【正文】 ................................................................................................65 8 故障檢修 ...................................................................................................67 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。 4 1 Introduction 引言 Application and use 應(yīng)用和使用 ?SiNA L system? is a control system for surface coating systems. It works as a continuous flow controller with 5 process chambers. The following list shows its functionality at a glance: ‘ SiNA L 系統(tǒng)’是一種表面鍍膜控制系統(tǒng)。有 5個工藝腔室，連續(xù)流動控制 的工作方式。以下是它的功能列表： ? Full graphical representation of the system layout and the current process sequence as well as display of all aggregate conditions and process status conditions. 全部 圖像表示系統(tǒng)布局、當(dāng)前工藝次序、并 顯示所有總體狀況和工藝狀態(tài)。 ? Full graphical trend functions for present values as a processrelated trend. 針對 工藝相關(guān)趨勢的 當(dāng)前 數(shù)值，系統(tǒng)具有 全部 的 圖像趨向功能 。 ? Chargebased data recording 基于裝料的數(shù)據(jù)記錄 。 ? Operation in the following modes: 運(yùn)行于以下 模式 ： Process mode for automatic operation with full recipe management, online parameter settings and protocol function 工藝模式：自動操作， 帶有 全部配方管理，在線參數(shù)設(shè)定和協(xié)議功能。 Service mode for supporting system startup, troubleshooting, system and controller configuration using machine parameters 維護(hù)模 式：支持系統(tǒng)啟動，故障診斷， 使用機(jī)器參數(shù)進(jìn)行系統(tǒng)和 控制器布局。 Identification of hard and software 硬件和軟件的識別 Hardware硬件 The control software for the SiNA L system is installed on an industrial PC (Intel Celeron GHz, 256 MB RAM, 80 GB Seagate HDD, “ FD, LG DVD CDROM, AOpen graphics card, work interface card on board, Windows 2020 English + Service Pack 4). This PC includes a 15 TFT color monitor and a 19 keyboard with touch pad. SiNA L系統(tǒng)的控制軟件安裝在 PC機(jī)上（ Intel 賽揚(yáng) 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。 5 ， 256MB RAM， 80GB希捷硬盤， ， LG DVD CDROM，圖形卡，網(wǎng) 卡， Windows 2020 English + Service Pack 4）， 15寸 TFT液晶顯示器， 19寸鍵盤，觸摸墊板。 The control software has access to three local peripheral units of the type ET 200M by a SINEC L2 controller, CP 5613 (Profibus DP), integrated in the PC. They are extended by I/O ponents according to the process channels to be recorded. Several devices (like Eurotherm heaters, valve blocks, mass flow controllers and servo motors) are direct connected to the Profibus. This allows a fast direct access to a mass of parameters of each device. The PC, as master, is connected to a Twisted Pair line. 控制軟件 通過一個 SINEC控制器和 三個局部外圍單元 （ ET200M類型）連接 。 CP 5613 (Profibus DP)集成在 PC機(jī)上， 根據(jù)工藝通道的記錄， 擴(kuò)充 I/O零件。 幾個裝置（ Eurotherm 加熱器 ，閥組，質(zhì)量流量計，伺候電動機(jī)）直接連接于 Profibus。這允許快速直接訪問每個裝置的參數(shù)組。 PC機(jī)作為主機(jī)，連接于一個雙絞線。 The plasma sources are driven through a CAN bus plugin card (PCI 331) in the PC.等離 子源通過一個 CAN總線插入式卡（ PCI 331）驅(qū)動。 