文】 ? Pirani真空計利用熱電偶電阻值的改變以量測壓力 Exhaust principle Vacuum chamber Compressor unit RP IG PiG2 PS2 PiG1 MV MB PS1 v1 v2 N2 N2 v4 Helium gas flow Cooling water Cryou RBH RV2 RV3 RV1 v3 PR N2 500K~800K 水氣與二氧化碳。機臺專有名詞導讀 李海波 Air knife：長片狀出氣孔的噴 氣除屑裝置 Ashing：光阻去除 Angstrom： Alignment：對準 ADI：顯影后檢查 EDI：蝕刻后檢查 aSi：非晶硅 Actone：丙酮 Air shower：空氣洗塵室 Assembly：晶粒封裝 Acceleration electrodes 加速電極 Aging 老化 Alloy 合金 Alumina 鋁土 Aluminum Flow 熱流鋁 Aluminum Plug 鋁插塞 Amorphous Silicon 非晶硅 Anneal 回火 Argon 氬氣 Argon instability 氬氣抽氣不穩(wěn)定性 Array 陣列 A 0 Backing Pump 輔抽泵 Barrier layer 阻障層 Base Pressure 基準壓力 Binder 粘合劑 Buffer Agent 緩沖劑 Barrier layer：阻障層 Brass：黃銅管，用來提供設備的真空度， CDA，廠務氮氣的非制程直接使用氣體的傳輸 BDG：保持劑，溶解 PR防止 PR再附著，因強堿性的 MEA有機溶劑較難將剝離的 PR溶解，因此需加入保持劑 Breakdown voltage：崩潰電壓 . ：緩沖蝕刻液 Burn In：預燒試驗 BIN：針測結果類別 Backstreaming 回流，逆流 Capacitance manometer 電容式測壓計 Cryo pump 冷凍邦浦 Check Valve 整流閥，防止氣體在管路中回流 Chemical Vapor Deposition：CVD，化學氣相沉積 Clean Room 潔凈室 Coating 涂布 Combustible Gas 易爆性氣體 Compressor 壓縮機 Contact Plug 接觸窗插塞 Cryogenic Pump 低溫泵 Cryosorption 低溫吸附 CA： Cathode 陰極 Cathode dark space 陰極暗區(qū) CDA： pressed dry air 壓縮的干燥空氣 CD bias： circuit dimension 蝕刻完后線寬 Cross Section：橫界面 Contact：接觸窗 Concentration：濃度 CMOS：互補式金屬氧化半導體
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