【正文】 ..........50 測(cè)試點(diǎn) ……….. ..............................................................................................50 主要分布 ............................................................................................................51 機(jī)械節(jié)點(diǎn) A2.......................................................................................................54 機(jī)械節(jié)點(diǎn) A3.......................................................................................................56 等離子源 ............................................................................................................58 傳輸系統(tǒng) ............................................................................................................59 氣體系統(tǒng) ............................................................................................................61 登錄和退出 ….. ..............................................................................................62 用戶管理 ……….. ..........................................................................................63 診斷 (只針對(duì)有權(quán)限人員 )...........................................................................64 7 信息列表 ...................................................................................................65 8 故障檢修 ...................................................................................................67 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。 Rau AG Gewerbering 3 D09337 HohensteinErnstthal, OT Wuestenbrand Germany 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。 ? Full graphical trend functions for present values as a processrelated trend. 針對(duì) 工藝相關(guān)趨勢(shì)的 當(dāng)前 數(shù)值，系統(tǒng)具有 全部 的 圖像趨向功能 。 Identification of hard and software 硬件和軟件的識(shí)別 Hardware硬件 The control software for the SiNA L system is installed on an industrial PC (Intel Celeron GHz, 256 MB RAM, 80 GB Seagate HDD, “ FD, LG DVD CDROM, AOpen graphics card, work interface card on board, Windows 2020 English + Service Pack 4). This PC includes a 15 TFT color monitor and a 19 keyboard with touch pad. SiNA L系統(tǒng)的控制軟件安裝在 PC機(jī)上（ Intel 賽揚(yáng) 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。 CP 5613 (Profibus DP)集成在 PC機(jī)上， 根據(jù)工藝通道的記錄， 擴(kuò)充 I/O零件。 The plasma sources are driven through a CAN bus plugin card (PCI 331) in the PC.等離 子源通過(guò)一個(gè) CAN總線插入式卡（ PCI 331）驅(qū)動(dòng)。 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。 Visual system with VAC_NT, Version 帶 VAC_NT的可視化系統(tǒng) , Graphic visualization of all data, set points, process states and user inputs 所有數(shù)據(jù)， 設(shè)定點(diǎn)，過(guò)程狀態(tài)和用戶輸入的圖像可視化 Menucontrolled process operating with keyboard and touch 板的菜單控制過(guò)程操作 Manual operation for selected functions. 已 選 功能的人工操作 Automatic operation for processes using parameters 使用參數(shù)過(guò)程的自動(dòng)操作 Databaseoriented control and management of procedures 數(shù)據(jù)庫(kù)導(dǎo)向控制和管理程序 Eventcontrolled message logging 事件控制信息的錄入 Protocol recording during the process run 工藝運(yùn)行過(guò)程的協(xié)議記錄 Diagnosis function (I/O list) 診斷功能 (I/O 清單 ) Installation instruction for the main ponents 主要元件的安裝指示 For the installation of the SIMATIC peripheral ponents see the section in the System manual “Local peripheral equipment ET200M” (Order No.: 6ES7 1531AA018AA0). SIMATIC外圍元件的安裝參見(jiàn)系統(tǒng)手冊(cè) “Local peripheral equipment ET200M” (Order No.: 6ES7 1531AA018AA0). 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。 Manual. 系統(tǒng)可以通過(guò)鍵盤和鼠標(biāo)（觸摸板）操作，和 Windows操作方式一致。 手冊(cè)。 Click on the radio button with the left mouse key to enable the radio button. Or 鼠標(biāo)左鍵 點(diǎn)擊單選 按鈕使之啟用 。 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。列表里面可用的選項(xiàng) 逐 行顯示。 點(diǎn)擊 鼠標(biāo) 確認(rèn)選擇對(duì)象， list關(guān)閉 。按下 [Enter]確認(rèn)， list關(guān)閉。 檢驗(yàn)欄 類似 ON/OFF開(kāi)關(guān)。 Input and output frames 輸入和輸出框 A frame is a rectangular window which serves for input and/or output of text and numbers (. for setpoints input in manual mode or to input parameters for technologies). Input frames have a white background and output frames are indicated by a colored background. It has a variety of functions: 該框 為長(zhǎng)方形窗口，作為文本和數(shù)字（如手動(dòng)模式的輸入設(shè)置或工藝參數(shù)輸入）輸入和 /或輸出。 或者 Hold the left mouse key and move the mouse across the text. 按住鼠標(biāo)左鍵同時(shí)在文本上移動(dòng)鼠標(biāo)。 Delete text: 刪除文本 ? Click on the frame, press [Del] to delete the text to the right or press [←] to delete the text to the left. 點(diǎn)擊框架，按下 [Del]鍵刪除右邊的文本，或者按下 [←]鍵刪除左邊的文本。 － the object is no longer highlighted. 該對(duì)象不 再 高亮度顯示。 14 3 Switching ON/OFF the control system 控制系統(tǒng)的切換開(kāi)關(guān) ON/OFF Switching on 打 開(kāi) Simultaneously with switching on, the operating and control puter is started. The PC is switched on by pressing the power button behind the disk protection. 打開(kāi)開(kāi)關(guān)，操作和控制計(jì)算機(jī) 同時(shí) 啟動(dòng)。的登錄－操作計(jì)算機(jī)啟動(dòng)后，出現(xiàn) window界面。屏幕前臺(tái)出現(xiàn)登 錄 窗口要求輸入用戶名和密碼。 15 圖 1: 提示程序關(guān)閉 Attention: By Shut down you switch off the running processes and the pumps! 注意： 關(guān)閉程序意味著關(guān)閉了正在運(yùn)行的工藝和泵。 (啟動(dòng) → 關(guān)閉 → 關(guān)閉 ). When this procedure has been pleted a message appears that the puter can now be switched off or restarted. 當(dāng)程序完成后，信息提示電腦可以關(guān)閉或重啟。 16 4 Function description and operating 功能描述和操作 Operating the system by keyboard and mouse (touch pad) can be performed in the same manner as WINDOWS174。用戶界面采用輸入單元（數(shù)字、文本、表格的輸入框架）， 與 WINDOWS174。 17 Header 標(biāo)題 The header is always visible and displays the date, the time and the actual user of the system. In the left corner there are shown the states of pressures and cooling water (blue → ok。 圖 3: 標(biāo)題 The system is operated in the service mode, if this symbol is shown in the headline. 標(biāo)題欄顯示該圖標(biāo)時(shí)，表示系統(tǒng)運(yùn)行在 維護(hù)模式 。 green → service switch is active). If an warning/ error is occurred, the message line contains the manner of the warning/error. ‘旋轉(zhuǎn)閃光燈’的顏色標(biāo)志系統(tǒng)的狀態(tài) (紅色 → 錯(cuò)誤信息；黃色 → 警告；綠色 → 維護(hù)開(kāi)關(guān)正起作用 )。 18 Message line 信 息欄 圖 4：信息欄 The message line extends across the plete screen width below the image area. The “Q” at the end