Distribution of profibus addresses Profibus地址的分布 模塊 / 節(jié)點(diǎn) Profibus 地址 PC 1 電源分配節(jié)點(diǎn) (ET200M) 3 機(jī)器節(jié)點(diǎn) A2 (ET200M) 4 機(jī)器節(jié)點(diǎn) A3 (ET200M) 5 Eurotherm 2408 頻率轉(zhuǎn)換器 (工藝腔室 ) 12 Eurotherm 2400 加熱器 (裝載 lock) 14 Eurotherm 2400 加熱器 (加熱腔室 ) 15 Eurotherm 2400 加熱器 (工藝腔室 ) 16 閥組 1+2 (Festo CPV DIO 1) 18+19 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。 6 MFC 13 (MKS 1179 As) 2123 Lenze馬達(dá) 1 (裝載腔室 r) 41 Lenze馬達(dá) 2 (加熱腔室 ) 42 Lenze馬達(dá) 3 (工藝腔室 ) 43 Lenze馬達(dá) 4 (工藝腔室 r) 44 Lenze馬達(dá) 5 (冷卻腔室 ) 45 Lenze馬達(dá) 6 (冷 卻腔室 ) 46 Lenze馬達(dá) 7 (卸載腔室 ) 47 Lenze馬達(dá) 11 (卸載臺 ) 51 Lenze馬達(dá) 24 (裝載臺 ) 64 預(yù)處理源 (RF發(fā)生器 ) 66 Distribution of CANBus Node ID’s CANBus Node ID’s 的分布 模塊 / 節(jié)點(diǎn) 信息 ID 信息返回 ID 微波 1 11 91 微波 2 12 92 微波 3 13 93 微波 4 14 94 微波 5 15 95 微波 6 16 96 微波 7 17 97 微波 8 18 98 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。 7 Decentralized peripheral ET200M 分散的外圍設(shè)備 ET200M Peripheral node 1 (Power distribution Node) 外圍節(jié)點(diǎn) 1 (電源分配節(jié)點(diǎn) ) Designation 名稱 單元個數(shù) 分散的外圍系統(tǒng) ET200M (IM 153) 1 S7300 數(shù)字輸入 SM321, potentials separated, 16DI 3 S7300 數(shù)字輸出 SM322, 16DO 2 S7300 模擬輸入 SM331, potentials separated, 8AI 2 S7300 信號模塊的前端插頭 7 Peripheral node 2 (Machine Node A2) 外圍節(jié)點(diǎn) 2 (機(jī)器節(jié)點(diǎn) A2) Designation 名稱 Number of units 分散的外圍系統(tǒng) ET200M (IM 153) 1 S7300 數(shù)字輸入 SM321, potentials separated, 16DI 5 S7300 數(shù)字輸出 SM322, 16DO 2 S7300 信號模塊的前端插頭 7 Peripheral node 2 (Machine Node A3) 外圍節(jié)點(diǎn) 2 (機(jī)器節(jié)點(diǎn) A3) Designation 名稱 Number of units 分散的外圍系統(tǒng) ET200M (IM 153) 1 S7300 數(shù)字輸入 SM321, potentials separated, 16DI 3 S7300 數(shù)字輸出 SM322, 16DO 1 S7300 模擬輸入 SM331, potentials separated, 8AI 1 S7300信號模塊的前端插頭 5 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。 8 Software 軟件 Windows 2020 English with Service Pack 4 is used as operating system for controlling and operating PC. 采用 Windows 2020 English with Service Pack 4 操作系統(tǒng)。 Visual system with VAC_NT, Version 帶 VAC_NT的可視化系統(tǒng) , Graphic visualization of all data, set points, process states and user inputs 所有數(shù)據(jù)， 設(shè)定點(diǎn)，過程狀態(tài)和用戶輸入的圖像可視化 Menucontrolled process operating with keyboard and touch 板的菜單控制過程操作 Manual operation for selected functions. 已 選 功能的人工操作 Automatic operation for processes using parameters 使用參數(shù)過程的自動操作 Databaseoriented control and management of procedures 數(shù)據(jù)庫導(dǎo)向控制和管理程序 Eventcontrolled message logging 事件控制信息的錄入 Protocol recording during the process run 工藝運(yùn)行過程的協(xié)議記錄 Diagnosis function (I/O list) 診斷功能 (I/O 清單 ) Installation instruction for the main ponents 主要元件的安裝指示 For the installation of the SIMATIC peripheral ponents see the section in the System manual “Local peripheral equipment ET200M” (Order No.: 6ES7 1531AA018AA0). SIMATIC外圍元件的安裝參見系統(tǒng)手冊 “Local peripheral equipment ET200M” (Order No.: 6ES7 1531AA018AA0). 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。