【正文】 是激活的 。標準，用戶界面采用輸入元件 (數(shù)字和文本輸入框架，表格， …) 。. The user surface uses input elements (numerical and text input frames, tables, …) according to the WINDOWS174。 9 For SINECL2 connection ply with the Technical Description and the Installation Guidelines in the Manual “CP5613”. SINECL2的連接 遵守技術(shù)描述和和安裝向?qū)?，在手?“CP5613”。 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。這允許快速直接訪問每個裝置的參數(shù)組。 5 ， 256MB RAM， 80GB希捷硬盤， ， LG DVD CDROM，圖形卡，網(wǎng) 卡， Windows 2020 English + Service Pack 4）， 15寸 TFT液晶顯示器， 19寸鍵盤，觸摸墊板。 ? Operation in the following modes: 運行于以下 模式 ： Process mode for automatic operation with full recipe management, online parameter settings and protocol function 工藝模式：自動操作， 帶有 全部配方管理，在線參數(shù)設(shè)定和協(xié)議功能。有 5個工藝腔室，連續(xù)流動控制 的工作方式。 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。 1 操作手冊 SINAL – 系統(tǒng) 氮化硅沉積系統(tǒng) （人工裝載） 制造商 : Roth amp。 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。 2 目錄 1 引言 ....................................................................................................... ... .4 應(yīng)用和使用 ……... ...........................................................................................4 硬件和軟件的識別 ……………… ..................................................................4 硬件 …... ...............................................................................................................4 軟件 ….. ................................................................................................................7 主要元件的安裝介紹 …………………………. .............................................7 2 一般的操作說明 …………... ......................................................................8 射頻按鈕 ..........................................................................................................8 按鈕 ..................................................................................................................8 清單 .................................................................................................................8 檢驗盒 ..............................................................................................................9 輸入和輸出框架 ………. ....................................................................................9 Tool tip..............................................................................................................9 3 開 /關(guān)控制系統(tǒng) ..........................................................................................10 打開 ................................................................................................................10 關(guān)閉 ................................................................................................................10 4 功能描述和操作 ……………………... .............................................................11 標題 ................................................................................................................12 信息線 ............................................................................................................12 動態(tài)菜單 ........................................................................................................13 靜態(tài)菜單 ........................................................................................................13 圖象區(qū)域 ........................................................................................................14 5 標準功能 ……… .......................................................................................16 系統(tǒng) ................................................................................................................16 ……... ..............................................................................................19 氣體系統(tǒng) ........................................................................................................23 參數(shù) ................................................................................................................26 系統(tǒng)參數(shù) ...........................................................................................................26 工藝參數(shù) ...........................................................................................................30 氣體參數(shù) ...........................................................................................................33 配方 ................................................................................................................35 趨向 ................................................................................................................39 協(xié)議 ................................................................................................................42 上升率測試 … ................................................................................................43 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。 4 1 Introduction 引言 Application and use 應(yīng)用和使用 ?SiNA L system? is a control system for surface coating systems. It works as a continuous flow controller with 5 process chambers. The following list shows its functionality at a glance: ‘ SiNA L 系統(tǒng)’是一種表面鍍膜控制系統(tǒng)。 ? Chargebased data recording 基于裝料的數(shù)據(jù)記錄 。 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。 幾個裝置（ Eurotherm 加熱器 ，閥組，質(zhì)量流量計，伺候電動機）直接連接于 Profibus。 Distribution of profibus addresses Profibus地址的分布 模塊 / 節(jié)點 Profibus 地址 PC 1 電源分配節(jié)點 (ET200M) 3 機器節(jié)點 A2 (ET200M) 4 機器節(jié)點 A3 (ET200M) 5 Eurotherm 2408 頻率轉(zhuǎn)換器 (工藝腔室 ) 12 Eurotherm 2400 加熱器 (裝載 lock) 14 Eurotherm 2400 加熱器 (加熱腔室 ) 15 Eurotherm 2400 加熱器 (工藝腔室 ) 16 閥組 1+2 (Festo CPV DIO 1) 18+19 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。 7 Decentralized peripheral ET200M 分散的外圍設(shè)備 ET200M Peripheral node 1 (Power distribution Node) 外圍節(jié)點 1 (電源分配節(jié)點 ) Designation 名稱 單元個數(shù) 分散的外圍系統(tǒng) ET200M (IM 153) 1 S7300 數(shù)字輸入 SM321, potentials separated, 16DI 3 S7300 數(shù)字輸出 SM322, 16DO 2 S7300 模擬輸入 SM331, potentials separated, 8AI 2 S7300 信號模塊的前端插頭 7 Periphera